专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]相变材料层及其形成方法、相变存储装置及其形成方法-CN200710136265.4有效
  • 李琎一;赵性来;朴瑛琳;朴惠英 - 三星电子株式会社
  • 2007-07-12 - 2008-01-16 - H01L45/00
  • 示例性实施例可提供一种相变材料层和形成相变材料层的方法以及使用相变材料层的装置,形成相变材料层的方法包括以下步骤:在反应室中产生包括氩和/或氦的等离子体;将包括第一材料的第一源气体引入,以在目标物上形成第一材料层;将包括第二材料的第二源气体引入到反应室中,在目标物上形成第一复合材料层,将包括第三材料的第三源气体引入,以在第一复合材料层上形成第三材料层;将包括第四材料的第四源气体引入,以在第一复合材料层上形成第二复合材料层。示例性实施例的含碳的相变材料层可在氦/氩等离子体环境以及低温条件下通过在各种供给时间内提供源气体更加容易和/或快速地形成。示例性实施例还可包括使用相变存储层的存储装置。
  • 相变材料及其形成方法存储装置

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