专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种制备铌溅射靶材的方法-CN200910180107.8有效
  • 宜楠;张锟宇;孙毅;王飞;李俊;于乐庆;赵鸿磊 - 西部金属材料股份有限公司
  • 2009-09-29 - 2010-03-03 - C23C14/34
  • 本发明涉及一种制备铌溅射靶材的方法,其特征在于其制备过程的步骤依次包括:(1)将直径Φ300-330mm的铌锭,在900~1100℃温度下,挤压成直径为100-150mm的铌棒,控制挤压比大于7;(2)将铌棒加热至500~700℃均温后,使用空气锤镦锻整形为板坯,其中控制前两道次镦锻的加工率≥30%;(3)将板坯进行中间退火,退火温度为900~1100℃,保温时间为1-2h;(4)将退火后的板坯进行轧制,控制前两道次的加工率单道次大于35%,后续轧制加工率大于20%;(5)将轧制后的成品退火。本发明的方法,采用大加工率高温挤压,使铌棒挤压过程中发生动态再结晶,使晶粒充分破碎,降低铸锭芯部与边缘的晶粒大小差异,保证了晶粒取向一致,终获得70%以上的[111]型织构。
  • 一种制备溅射方法

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