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[发明专利]获取晶圆边缘的导通电阻的方法-CN202010892501.0有效
发明人：李旭东;杨启毅;韩斌;武浩 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01R27/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种获取晶圆边缘的导通电阻的方法，涉及半导体制造领域。该方法包括利用若干个样本晶圆，建立导通电阻漂移值与偏移距离的拟合函数模型，偏移距离是晶圆边缘与测量夹具的中心区域内预定位置之间的距离；获取待测试晶圆边缘的导通电阻，记为初始导通电阻；获取待测试晶圆边缘对应的偏移距离；将待测试晶圆边缘对应的偏移距离带入拟合函数模型，得到待测试晶圆的导通电阻漂移值；根据初始导通电阻和导通电阻漂移值，得到待测试晶圆边缘的导通电阻校正值；解决了目前由于测量夹具本身特性，容易令测得的晶圆边缘的导通电阻偏大的问题；达到了校正晶圆边缘的导通电阻，减小测试误差，提高测试数据的稳定性、准确性的效果。
获取边缘通电方法

[发明专利]晶圆测试的自动化控制系统和方法-CN202011354244.1有效
发明人： 杨启毅;张明;韩斌;李鹏 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆测试的自动化控制系统，包括：晶圆测试分析和处理系统，晶圆制造执行系统，机台自动化管理系统，晶圆测试菜单管理系统，晶圆测试机台；晶圆测试菜单管理系统设置有多个测试菜单，机台自动化管理系统用于控制对晶圆测试菜单管理系统的测试菜单的调用以及对晶圆测试机台进行实时控制；晶圆制造执行系统为机台自动化管理系统提供所要测试的晶圆的批次信息并控制机台自动化管理系统对批次的晶圆进行晶圆测试；晶圆测试分析和处理系统接收晶圆测试机台输出的晶圆测试数据并进行分析和判断并预设处置动作；晶圆制造执行系统根据预设的处置动作对晶圆进行处置。本发明能实现晶圆测试的自动化控制，能提高机台产能及减少成本。
测试自动化控制系统方法

[发明专利]晶圆测试机台的校准工具和校准方法-CN202011536566.8在审
发明人： 杨启毅;武浩;韩斌;李旭东;陈俊池;孟文艳 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： G01R35/00 文献下载
摘要：本申请涉及半导体集成电路制造技术领域，具体涉及一种晶圆测试机台的校准工具和校准方法。其中，晶圆测试机台的校准工具包括：测试盘，所述测试盘的周围形成有若干个接口；标准电学器件，所述标准电学器件至少包括两组对应不同标准规格值的器件；所述标准电学器件的接线端对应连接所述测试盘的接口。校准方法使用上述校准工具。本申请提供的晶圆测试机台的校准工具和校准方法，可以解决相关技术中无法确定测试机台的测试精准度是否准确的问题。
测试机台校准工具方法

[发明专利]探针卡的维护校正方法-CN202011464380.6在审
发明人： 杨启毅;李旭东;武浩;韩斌 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本发明公开了一种探针卡的维护校正方法，包括：步骤一、采用标准探针卡和标准校验片进行基准点校正；步骤二、将标准校验片放置在所述第一基准点位置，将标准校验片的各针位进行具有第一放大倍数的放大投影形成位于投影面上的放大针位，对各放大针位进行标记；步骤三、将待校正探针卡放置在第二基准点位置，采用第二放大倍数对待校正探针卡的探针的针尖进行投影并形成放大针尖；步骤四、根据各放大针尖和对应的放大针位的偏离值进行待校正探针卡的探针的校正，使校正后的放大针尖和对应的放大针位的位置相匹配。本发明能降低探针卡的探针校正难度，提高操作窗口，减少对维护人员的训练要求和操作难度。
探针维护校正方法

[发明专利]开尔文结构的电阻测试方法-CN201911308124.5在审
发明人：武浩;韩斌;李旭东;杨启毅 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： G01R27/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种开尔文结构的电阻测试方法，包括步骤：步骤一、提供开尔文测试结构，包括串联在一起的被测试电阻、第一寄生电阻和第二寄生电阻并形成有两个电压测试端和两个电流测试端；步骤二、在两个电流测试端施加第一电流，同时在两个电压测试端中测试第一电压；步骤三、在两个电流测试端施加和第一电流的方向相反的第二电流，同时在两个电压测试端中测试第二电压；步骤四、将第一电压减去第二电压的差值除以第一电流和第二电流的差值得到被测试电阻的最终测试值。本发明能降低电阻测试误差如由测试电压中的失调电压所产生的误差，从而使测试结果接近真实值。
开尔文结构电阻测试方法

[发明专利]一种可磁性分离的四氧化三铁/磷酸化石墨烯复合纳米材料及其应用-CN201810566640.7在审
发明人：王金清;杨启毅;杨生荣;贾卫红 -专利权人：中国科学院兰州化学物理研究所
申请日： 2018-06-05 - 公布日： 2018-11-20 - 主分类号： B01J20/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种可磁性分离的四氧化三铁/磷酸化石墨烯复合纳米材料，该复合纳米材料的制备方法：1）将无水四氢呋喃和三氯化磷的混合溶液加入以无水四氢呋喃和三乙胺为溶剂的氧化石墨烯悬浮液中，搅拌回流，洗涤过滤，将滤饼加水超声分散；2）将步骤1）所得分散液水解，洗涤过滤后超声分散，干燥得磷酸化石墨烯；3）在无水醋酸钠和聚乙二醇600的混合溶液中加入硬脂酸、六水合三氯化铁、四水合二氯化铁形成混合离子溶液；4）将磷酸化石墨烯的无水乙醇分散液加入混合离子溶液中水热反应。本发明还公开了该材料对稀土钆离子的富集回收应用。本发明同时实现对钆离子的高效吸附和对吸附材料的回收利用。
磷酸化石墨烯复合纳米材料混合离子溶液无水四氢呋喃四氧化三铁超声分散磁性分离分散液洗涤过滤氧化石墨烯悬浮液六水合三氯化铁混合溶液中无水醋酸钠二氯化铁高效吸附回收利用回收应用混合溶液搅拌回流聚乙二醇三氯化磷无水乙醇吸附材料热反应三乙胺稀土钆硬脂酸钆离子溶剂水解富集加水滤饼水合制备离子应用

[发明专利]一种二维氮化碳的绿色经济制备方法-CN201810614015.5在审
发明人：王金清;杨启毅;杨生荣;贾卫红 -专利权人：中国科学院兰州化学物理研究所
申请日： 2018-06-14 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： C01B21/082 文献下载
摘要：本发明公开了一种二维氮化碳的绿色经济制备方法，包括以下步骤：将摩尔比为0.33~3的三聚氰胺和尿素混合，加入去离子水搅拌均匀，所得混合物中加或不加气态剥离剂，干燥蒸干水分；干燥所得粉体加入坩埚中，将坩埚置于马弗炉中，升温到500~550℃保温3~5 h，然后室温冷却，研磨成粉末；粉末加入去离子水形成均匀悬浮溶液，加入剥离添加剂，超声振荡2~8 h；超声结束后静置6~12 h，然后取上清液在3000~5000 rmp离心分离，保留离心后的上清液静置；上清液在转速为10000~15000 rmp离心分离，除去上层清液后，将离心底物加水洗涤，然后冷冻干燥得到产物。本发明成本低廉、操作简单、绿色无污染且易于大量生产。
绿色经济去离子水氮化碳上清液二维坩埚制备剥离添加剂超声振荡均匀悬浮尿素混合取上清液三聚氰胺上层清液室温冷却研磨混合物剥离剂马弗炉摩尔比超声粉体加水蒸干保温洗涤保留

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