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- [实用新型]一种硅片分片吸盘组件-CN202021866295.8有效
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沈晓琪;姚正辉;张峥水
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无锡小强半导体科技有限公司
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2020-08-31
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2021-05-11
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H01L21/683
- 本实用新型公开了一种硅片分片吸盘组件,包括集气板、密封板、插槽板和吸取组件，所述密封板位于集气板与插槽板之间，所述吸取组件包括第一吸盘和第二吸盘，所述第一吸盘和第二吸盘交错安装于插槽板上，所述第一吸盘和第二吸盘上固设有L型气道和凹槽，所述密封板为集气板与插槽板的进气通道进行密封，所述集气板为吸取组件供气，所述吸取组件通过凹槽吸取硅片，本实用新型采用至少两组凹槽结构对硅片进行吸附，增加吸附硅片的稳定性，本实用新型采用第一O形圈和第二O形圈对集气板、密封板和插槽板的安装进行密封，保证气体流通的密封性，提高气体进入吸取组件的效率。
- 一种硅片分片吸盘组件
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