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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]清洗机滤芯更换装置-CN202222600824.5有效
发明人： 徐晨鸽;李迎辉 -专利权人：徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种清洗机滤芯更换装置，包括第一清洗室、第二清洗室、循环管路和上位机，第二清洗室位于第一清洗室内部，且与第一清洗室连通；循环管路进口与第一清洗室连通，其出口与第二清洗室连通；循环管路上连接循环泵、加热器和过滤管路，过滤管路由多路过滤管支路并联组成，过滤管支路上连接过滤器，过滤器两侧分别连接一个开关阀，过滤器进液口连接进水管路，进水管路上连接进水阀，过滤器出液口连接排水管路，排水管路上连接排水阀；上位机分别与循环泵、加热器、开关阀、进水阀和排水阀相连。本实用新型能够在清洗机正常运行下更换滤芯，且采用独立循环管路对新的滤芯进行冲洗，避免对清洗室造成污染，同时节省冲洗时间和用水量。
清洗机滤芯更换装置

[实用新型]清洗机自动调节腔体内部洁净度的系统-CN202222623500.3有效
发明人：李迎辉;徐晨鸽 -专利权人：徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种清洗机自动调节腔体内部洁净度的系统，包括清洗机本体，清洗机本体内限定形成腔体，腔体内通过多个隔板间隔隔开形成多个腔室，多个腔室按照清洗工艺顺序依次为上料室、SC1室、去离子水室一、SC2室、去离子水室二、慢提拉室、红外烘干室和出片室，每个腔室的上方安装有风机过滤机组一和风机过滤组二，风机过滤机组一和风机过滤组二的下方分别安装有风速计一和风速计二，每个腔室的一侧下部开设有排气口，排气口通过主排气管与厂务端负压管道连通，主排气管内安装有风速计三和电动风阀一；每个腔室内均安装有空气颗粒计数器；SC1室和SC2室内均安装有化学气体检测仪。
清洗自动调节体内洁净系统

[实用新型]片盒包装机自动抽排气封口装置-CN202221998178.6有效
发明人：李迎辉;徐晨鸽 -专利权人：徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B65B31/06 文献下载
摘要：本实用新型公开一种片盒包装机自动抽排气封口装置，包括封口机、气体导出部件、气体导入部件、伸缩部件，气体导出部件用于导出包装袋内的气体，气体导入部件用于向包装袋内充气，伸缩部件用于使气体导出部件和气体导入部件伸入或远离包装袋内部。本实用新型先通过气体导出部件导出包装袋内的气体，包装袋内为微负压时，再通过气体导入部件向包装袋内充入定量的气体，从而保证每个装有片盒的包装袋内的气体均符合工艺要求。
片盒包装机自动排气封口装置

[实用新型]片盒烘干装置-CN202220845671.8有效
发明人：李迎辉;徐晨鸽;翟浩天 -专利权人：徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本实用新型公开一种片盒烘干装置，包括循环管路、排气管路、进气管路和微型控制器；循环管路上连接有烘干箱体、第三气动阀、第一湿度计、气体循环干燥装置、第二湿度计和第二气动阀，烘干箱体内安装有压力传感器；排气管路上连接有第四气动阀、第二流量控制阀和氧气检测仪，排气管路进气口与烘干箱体的出气口连通；进气管路上连接有第一流量控制阀和第一气动阀，进气管路出气口与烘干箱体进气口连通；微型控制器分别与湿度计、气体循环干燥装置、气动阀、流量控制阀和氧气检测仪连接。本实用新型能够以定量的氮气快速对片盒进行干燥，节省氮气能源的消耗，提高片盒烘干效率，且湿度计采集的气湿度能够准确地判断片盒的干燥程度。
烘干装置

[实用新型]片盒包装袋内气体含量及密封性检测装置-CN202220377476.7有效
发明人：李迎辉;徐晨鸽 -专利权人：徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-02-23 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： G01M3/34 文献下载
摘要：本实用新型公开一种片盒包装袋内气体含量及密封性检测装置，包括检测箱体、密封盖、充气部件、抽气部件、压力传感器和控制单元；检测箱体一侧具有开口；密封盖用于密封检测箱体的开口处；充气部件包括充气管路、第一气动阀、第一手动比例阀和第一气体流量计，用于定量向检测箱体内部注入气体；抽真空部件与检测箱体相连；压力传感器安装在检测箱体内部；控制单元用于根据接收到的流量值控制第一气动阀打开或关闭，用于控制抽真空部件是否抽取检测箱体内的气体，用于将接收到的压力数据并传送至显示屏显示出来。本实用新型能够及时有效地检测装有片盒的包装袋内部的气体含量及密封性，避免漏检、错检、漏放的风险，且检测准确、检测时间短。
片盒包装袋气体含量密封性检测装置

[实用新型]半导体清洗机化学品浓度控制系统-CN202122857117.X有效
发明人： 徐晨鸽 -专利权人：徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2021-11-22 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： G05D11/13 文献下载
摘要：本实用新型公开一种半导体清洗机化学品浓度控制系统，包括化学清洗池、纯水池、化学品池、废水池和化学浓度检测计，其中，化学浓度检测计安装在化学清洗池内；所述纯水池、化学品池和废水池均通过管路与化学清洗池连通，其中，废水池通过管路与化学清洗池底部连通；所述纯水池与化学清洗池之间的管路上连接有第一流量计和第一电磁阀；所述化学品池与化学清洗池之间的管路上连接有第二流量计和第二电磁阀；所述废水池与化学清洗池之间的管路上连接有第三流量计和第三电磁阀；所述流量计、电磁阀和化学浓度检测计分别与控制器电连接。本实用新型能够始终控制化学清洗池内的化学品浓度在要求的范围内，保证清洗后硅片的质量。
半导体清洗机化浓度控制系统

[实用新型]化学品供应装置-CN201620560353.1有效
发明人： 徐晨鸽;徐暎昊 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2016-06-12 - 公布日： 2016-11-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种化学品供应装置，包括：多个化学管路，混合槽，不同的化学物品在混合槽中混合，形成清洗液；混合支路，设有泵和加热装置的混合支路，将清洗液输入至清洗机的化学槽中的清洗液输入管路，设有清洗装置的清洗液循环支路。添加的混合槽能够先对不同的化学物品进行混合，并且由混合支路进行均匀的混合，形成较为良好的清洗液，接着将清洗液输入至化学槽中，对硅片进行清洗，能够提高清洗效率，并且避免了化学物品的浪费。
化学品供应装置

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