“李旭基”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果2个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]载盘-CN202110461355.0在审
发明人： 李旭基;彭碧玉;李俊德 -专利权人：颀邦科技股份有限公司
申请日： 2021-04-27 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B65D21/036 文献下载
摘要：一种载盘包含本体及抓取部，该本体用以存放至少一个元件(如电子元件)，该抓取部设置于该本体的下表面，该抓取部用以抓取间隔件，该抓取部包含第一抓取件及第二抓取件，该第一抓取件具有第一连接部及第一限位部，该第二抓取件具有第二连接部及第二限位部，该第一连接部与该第二连接部之间具有容置空间，该第一限位部与该第二限位部之间具有通道，当该间隔件通过该通道并进入该容置空间后，借由该第一限位部与该第二限位部将该间隔件限位于该容置空间中，以在移除该载盘时，借由该抓取部抓取该间隔件，以显露出位于该间隔件下方的另一载盘。
载盘

[发明专利]多晶硅沉积装置-CN201210260881.1有效
发明人：朴钟薰;金昇铉;李旭基;李昶徕;姜承吾;朴奎东;张今相 -专利权人：半材料株式会社
申请日： 2012-07-25 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： C01B33/035 文献下载
摘要：本发明涉及的多晶硅沉积装置，其特征在于，包括：反应室；N个硅芯棒，其配置在反应室内部，并具有通过电流通电的一对硅棒，并被通电的电流加热，且通过工艺气体的反应而沉积多晶硅；夹套单元，形成有M个收容孔，该收容孔收容具有一对硅棒的N个硅芯棒，工艺气体被供给至该收容孔并进行反应，而且，所述夹套单元冷却被收容于M个收容孔的硅芯棒的一对硅棒。
多晶沉积装置