专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]离子束蚀刻系统-CN202210842269.9在审
  • 杨建勋;张克正;杨建伦;喻鹏飞 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2022-07-18 - 2022-11-25 - H01J37/32
  • 本发明实施例有关于包含工艺腔的离子束蚀刻系统。工艺腔包含被配置以提供等离子体的等离子体室。此外,工艺腔包含加速器栅,上述加速器栅具有包含第一加速器栅元件及第二加速器栅元件的多个加速器栅元件。第一导线耦接至第一加速器栅元件,被配置以将第一电压供应至第一加速器栅元件。第二导线耦接至第二加速器栅元件,被配置以将不同于第一电压的第二电压供应至第二加速器栅元件。通过第一洞的第一离子束由第一加速器栅元件控制,通过第二洞的第二离子束由第二加速器栅元件控制。
  • 离子束蚀刻系统
  • [实用新型]一种储能式可调节热水器-CN202221384783.4有效
  • 张克正;马红旺;汪雨诗 - 宁波市乐卡西智能科技有限公司
  • 2022-06-06 - 2022-10-18 - F24H1/20
  • 本实用新型公开了一种储能式可调节热水器,包括:热水器主体,内部具有容纳空间;储水部,设置在所述容纳空间内,所述储水部用于存储水,所述储水部设置有至少两个安装部,密封件,所述密封件与所述安装部可拆卸连接;加热装置,包括加热体和操作模块,所述加热体与所述操作模块电性连接,所述加热体设置在所述储水部内部,所述加热体与所述安装部可拆卸连接,所述操作模块与所述储水部可拆卸连接,所述加热装置的数量与所述安装部的数量对应。本实用新型可以根据热水的需求量来调节热水器的加热状态。
  • 一种储能式可调节热水器
  • [发明专利]离子束蚀刻系统-CN202210329815.9在审
  • 杨建勋;张克正;杨建伦;喻鹏飞 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2022-03-30 - 2022-08-30 - H01J37/32
  • 本公开关于一种离子束蚀刻系统,包括配置以提供等离子体的等离子体腔室、屏栅、萃取格栅、加速器格栅和减速器格栅。屏栅接收屏栅电压以从等离子体腔室内的等离子体中萃取离子以形成穿过孔洞的离子束。萃取格栅接收萃取格栅电压,其中屏栅电压与萃取格栅电压之间的电压差决定离子束的离子电流密度。加速器格栅接收加速器格栅电压。萃取格栅电压和加速器格栅电压之间的电压差决定离子束的离子束能量。离子束蚀刻系统可更包括偏转器系统,偏转器系统具有位于孔洞周围的第一偏转器板和第二偏转器板,以控制离子束的方向。
  • 离子束蚀刻系统

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