专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基板处理装置-CN201410834589.5有效
  • 森川胜洋;上田一成;村田晃;南田纯也 - 东京毅力科创株式会社
  • 2014-12-26 - 2019-04-09 - H01L21/67
  • 本发明提供一种能够谋求生产率的提高的基板处理装置。实施方式的基板处理装置包括多个处理单元以及基板输送装置。多个处理单元在铅垂方向上并排地配置,用于处理基板。基板输送装置能够在铅垂方向上移动,用于进行基板相对于处理单元的送入送出。另外,基板输送装置包括第1输送臂和第2输送臂,第1输送臂和第2输送臂在铅垂方向上并排地配置,并且,在铅垂方向上的可移动范围互相重叠且能独立地在铅垂方向上移动。
  • 处理装置

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