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- [发明专利]一种半导体硅片制绒机-CN202310542669.2有效
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戴国焱
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常州市杰洋精密机械有限公司
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2023-05-15
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2023-07-25
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H01L21/67
- 本发明公开了一种半导体硅片制绒机，属于硅片制绒技术领域，包括工作架和制绒机构，所述制绒机构包括：输送带、储液筒、导液框、旋转筒、支撑架、放置框、调节组件、驱动组件和连接组件；所述工作架内侧设有输送带、储液筒和导液框，储液筒设有多个，通过导液框可向储液筒内侧注入相同浓度的混合液，通过驱动组件可实现旋转筒和驱动辊进行旋转，方便使放置有硅片的放置框位于储液筒上方，并通过调节组件可实现硅片与储液筒内侧的混合液充分接触，所述支撑架和放置框设有两组，能够同时在一组硅片进行制绒操作时，将另一组硅片放入放置框中，能够有效提高工作效率。
- 一种半导体硅片制绒机
- [发明专利]一种清洗烘干一体机-CN202310448044.X有效
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戴国焱
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常州市杰洋精密机械有限公司
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2023-04-24
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2023-07-14
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B08B3/02
- 本发明涉及硅片生产设备，尤其是一种清洗烘干一体机。一种清洗烘干一体机，包括清洗部以及烘干部，清洗部与烘干部由框架结构进行支撑；清洗部与烘干部之间为贯通连接的结构，清洗部以及烘干部内都有用于安放石墨舟的槽，在清洗部与烘干部内有一可移动到任何位置的机械手，该机械手用于抓取石墨舟；清洗部包括前端用于进料的进料机构以及多个用于清洗的清洗槽；烘干部包括多个用于烘干的烘干槽，烘干部的尾端有用于出料的空槽。这种清洗烘干一体机，将清洗设备以及烘干设备整合到一起，有效的减少了设备的占地面积，石墨舟也无需转运，避免了常规转运导致石墨舟中硅片升温降温的能耗损失，清洗烘干自动化操作，避免酸性气体外泄，保护工人安全。
- 一种清洗烘干一体机
- [实用新型]一种连体式石墨石英舟清洗装置-CN202221509858.7有效
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戴国焱
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江苏杰洋能源装备有限公司
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2022-06-16
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2022-09-27
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B08B3/04
- 本实用新型涉及一种连体式石墨石英舟清洗装置，包括槽体，槽体内至少具有三个依次贴合的清洗槽，清洗槽内安装有放置清洗物的支撑座，支撑座底端两侧分别安装有向清洗槽内进气的通气管，相邻两个清洗槽之间设有水流腔道，所述水流腔道包括与相邻两个清洗槽之间的隔板间距固定且高度低于隔板的竖板，竖板与隔板之间固接有自上而下间隔分布的若干个撑板，撑板上开设有通孔，位于隔板底部开设有连通相邻清洗槽的通水孔。本实用新型通过水流腔道连通各清洗槽，各水流腔道利用竖板与隔板之间的高度差形成自左向右或自右向左的逐级溢流功能，可提高清洗药液的流动性，混合更均匀，一次性完成多台石英石墨舟的清洗，降低成本。
- 一种体式石墨石英清洗装置
- [实用新型]一种石英舟上下料台-CN202221040065.5有效
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戴国焱
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江苏杰洋能源装备有限公司
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2022-04-29
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2022-08-30
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B65G65/32
- 本实用新型涉及上料设备技术领域，尤其是涉及一种石英舟上下料台，包括机架以及安装在机架内的驱动组件，所述驱动组件用于为石英舟移动提供动力，所述驱动组件包括驱动件、主动传动轴、若干从动传动链以及若干从动传动轴，所述驱动件和机架固定连接，所述驱动件的输出端和主动传动轴传动连接，所述主动传动轴和机架的首端转动连接，所述从动传动轴和机架的尾端转动连接，所述从动传动链依次绕经主动传动轴以及其所对应的从动传动链，通过驱动件、主动传动轴、若干从动传动链以及若干从动传动轴的配合，具有导向作用，可以在恶劣环境中使用，具有防酸、排液等功能，其中采用链式传动，承载能力大，输送物料灵活，传送平稳。
- 一种石英上下
- [实用新型]一种双列式硅片承载结构-CN202122462764.0有效
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戴国焱
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常州市杰洋精密机械有限公司
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2021-10-13
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2022-04-05
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一种双列式硅片承载结构，包括第一架板、第二架板、第一侧杆、第二侧杆、底杆和中央间隔杆；所述第一侧杆和第二侧杆水平对向设置于第一架板和第二架板的横向侧边，且所述第一侧杆和第二侧杆的两端连接于第一架板和第二架板；所述底杆的两端连接于第一架板和第二架板的底部侧边；所述中央间隔杆的两端连接于第一架板和第二架板中心位置；所述第一侧杆、第二侧杆和中央间隔杆对应接触硅片的周侧均设有齿形嵌片；所述底杆对应接触硅片的一侧设有左半齿形嵌片和右半齿形嵌片；若干所述左半齿形嵌片和右半齿形嵌片依次交替排设于底杆的周侧。
- 一种双列式硅片承载结构
- [实用新型]一种极限检测结构-CN202121767445.4有效
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戴国焱
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常州市杰洋精密机械有限公司
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2021-07-31
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2021-12-28
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B25J9/12
- 本实用新型涉及一种极限检测结构，其特征在于，包括：固定杆；电感接近开关装置，设有固定座，所示固定座设有开口，所述电感接近开关装置通过所述开口套接在所述固定杆上；感应块组件，与所述电感接近开关装置通过磁性连接；滑块组件，与所述感应块组件固定连接。可用于检测机械手到达极限位置；通过装有电感接近开关的装置纵向位置固定，安装在机械手上的感应块，当机械手运动到纵向极限位置，此时机械手上的感应块与电感接近开关接近会发生磁性感应，接通接近开关，如此会把信号传送给伺服电机，并作出一系列指示，使得机械手作出停止动作；能使用于酸性或碱性环境，结构简单，容易实现，还能普遍应用于监测机械手运动的上位和下位领域。
- 一种极限检测结构
- [实用新型]一种槽式清洗用的传动结构-CN202121767468.5有效
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戴国焱
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常州市杰洋精密机械有限公司
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2021-07-31
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2021-12-28
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B08B3/04
- 本实用新型公开了一种槽式清洗用的传动结构，包括第一支撑架和第二支撑架、安装在所述第一支撑架和第二支撑架上端的横梁以及滑动安装在第一支撑架和第二支撑架上的滑动组件；通过滑动组件在两个支撑架上的滑动，带动设有的清洗篮向上或者向下滑动；另外，横梁上还设有电动机以及传动轴和主链轮。第一支撑架和第二支撑架通过设有的链条与横梁两个端部的主动轮连接，所述第一支撑架内还设有与链条另一端连接的第一从动轮，通过链条带动清洗篮上下滑动，故而解决了带传动不能保持准确的平均传动比、传动效率低，径向压轴力较大的问题；同时也解决了主动轮传动，安装精度要求高，不可远距离传动的问题以及使用螺杆螺旋传动使用成本高的问题。
- 一种清洗传动结构
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