专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种半导体设备的载具及平行度检测方法-CN202010915564.3有效
  • 林鑫;蔡文必;张灿秋 - 厦门市三安集成电路有限公司
  • 2020-09-03 - 2022-03-11 - G01B11/27
  • 本发明公开了一种半导体设备的载具及平行度检测方法,属于半导体设备领域。载具设有支架,设于支架上部可沿第一平面方向移动的平台,平台上部具有放置晶圆片的装载部,装载部平面中心一侧设有测距单元,用以测量测距单元至装载部上方作业面之间的距离,测距单元可沿平行于装载部平面方向摆动或转动;显示单元,用于显示测距单元的测距数值;检测时,不需要载台处于水平状态,将平台移动至与作业面与装载部平面错开位置,摆动测距单元测量作业面内测量轨迹中点和两个端点的距离数值,比较三个点的距离数值,若均相等则可判断为两平面平行;若有一个数值不相等则可判断为两平面不平行,减少了人工操作步骤,提升作业效率。
  • 一种半导体设备平行检测方法
  • [实用新型]一种半导体器件的电极结构及半导体器件-CN202120177394.3有效
  • 王勇;林鑫;张灿秋 - 厦门市三安集成电路有限公司
  • 2021-01-22 - 2021-11-02 - H01L29/41
  • 本实用新型公开了一种半导体器件的电极结构及半导体器件,包括形成于外延层上表面的第一电极层、形成于第一电极层上且厚度大于第一电极层的第二电极层,还具有包裹第一电极层和第二电极层的黏合层、依序形成于黏合层上方的钝化层和平坦层,其中,第二电极层上部具有依次贯穿黏合层、钝化层和平坦层的引线开口;较软的铝制第一电极层与硬质氮化硅钝化层之间增加钛黏合层,提高了二者之间的黏合性,并且钛本身硬度大于铝,其包裹第一电极层可以一定程度上限制第一电极层受压力变形,钛黏合层外再包裹一层质地更硬且耐腐蚀的氧化铝,在进一步提升第一电极层抗压力性能的同时,提高第一电极层的抗腐蚀能力,最终提升半导体器件的稳定性和使用寿命。
  • 一种半导体器件电极结构
  • [实用新型]一种晶圆片自动传片装置-CN202021687490.4有效
  • 林鑫;林志东;王勇;张灿秋 - 厦门市三安集成电路有限公司
  • 2020-08-13 - 2021-04-16 - H01L21/677
  • 本实用新型涉及一种晶圆片自动传片装置,通过自动化控制的驱动机构将晶圆片从供片晶圆盒推动至接片晶圆盒,实现传片速度、力度和距离精准控制,防止速度过快而造成晶圆片损坏,速度过慢而影响传片效率。配合第一位置检测装置、第二位置检测装置,限定推杆的行程,并实现推杆的自动推动与自动返回,提高生产效率。通过压力检测装置对晶圆盒是否放置到位进行检测,当检测到晶圆盒放置到位后,允许驱动机构进行传片动作,避免因晶圆盒放置不到位,造成晶圆片破片或崩边。本实用新型的实施可实现晶圆盒放置到位自检测与自动传片,减少人为因素与设备因素导致传片过程中造成的破片或崩边,适用于不同尺寸晶圆片,如4寸、6寸的晶圆片。
  • 一种晶圆片自动装置
  • [实用新型]一种载台平行度检测仪-CN202021900845.3有效
  • 蔡文必;林鑫;张灿秋 - 厦门市三安集成电路有限公司
  • 2020-09-03 - 2021-03-30 - G01B11/27
  • 本实用新型公开了一种载台平行度检测仪,属于半导体的制程设备领域。包括:一放置于载台上的支架,支架设置有三个装接端;每一个装接端分别装设有激光发射方向相互平行,并且在激光发射方向上不为一个平面的第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元;支架连接有显示单元,显示单元的面板侧设有操作按键;支架设有电源且电连接三个测距单元和显示单元;利用了三个不在一条直线上的点确定一个平面、平行四边形对边等长且两两平行的几何原理;不需要载台处于水平状态,仅通过三个测距单元的测距数值,就能够快速判断载台和作业面是否相互平行;并且载台平行度检测仪可以适配不同型号载台,通配率高。
  • 一种平行检测
  • [实用新型]一种龙头安装结构及其龙头组件-CN201922207748.X有效
  • 林孝发;林孝山;黄春生;张灿秋;其他发明人请求不公开姓名 - 九牧厨卫股份有限公司
  • 2019-12-10 - 2020-10-27 - E03C1/04
  • 本实用新型公开一种龙头安装结构及其龙头组件,所述安装结构包括:复数抱合块、摆动臂、环形固定座和操作套;所述复数抱合块具有配合部且配合部具有螺纹段,所述摆动臂的一端固接于抱合块,另一端具有轴部;所述环形固定座具有周向布置的容纳槽,摆动臂的轴部置于容纳槽内径向摆动;所述操作套套设于环形固定座,具有与抱合块或摆动臂相对应的抵推部。操作套的抵推部顶抵抱合块或摆动臂使抱合块持续处于抱合状态形成锁定模式,抵推部退让使抱合块可向环形固定座轴心辐射方向运动,松开与连接螺纹管的配合形成解锁模式。整个安装结构没有使用弹性件,结构更稳定可靠。
  • 一种龙头安装结构及其组件
  • [发明专利]一种龙头安装结构及其龙头组件-CN201911259397.5在审
  • 林孝发;林孝山;黄春生;张灿秋;其他发明人请求不公开姓名 - 九牧厨卫股份有限公司
  • 2019-12-10 - 2020-04-03 - E03C1/04
  • 本发明公开一种龙头安装结构及其龙头组件,所述安装结构包括:复数抱合块、摆动臂、环形固定座和操作套;所述复数抱合块具有配合部且配合部具有螺纹段,所述摆动臂的一端固接于抱合块,另一端具有轴部;所述环形固定座具有周向布置的容纳槽,摆动臂的轴部置于容纳槽内径向摆动;所述操作套套设于环形固定座,具有与抱合块或摆动臂相对应的抵推部。操作套的抵推部顶抵抱合块或摆动臂使抱合块持续处于抱合状态形成锁定模式,抵推部退让使抱合块可向环形固定座轴心辐射方向运动,松开与连接螺纹管的配合形成解锁模式。整个安装结构没有使用弹性件,结构更稳定可靠。
  • 一种龙头安装结构及其组件

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