[发明专利]结构化涂层源有效
| 申请号： | 201680074480.3 | 申请日： | 2016-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN108391438B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 皮特·波尔契克;萨宾·沃尔;罗尼·因纳温克勒 | 申请（专利权）人： | 普兰西复合材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人： | 田欣欣;刘思哲 |
| 地址： | 德国滨湖*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于物理气相沉积的涂层源，其所具有的涂覆材料是由脆性材料所组成并且具有龟裂。涂层源额外具有支持组件，其在涂覆材料的表面接合到涂覆材料。此外，涂覆材料在涂覆材料的至少部分表面上具有结构化。本发明进一步涉及一种制造涂层源的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 涂层 | ||
【主权项】：
1.一种用于物理气相沉积的涂层源(1)，其包括：涂覆材料(2)，其由脆性材料所组成并且具有龟裂(4)，支持组件(3)，其在该涂覆材料(2)的表面接合到该涂覆材料(2)，其特征在于：该涂覆材料(2)在该涂覆材料(2)的至少部分表面上具有结构化(5)。
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