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[外观设计]静电卡盘电源（ESC-4100）-CN202330335219.7有效
发明人： 李树瑜;高海伦 -专利权人：天津吉兆源科技有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： 13-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：静电卡盘电源（ESC‑4100）。2.本外观设计产品的用途：作为卡盘电源使用。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.其他需要说明的情形：立体图中A处为透明材质。
静电卡盘电源 esc 4100

[外观设计]双频匹配器（DM-6）-CN202330335306.2有效
发明人： 李树瑜;高海伦 -专利权人：天津吉兆源科技有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： 14-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：双频匹配器（DM‑6）。2.本外观设计产品的用途：作为匹配器使用。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
双频配器 dm

[发明专利]一种离子源气体分配装置及离子源-CN202310431351.7在审
发明人： 李树瑜;孟子淇 -专利权人：天津吉兆源科技有限公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本申请提供的一种离子源气体分配装置及离子源，离子源气体分配装置包含多孔陶瓷分配板。离子源安装有包含多孔陶瓷分配板的气体分配装置。本装置利用多孔陶瓷的材料特性作为分配装置，均匀分配，多孔陶瓷可以将气体更加均匀的扩散到石英杯中，而不是喷射。避免由于气体集中喷射造成气体分布不均匀，再慢速扩散开，从而在室内形成均匀的气体分布，有效解决离子源内部气体分配均匀的问题，使气体均匀填充在石英腔室内部。
一种离子源气体分配装置

[实用新型]一种在线射频自动匹配器-CN202223553478.6有效
发明人： 李树瑜;王一梅 -专利权人：北京吉兆源科技有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H01R13/639 文献下载
摘要：本实用新型涉及射频匹配器技术领域，尤其为一种在线射频自动匹配器，包括射频匹配器本体，所述射频匹配器本体外壁的连接插口处设置有连接机构，所述射频匹配器本体的底部固定连接有防滑橡胶垫；所述连接机构包括固定连接在射频匹配器本体外壁的固定板，所述固定板的内部开设有插槽，所述固定板的内部且在插槽的上方固定连接有销轴，所述销轴的外壁转动连接有连接杆，所述连接杆的外壁且在固定板外固定连接有限位板，所述限位板的内部开设有线槽，通过设计一种在线射频自动匹配器，利用该装置中的连接机构来固定连接插头，解决了现有的在线射频自动匹配器在插入连接插头时，连接插头容易因为外界震动而松脱的问题。
一种在线射频自动配器

[实用新型]一种数字化射频功率源装置-CN202223358844.2有效
发明人： 李树瑜;王一梅 -专利权人：北京吉兆源科技有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及电子元器件技术领域，尤其为一种数字化射频功率源装置，包括外壳体，所述外壳体的后端安装有风扇，所述外壳体的左右两侧通风槽处安装有滤网，所述滤网的外侧安装有清灰机构，所述外壳体的内部安装有射频功率源；所述清灰机构包括双轴电机，所述双轴电机的两端连接有连接轴，所述连接轴的端部连接有主齿轮，通过在该数字化射频功率源装置设置清灰机构，清灰机构中的双轴电机驱动主齿轮旋转，主齿轮驱动副齿轮及毛刷旋转，毛刷旋转扫过滤网的表面，将滤网表面附着的灰尘扫除，当毛刷扫过齿梳板时，齿梳板将毛刷上的灰尘扫下，从而有利于快速自动对滤网表面的灰尘进行清理，结构简单，使用方便。
一种数字化射频功率装置

[实用新型]一种新型手动匹配器-CN202223483465.6有效
发明人： 李树瑜;王一梅 -专利权人：北京吉兆源科技有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H03H1/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及匹配器技术领域，具体为一种新型手动匹配器，包括盒体，所述盒体的内部下侧设置有防护承托组件，所述盒体的内部并且位于防护承托组件的上侧设置有手动匹配电路模组；所述防护承托组件包括位于盒体的内部下侧安装的承装盒，所述承装盒的内部设置有密封筒，所述密封筒的内部前后对应设置有复位弹簧，所述复位弹簧的两端设置有第一密封活塞，所述承装盒的端部四角处设置有定位筒，所述定位筒的内部设置有第二密封活塞，所述第二密封活塞上设置有支撑柱，所述支撑柱的端部设置有承托框，通过防护承托组件能够实现对手动匹配电路模组在使用过程中的防护，从而使手动匹配电路模组的使用寿命和安全性高。
一种新型手动配器

[外观设计]电源匹配一体机（100W）-CN202230651880.4有效
发明人： 李树瑜;孟子淇 -专利权人：天津吉兆源科技有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： 13-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：电源匹配一体机（100W）。2.本外观设计产品的用途：用于集射频电源与自动匹配器于一体的电子设备。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
电源匹配一体机 100

[外观设计]匹配器（快速）-CN202330063887.9有效
发明人： 李树瑜;孟子淇 -专利权人：天津吉兆源科技有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： 14-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：匹配器（快速）。2.本外观设计产品的用途：用于刻蚀机与射频电源快速匹配的电子设备。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
配器快速

[外观设计]射频中和器-CN202230874752.6有效
发明人： 李树瑜;孟子淇 -专利权人：天津吉兆源科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： 14-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：射频中和器。2.本外观设计产品的用途：用于发射电子束，为离子源的离子电荷提供中和电子。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
射频中和

[发明专利]一种具有内置真空电容的射频离子源-CN202211683559.X在审
发明人： 李树瑜 -专利权人：天津吉兆源科技有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有内置真空电容的射频离子源，包括离子源本体(6)、真空电容(4)和射频天线(8)；在所述离子源本体(6)内部形成真空腔体(5)，所述真空电容(4)和所述射频天线(8)设置于所述真空腔体中，所述真空电容(4)设置于所述射频天线(8)的一端，通过所述真空电容(4)使得所述射频天线一端在所述真空腔体(5)内部接地。与现有技术相比，本发明有效解决了真空电容处于真空环境内的冷却问题，保证其长期稳定性；只需一路射频电极引入，从而简化了射频电极引入部分且便于法兰安装和调节角度，降低功率损耗，节约了制造成本。
一种具有内置真空电容射频离子源

[实用新型]一种电子枪电源设备-CN202221768109.6有效
发明人： 李树瑜;李晓静;张光勋 -专利权人：天津吉兆源科技有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01J29/96 文献下载
摘要：本实用新型涉及电子枪电源技术领域，且公开了一种电子枪电源设备，机柜和手操器，所述机柜的内部安装有扫描电源、电子枪控制器、灯丝电源、抗打火电源、高压电源和系统控制终端组成。所述手操器通过RS232与扫描电源双向电性连接，所述扫描电源通过RS232与电子枪控制器双向电性连接，所述电子枪控制器与灯丝电源双向电连接。所述阴极电源为电子提供足够的能量。在电子枪的阴极与阳极之间加一10KV直流高压，用于电子束引出。电子枪阳极接地，由内部高压电源功能模块、前控制面板、后输入输出及通信控制面板、顶部、底部盖板及把手组成。该高压电源输出为‑10KV/10KW，所有输出值都能从0到100％线性连续可调，具有恒压、恒流的功能。
一种电子枪电源设备

[外观设计]射频自动匹配器-CN202230874744.1有效
发明人： 李树瑜;孟子淇 -专利权人：天津吉兆源科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： 14-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：射频自动匹配器。2.本外观设计产品的用途：用于将等离子体腔体的阻抗变换成全固态射频电源输出的阻抗。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
射频自动配器

[实用新型]一种射频电源可靠性检测装置-CN202222598088.4有效
发明人： 李树瑜;郑芬 -专利权人：天津吉兆源科技有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： G01R31/40 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种射频电源可靠性检测装置，属于射频电源检测技术领域，包括振动仪、高低温箱、负载和功率计；其特征在于，还包括接收功率计输出数据并进行数据存储的计算机；其中：所述计算机上安装有PCI多路串口卡，所述功率计依次通过485光电隔离集线器、RS485转RS232通讯器与PCI多路串口卡连接。所述功率计为六个。所述功率计位于测试控制柜内，所述振动仪、高低温箱位于测试控制柜的一侧。通过采用上述技术方案，本实用新型能够根据测试者的选择，自动化实现射频电源的老练测试、振动测试和高低温测试，并通过计算机准确地自动记录测试的结果。
一种射频电源可靠性检测装置

[实用新型]一种射频电源双频滤波器-CN202222468202.1有效
发明人： 李树瑜;李晓静;张光勋 -专利权人：天津吉兆源科技有限公司
申请日： 2022-09-15 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： H03H7/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种射频电源双频滤波器，属于射频电源技术领域，包括两个带通滤波通路和机壳；两个带通滤波通路分别为：对第一高频电源进行带通滤波的第一通路；第一通路包括与第一高频电源连接的CL1电容、与所述CL1电容连接的CL2电容、与CL2电容并联的LL1电感；第一高频电源依次通过CL1电容、CL3电容接地；对第二高频电源进行带通滤波的第二通路；第二通路包括与第二高频电源连接的CH1电容、与CH1电容连接的CH2电容、与所述CH2电容并联的LH1电感；第一高频电源依次通过CL1电容、CL2电容与功率输出公共端连接；第二高频电源依次通过CH1电容、CH2电容与功率输出公共端连接。
一种射频电源双频滤波器

[实用新型]一种方便维修的半导体AC加热用高频滤波器-CN202221876997.3有效
发明人： 李树瑜;李晓静;张光勋 -专利权人：天津吉兆源科技有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： H01P1/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种方便维修的半导体AC加热用高频滤波器，尤其涉及半导体AC加热领域。以解决方便维修的半导体AC加热用高频滤波器封盖与主体之间密封性不佳，灰尘容易进入主体内部对部件造成污染，主体在底板处不能进行一定的位置调节，在对主体位置进行临时调节时，需要利用工具进行拆装工作的问题，包括：主体，主体的上端设置有封盖。与原有安装方式相比，该装置利用第一密封圈和第二密封圈可以增加封盖与主体之间的密封性，减少主体内造成灰尘污染，且将插栓从第一穿孔、第二穿孔和连接块处拆拉出时，将主体下端的嵌入块在底板处的滑槽内进行滑动调节位置，使得需要对主体的位置进行临时调节时，不需要工具进行拆装工作。
一种方便维修半导体 ac 加热高频滤波器

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