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[发明专利]多晶硅表面颗粒污染物的去除方法-CN202310626311.8在审
发明人：孔庆路;石强;周颖;李秀然;李协吉;庞士武;董健;袁力 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种多晶硅表面颗粒污染物的去除方法及屏蔽栅沟槽型器件的形成方法。具体的，其针对形成有多晶硅材料层和硬掩膜层的半导体衬底进行CMP化学机械研磨之后，有机颗粒污染物极易选择性的吸附在多晶硅材料层的表面上的问题，通过改善多晶硅表面亲疏水情况，提出了可以将现有的湿法清洗工艺中的HF清洗试剂去除，然后，在利用该改进后的湿法清洗工艺对所述多晶硅材料层和所述硬掩膜层的表面进行清洗，减小所述多晶硅材料层的表面接触角，即增强所述多晶硅材料层的表面亲水性的特性，减小所述多晶硅材料层的表面对成分包含碳和/或氧的有机颗粒污染物的吸附，并最终改善了多晶硅材料层表面的颗粒污染物的污染情况。
多晶表面颗粒污染物去除方法

[发明专利]一种基于互联网的智能收视终端-CN202210572331.7在审
发明人： 庞士武;刘克娜;刘阳;梁家玮;苗扬;林培;袁长顺;王亚群;蔺文燕;张帆;魏倩;王冰华;赵远航;史卫东;张占永 -专利权人：龙宇天下（北京）文化传媒有限公司
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： H04N21/41 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于互联网的智能收视终端，涉及收视终端设备技术领域，包括终端本体、插口，终端本体的外表面设置有交互结构，终端本体的下端外表面设置有减震结构，终端本体的外表面靠近插口处设置有导线结构，交互结构包括设置于终端本体外表面的语音交互模块，用于与用户之间进行交互，并完成用户的语音指令，语音交互模块的一侧设置有方言收集模块，用于对用户的方言进行收集，方言收集模块的一侧设置有对应模块，用于将用户的方言与普通话相对应，方言收集模块的一侧设置有中心处理模块，本发明解决了现有收视终端不能够与用户进行语音交互，同时用于各地方言的不同，不能够针对用户的不同方言进行语音控制，使用体验较差的问题。
一种基于互联网智能收视终端

[发明专利]一种应急安全宣教数智化机器人-CN202210572381.5在审
发明人： 庞士武;刘克娜;梁家玮;刘阳;苗扬;林培;袁长顺;王亚群;蔺文燕;张帆;魏倩;王冰华;赵远航;史卫东;张占永 -专利权人：龙宇天下（北京）文化传媒有限公司
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种应急安全宣教数智化机器人，涉及医疗轮椅技术领域，该应急安全宣教数智化机器人，包括机器人本体、基座和头部显示块，所述头部显示块的外侧设置有第一显示屏，所述机器人本体的一侧设置有控制面板，所述控制面板的外侧设置有第二显示屏，所述控制面板的外侧设置有检测组件，所述基座的外侧设置有防撞结构；一种应急安全宣教数智化机器人，通过检测组件的设置，从而提醒使用者在现阶段疫情期间需要进行及时的防控，提高机器人本体的宣教效率，通过防撞结构的设置，从而起到较好的防撞效果，避免基座和机器人本体直接受到撞击，提高其使用寿命，通过升降结构的设置，便于不同身高的使用者进行操作使用，提供其实用性。
一种应急安全宣教数智化机器人

[实用新型]真空热量计的水路连接系统-CN201720358128.4有效
发明人：何军;彭军;陈迟;李艳荣;裴富国;程科华;李莹峰;庞士武;赵宇 -专利权人：北京迪奈创新科技有限公司
申请日： 2017-04-07 - 公布日： 2017-10-31 - 主分类号： G01K17/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空热量计的水路连接系统包括进水阀，进水阀的入口端与恒温单元供水口相连接，出口端连接进出水管，进出水管沿真空内筒的上边沿引入真空内筒的底部；放水泵，放水泵的入口端与进出水管相连接，出口端与恒温单元回水口相连接；循环水泵，循环水泵的入口端与加热装置、制冷装置串连接，加热装置或制冷装置的入口端与水箱的出水口相连，恒温单元回水口与水箱的入水口相连，循环水泵的出口的一端连接到水箱内，另一端作为恒温单元供水口。通过本实用新型的技术方案，减少了对真空内筒保温性能的影响，极大地简化了热量计水路，降低了成本，提高了对热量计水路连接系统的安装和检修的效率。
真空热量计水路连接系统

[发明专利]高压电子点火电路和氧弹热量计-CN201710222977.1在审
发明人：何军;彭军;陈迟;李艳荣;裴富国;程科华;李莹峰;庞士武;赵宇 -专利权人：北京迪奈创新科技有限公司
申请日： 2017-04-07 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： F23Q3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高压电子点火电路和氧弹热量计，其中前者包括直流电源、点火开关、自激振荡电路、高压整流储能电路、自动放电电路和两个点火电极；自激振荡电路包括三极管和第一变压器，高压整流储能电路包括蓄能电容、二极管和第二变压器，自动放电电路包括延时电容、可控硅和滑动变阻器，点火电极分别连接在第二变压器的副线圈的两端。通过本发明的技术方案，提高了点火装置的重复利用率，提高了点火的成功率，减少了人工操作的过程，从而提升了用户的使用体验和测定实验过程的准确性和效率。
高压电子点火电路热量计

[发明专利]真空热量计的水路连接系统-CN201710222991.1在审
发明人：何军;彭军;陈迟;李艳荣;裴富国;程科华;李莹峰;庞士武;赵宇 -专利权人：北京迪奈创新科技有限公司
申请日： 2017-04-07 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： G01K17/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空热量计的水路连接系统包括进水阀，进水阀的入口端与恒温单元供水口相连接，出口端连接进出水管，进出水管沿真空内筒的上边沿引入真空内筒的底部；放水泵，放水泵的入口端与进出水管相连接，出口端与恒温单元回水口相连接；循环水泵，循环水泵的入口端与加热装置、制冷装置串连接，加热装置或制冷装置的入口端与水箱的出水口相连，恒温单元回水口与水箱的入水口相连，循环水泵的出口的一端连接到水箱内，另一端作为恒温单元供水口。通过本发明的技术方案，减少了对真空内筒保温性能的影响，极大地简化了热量计水路，降低了成本，提高了对热量计水路连接系统的安装和检修的效率。
真空热量计水路连接系统

[发明专利]一种测试氧化石墨烯溶液阻抗的简易方法-CN201310316482.7有效
发明人：张东;庞士武 -专利权人：同济大学
申请日： 2013-07-25 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： G01R27/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种测试氧化石墨烯溶液阻抗的简易方法，包括以下步骤：将信号发生器、可变电阻、固定电阻及电导池串联成一回路，将示波器并联在固定电阻与电导池的两端，使示波器分别检测固定电阻与电导池两端的电压；将氧化石墨烯溶液加入电导池中，打开信号发生器与示波器，分别记录固定电阻及电导池两端的电压；利用分压原理，已知固定电阻的阻值、固定电阻及电导池两端的电压，即可计算得到氧化石墨烯溶液的电阻值。与现有技术相比，本发明装置简便，而且费用较低，操作简单，可以准确提供氧化石墨烯溶液的阻抗特性，既避免了电极双电层对实验测定的影响，又不需要花费专业仪器的高昂的价钱，在氧化石墨烯溶液的实验中可以起到十分重要的作用。
一种测试氧化石墨溶液阻抗简易方法

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