专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]靶和用于制造靶的方法-CN201980026614.8有效
  • 皮特·波尔契克;萨宾·沃勒 - 普兰西复合材料有限公司
  • 2019-04-12 - 2023-04-14 - C04B35/58
  • 一种用于物理气相沉积的靶,所述靶具有如下化学成分:‑以下化合物中的至少两种化合物的混合物:二硼化钛(TiB2)和/或二硼化钒(VB2)和/或二硼化钛(TiB2)与二硼化钒(VB2)的混合相((Ti,V)B2),所述至少两种化合物为95mol%至100mol%‑0.01mol%至5mol%的碳(C)‑二硼化钛(TiB2)和/或二硼化钒(VB2)和/或二硼化钛(TiB2)与二硼化钒(VB2)的混合相((Ti,V)B2)以外的小于0.01mol%的硼化物,其中关于金属纯度方面,二硼化钛(TiB2)和/或二硼化钒(VB2)和/或二硼化钛(TiB2)与二硼化钒(VB2)的混合相((Ti,V)B2)的混合物以及碳(C)的总和至少为99.8mol%,而且具有如下物理特性:‑密度大于上文所限定的化学成分的理论密度的90%、优选地大于上文所限定的化学成分的理论密度的95%‑二硼化钛(TiB2)和/或二硼化钒(VB2)和/或二硼化钛(TiB2)与二硼化钒(VB2)的混合相((Ti,V)B2)的混合物的晶粒的平均粒度小于10微米、优选地小于3微米。
  • 用于制造方法
  • [发明专利]靶及靶的生产方法-CN201980026624.1在审
  • 皮特·波尔契克 - 普兰西复合材料有限公司
  • 2019-04-12 - 2021-01-15 - C23C14/06
  • 一种用于物理气相沉积的靶,所述靶具有以下化学成分:‑以下化合物中的至少两种化合物的混合物:二硼化钽(TaB2)和/或硼化钨(WB2和/或W2B5)和/或二硼化钽(TaB2)和硼化钨(WB2和/或W2B5)的混合相,所述至少两种化合物为95摩尔%至100摩尔%‑0.01摩尔%至5摩尔%的碳(C)‑特别是小于0.01摩尔%的二硼化钽(TaB2)和/或硼化钨(WB2和/或W2B5)和/或二硼化钽(TaB2)和硼化钨(WB2和/或W2B5)的混合相以外的硼化物,其中就金属纯度而言,二硼化钽(TaB2)和/或硼化钨(WB2和/或W2B5)和/或二硼化钽(TaB2)和硼化钨(WB2和/或W2B5)的混合相的混合物以及碳(C)的总和至少为99.8摩尔%,并且所述靶具有以下物理性质:‑密度大于上述限定的化学成分的理论密度的90%、优选大于上述限定的化学成分的理论密度的95%,‑二硼化钽(TaB2)和/或硼化钨(WB2和/或W2B5)和/或二硼化钽(TaB2)和硼化钨(WB2和/或W2B5)的混合相的混合物的晶粒的平均粒度小于10微米、优选小于3微米。
  • 生产方法

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