专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种提高ALD膜厚均匀性的方法-CN202311221317.3在审
  • 陈庆敏;卓倩武;俞玉松;张旭冉;贾建英 - 无锡松煜科技有限公司
  • 2023-09-21 - 2023-10-27 - C23C16/455
  • 本发明属于气相沉积技术领域,尤其涉及一种提高ALD膜厚均匀性的方法。本发明膜制备过程包括如下步骤:将基底放置于所述反应腔内,并对所述反应腔进行抽真空和升温处理;通入水前驱体到反应腔,对硅片进行预处理;通入铝前驱体,沉积于硅片表面;通入惰性保护气吹扫;通入水前驱体,用于与铝前驱体反应;通入惰性保护气,用于吹扫掉多余的水前驱体;重复上述步骤数次。在通入铝前驱体或者水前驱体的同时,通入一定量的惰性保护气,如氮气,这样氮气和铝前驱体或者水前驱体进入后混合,能够把反应气体均匀分散开来,就能够解决大产能反应腔室中部分位置量少的现象。
  • 一种提高ald均匀方法
  • [实用新型]一种氢燃料电池电堆组装设备-CN202321023188.2有效
  • 穆世慧;赵曙光;张旭冉 - 北京民利储能技术有限公司
  • 2023-04-28 - 2023-10-13 - H01M8/2404
  • 本实用新型涉及氢燃料电池组装技术领域,尤其是一种氢燃料电池电堆组装设备,包括框架,所述框架的顶端固接有外壳,所述框架的内部两侧安装有传送带,所述传送带的顶端放置有电池壳,所述框架的内部中间设置有限位装置,所述外壳的内部边缘均设置有组装装置。通过电机、带槽转筒和L形推动板之间的配合,右侧的L形推动板推动将阳极板箱中的阳极板推到外壳内部中心缺口处,并掉落进电池壳中,之后前端L形推动板将质子交换膜箱中的质子交换膜推到外壳内部中心缺口处,最后左侧的L形推动板将阴极板箱中的阴极板推到外壳内部中心缺口处,实现组装,不在需要利用吸盘进行操作,避免了搬运的过程中极板掉落,防止极板的损坏,实现组装的功能。
  • 一种燃料电池组装设备
  • [发明专利]一种提高硼扩散均匀度的方法-CN202310789442.8有效
  • 陈庆敏;卓倩武;俞玉松;张旭冉;贾建英 - 无锡松煜科技有限公司
  • 2023-06-30 - 2023-09-29 - C30B31/16
  • 本发明涉及光伏电池制造技术领域,尤其涉及一种提高硼扩散均匀度的方法。包括如下步骤:S01.在反应腔室内放入插有硅片的石英舟,并进行前扩散步骤;S02.进行低压通源扩散步骤,低压通源扩散步骤包括:向反应腔室内同时通入三氯化硼,氧气及氮气;S03.在低压通源扩散步骤结束后,停止向反应腔室中通入三氯化硼,且通入氮气提升反应腔室内气压;S04.进行高压通源扩散步骤,高压通源扩散步骤包括:同时通入三氯化硼,氧气及氮气;本发明通过使用高低压力分步通入硼源,利用反应腔室高压和低压来控制硼源在腔室里流动的速度,从而扩散出整体高均匀度的方阻。并且本发明用工艺的方法弥补炉口炉尾方阻均匀度差的问题,机台可省略因抽气导致的反应腔加长的结构。
  • 一种提高扩散均匀方法
  • [实用新型]一种微波样品处理台-CN202320903934.0有效
  • 王静;刘小军;杨冬萌;张旭冉;靳志远;王熙 - 河北德诺商品检测技术服务有限公司
  • 2023-04-21 - 2023-09-12 - G01N1/44
  • 本实用新型公开了一种微波样品处理台,包括箱体;箱体上枢接有箱门,箱体的内部开设有与箱门相对设置的微波消解腔,微波消解腔中转动设置有转盘,其中,转盘上设置有用于对若干个试管进行限位的限位机构;限位机构包括固定设置在转盘上的两块立板,两块立板相对设置且相对面上分别设置有水平设置的弹簧;每块立板上的弹簧远离立板的一端固定连接有一块与转盘间隔设置的弧形橡胶板;两块弧形橡胶板间形成有用于容装试管的空间。本实用新型通过设置的限位机构,可有效的对多个试管进行限位,从而避免试管在转动的时候从转盘上倾倒脱落造成样本洒出,不但操作简单,而且弧形橡胶板为橡胶材质,还可增大与试管间的摩擦力,更稳定的夹紧试管。
  • 一种微波样品处理
  • [发明专利]一种硼扩散设备及其使用方法-CN202310771873.1有效
  • 陈庆敏;卓倩武;俞玉松;张旭冉;贾建英 - 无锡松煜科技有限公司
  • 2023-06-28 - 2023-09-01 - H01L21/22
  • 本发明属于光伏电池制造技术领域,尤其涉及一种硼扩散设备及其使用方法。本发明硼扩散炉包括:炉体,用于提供扩散剂输送到硅片表面的场所;进气系统;排气系统;其中,所述进气系统包括至少部分设置在所述炉体内的前部进气管以及中部进气管,所述中部进气管位于所述炉体中部的部分的设有出气口,所述出气口的开口朝向接近水平。本发明的硼扩散设备在控制硼扩散整体进气量不变的情况下,将常规的单路进气改为双路进气,即增加一路额外的进气管路,且该管路的出口处在炉管中部,炉管中部的进气管路具有水平方向的两个出气口,水平设置的出气口一方面均匀了炉体内部硼扩散均匀性,另一方面避免了硼源直接喷到硅片上。
  • 一种扩散设备及其使用方法
  • [实用新型]一种超声波清洗器-CN202320796432.2有效
  • 李枫;刘小军;贾亚楠;张旭冉;杨冬萌;柳亚南;杜曼曼 - 河北德诺商品检测技术服务有限公司
  • 2023-04-12 - 2023-08-22 - B08B9/42
  • 本实用新型公开了一种超声波清洗器,包括清洗器本体,清洗器本体的内部设置有清洗槽,清洗器本体的顶部设置有用于封盖清洗槽的盖板,清洗器本体的侧部设置有与盖板的下表面连接来驱动盖板升降的盖板电动推杆,其中,所述盖板的下表面挂设有可伸入清洗槽的清洗框,清洗框的内部形成有若干个贯穿清洗框宽度方向设置的固定格;所述固定格中沿固定格的深度方向倾斜设置有一个用于容装试管的网袋,网袋的开口端高于网袋的封口端;所述试管的试管口靠近网袋的封口端,试管的底部靠近网袋的开口端。本实用新型可避免试管之间因碰撞而发生损坏,以及避免试管漂浮,进而保证清洗效果;可在清洗框被提起后,使试管中的清洗液快速排出。
  • 一种超声波清洗
  • [发明专利]一种提高TOPcon电池LPCVD直通率的方法-CN202310677446.7在审
  • 陈庆敏;卓倩武;俞玉松;张旭冉;贾建英 - 无锡松煜科技有限公司
  • 2023-06-09 - 2023-08-18 - H01L31/18
  • 本发明提供一种提高TOPcon电池LPCVD直通率的方法,在微负压条件下,利用LPCVD工艺在硅片表面沉积隧穿氧化层;所述微负压条件为300~700torr。本发明采用微负压沉积隧穿氧化层工艺,使得LPCVD工艺的整个反应过程中,反应腔室的压力保持低于大气压状态,无热气流经过炉门及密封圈,改善了反应室的密封性,避免反应室内的气体泄漏或者炉管外的空气混入反应室内,确保隧穿氧化层和非晶硅薄层的沉积质量,从而提高看了TOPcon电池的转换效率;同时,使后续的沉积非晶硅层工序中抽真空至低压工艺保持稳定状态,降低返工率,从而提高TOPcon电池中LPCVD直通率。
  • 一种提高topcon电池lpcvd直通方法
  • [实用新型]一种质谱仪的检测液配制仪-CN202320730890.6有效
  • 校腾;默珊;何亚楠;张旭冉;赵凌琛 - 河北德诺商品检测技术服务有限公司
  • 2023-04-06 - 2023-06-30 - G01N1/38
  • 本实用新型公开了一种质谱仪的检测液配制仪,包括箱体,箱体的下部设置有箱门;箱体的内壁上设置有直线导轨,直线导轨上配装有滑块;滑块上安装有液压杆,液压杆上安装有夹持手臂,夹持手臂上安装移液枪;箱体底端面上设置样品位、稀释位、溶剂位;箱体内设置摄像头,摄像头的输出端连接PLC控制器;箱体上设置有触摸屏,触摸屏的输出端连接PLC控制器,且直线导轨、液压杆的受控端连接PLC控制器。本实用新型具有移液枪浸入深度相同,能保证移液枪竖直。移液准确率高、误差低的优点。
  • 一种质谱仪检测配制

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