专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]光刻图形检测方法及系统-CN201911157399.3在审
  • 张添寿 - 长鑫存储技术有限公司
  • 2019-11-22 - 2021-05-25 - H01L21/66
  • 本发明涉及一种光刻图形检测方法及系统,光刻图形检测方法包括:提供第一子图形;提供第二子图形,且第二子图形与第一子图形构成待测的第一图形;基于第一中心点将第一图形旋转第一预设角度得到第二图形;判断第一图形与第二图形是否完全重合,并基于判断结果确定第一图形是否为合格图形。通过检查新图形与原图形是否完全重合,判断原图形是否对称,能够方便、准确地验证设计的光刻图形是否合格。
  • 光刻图形检测方法系统

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