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- [实用新型]一种臭氧水气液混合循环系统-CN202223414460.8有效
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居思薇;居建华
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无锡思锐电子设备科技有限公司
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2022-12-19
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2023-08-08
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B01F23/23
- 本实用新型公开了一种臭氧水气液混合循环系统，它包括：磁力泵；冷却桶；单向阀；混合组件，所述混合组件包括相配合的混合桶和臭氧进气控制单元，臭氧水浓度传感器；所述混合桶包括对接配合的第一半桶体和第二半桶体、形成在所述第一半桶体自由端的第一接头、形成在所述第二半桶体自由端的第二接头以及安装在所述第一半桶体自由端且延伸至所述第二半桶体内的排气管；所述臭氧进气控制单元包括控制箱本体、一端位于所述控制箱本体内且另一端延伸至所述控制箱本体外以连接臭氧发生器的臭氧引导管、一端延伸至控制箱本体内且另一端连接至所述第一转接管和所述第三出液管之间的臭氧进气管以及臭氧加压泵。这样能够避免混合桶内的压力过大而产生过压风险。
- 一种臭氧水气混合循环系统
- [实用新型]一种臭氧发生模组外壳体-CN202223482035.2有效
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居建华
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无锡思锐电子设备科技有限公司
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2022-12-26
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2023-04-21
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C01B13/11
- 本实用新型公开了一种臭氧发生模组外壳体，它包括：两块侧板；连接组件，所述连接组件包括设置在两块所述侧板之间且间隔设置的两组顶板机构以及形成在两块所述侧板第二周面c上且与所述顶板机构相配合的两组侧连接机构；每组所述顶板机构包括设置在两块所述侧板之间且开设有两个容纳孔的至少一块垫块以及设置在每个所述容纳孔内且与所述连接孔相对应的转接块；每组所述侧连接机构包括设置在两块所述侧板一侧且位于两个所述第二周面之间的走气块、与所述走气块相配合且通过多根连接件安装至所述所述安装孔处的两根压板。这样能够将它们牢靠地组装在一起，结构紧凑、连接强度大，使用场景宽泛。
- 一种臭氧发生模组外壳
- [实用新型]一种双面光清洗设备-CN202223433951.7有效
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居建华
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无锡思锐电子设备科技有限公司
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2022-12-21
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2023-04-18
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B08B7/00
- 本实用新型公开了一种双面光清洗设备，它包括至少一组光清洗单元，所述光清洗单元包括：支撑组件，所述支撑组件包括支撑架体以及安装在所述支撑架体底部的多个支撑脚；清洗组件，所述清洗组件包括设置在所述支撑架体顶部的进出料箱体、可转动地安装在所述进出料箱体内的多根传送辊、安装在所述进出料箱体上且与多根所述传送辊相连接以带动其转动的传动机构以及安装在所述进出料箱体内且位于所述传送辊上下两侧的UV灯组，所述UV灯组包括通过转接板安装在所述进出料箱体内壁上的灯座以及安装在所述灯座上的UV灯。结构简单、成本较低、可靠性好。
- 一种双面清洗设备
- [发明专利]一种硅片生产用高温臭氧氧化装置-CN202111397626.7有效
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常亮;居建华
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无锡思锐电子设备科技有限公司
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2021-11-23
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2022-09-13
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H01L21/67
- 本发明公开了一种硅片生产用高温臭氧氧化装置，包括工作台和壳体，所述壳体上设置有进料口和出料口，所述工作台的上侧壁设置有用于对硅片进行输送的输送机构，且输送机构通过驱动机构进行驱动，所述壳体内设置有多组用于对硅片进行加热的加热机构和用于对硅片表面进行氧化的氧化机构。该种硅片生产用高温臭氧氧化装置，采用陶瓷滚动轴对硅片进行输送，具有更好的耐高温性能，同时，在灯腔组内设置多个内置流道，向内置流道内通入循环冷却水，从而对下灯腔和上灯腔进行降温处理，避免高温对输送机构造成损坏，并且，在陶瓷滚动轴和传动轴之间设置有密封圈，起到缓震效果，能够避免输送过程中震动造成的影响，保证其使用寿命和输送效率。
- 一种硅片生产高温臭氧氧化装置
- [实用新型]一种具有氧气检测装置的臭氧发生器-CN202023244345.1有效
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居建华
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无锡思锐电子设备科技有限公司
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2020-12-29
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2021-12-07
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C01B13/10
- 本实用新型公开了一种具有氧气检测装置的臭氧发生器，所述氧气检测装置包括壳体，所述壳体一端安装有进气管，所述壳体另一端安装有连通管，所述壳体顶部安装有第一臭氧检测仪，所述进气管外侧安装有引风机，所述连通管端头处安装有第二臭氧检测仪，所述连通管外壁导通连接有排气管，所述第一臭氧检测仪一侧安装有数字温控器，所述壳体内侧安装有隔板，所述隔板两侧表面均安装有加热机构，且加热机构呈S型分布，所述加热机构由电热管和鳍片管组成。本实用新型通过电加热管接通电源后，同时利用数字温控器控制电加热管工作时的温度，通过加热的方式使臭氧迅速还原成氧气，然后通过排气管排出，可有效保护工作人员的呼吸系统不受损伤。
- 一种具有氧气检测装置臭氧发生器
- [发明专利]一种硅片翻转机构-CN201810580596.5有效
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居建华
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无锡思锐电子设备科技有限公司
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2018-06-07
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2021-11-12
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H01L21/683
- 本发明公开了一种硅片翻转机构，包括安装座、中空轴马达、旋转臂、转轴、两对片叉、一对吸盘、一对气管以及第二螺柱，所述安装座上开设有圆孔，所述中空轴马达通过第二螺柱固定于安装座上，所述转轴插装于中空轴马达内，所述旋转臂固定套装于转轴上，所述一对吸盘分别安置于旋转臂两端，所述一对气管分别与一对吸盘进行连通，且穿过旋转臂与转轴相连通，所述转轴与中空轴马达的转子轴相连通，本发明涉及硅片生产制造设备技术技术领域，减少对硅片表面的刮伤，让硅片在使用时减少其损耗，提高硅片使用寿命。
- 一种硅片翻转机构
- [实用新型]一种具有漏水警报结构的臭氧发生器-CN202023255496.7有效
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居建华
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无锡思锐电子设备科技有限公司
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2020-12-29
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2021-09-28
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F16M11/04
- 一种具有漏水警报结构的臭氧发生器，臭氧发生器机体为密封结构并于其中设有臭氧发生装置，臭氧发生器机体的底部设有连接警报装置的正负电极，臭氧发生器机体顶部表面两侧均安装有套管，套管顶部表面设有盖板，套管内腔底部表面安装有电动伸缩杆，电动伸缩杆顶部表面安装有托板，盖板底部表面两侧均安装有立柱，托板顶部表面中部安装有湿度检测组件。本实用新型当需要不对湿度检测组件使用时，可经套管和盖板对臭氧发生器上的湿度检测组件提供防护，当需要对湿度检测组件使用时，通过电动伸缩杆，可顶起托板和盖板，然后使得湿度检测组件伸出套管运行，通过格栅罩可对工作时的湿度检测组件提供防护，进而能够保护湿度检测组件使用安全。
- 一种具有漏水警报结构臭氧发生器
- [实用新型]一种工业臭氧设备电源驱动板冷却装置-CN202023255947.7有效
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居建华
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无锡思锐电子设备科技有限公司
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2020-12-29
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2021-09-28
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H05K7/20
- 本实用新型公开了一种工业臭氧设备电源驱动板冷却装置，包括电源驱动板，所述电源驱动板的上端开设有第一螺纹孔，所述第一螺纹孔对称开设有四个，所述电源驱动板的上端设置有热源区，所述电源驱动板的外侧固定有固定板，所述固定板的上端设置有第一连接板，所述第一连接板的上端固定有冷却风扇，所述固定板的上端设置有第二连接板，所述第二连接板的上端固定有多翅片散热器。该工业臭氧设备电源驱动板冷却装置，利用水冷式臭氧发生器中的水冷环路，在发生器电源驱动板增加水冷板，安装强化散热效果的冷却风扇，在散热器上再安装低噪声、大流量散热风扇，对热源区直接冷却，使水冷板直接和电源驱动板上的热源区产生高效的热交换。
- 一种工业臭氧设备电源驱动冷却装置
- [实用新型]一种臭氧发生器压力控制系统-CN202023202791.6有效
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居建华
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无锡思锐电子设备科技有限公司
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2020-12-26
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2021-06-25
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G05D16/20
- 本实用新型公开了一种臭氧发生器压力控制系统，它包括：臭氧发生器；两组气动阀，两组所述气动阀分别安装在所述进气管和所述出气管上；定义安装在所述进气管上的所述气动阀为第一气动阀，安装在所述出气管上的所述气动阀为第二气动阀；手动调节阀；质量流量计；压力传感器，所述压力传感器安装在所述进气管上且位于所述第一气动阀和所述手动调节阀之间；电磁阀模组；控制器，所述控制器至少分别与所述压力传感器和所述质量流量计相连接，用于接收所述压力传感器的信号对所述质量流量计进行控制。这样能够控制器能够接收压力传感器的信号对质量流量计进行精确控制；而且可以通过电磁阀模组实现对气动阀的通断进行控制。
- 一种臭氧发生器压力控制系统
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