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[发明专利]振动元件、振动器件以及振动元件的制造方法-CN202210665167.4在审
发明人： 川内修;小林琢郎 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H03H3/04 文献下载
摘要：本发明提供振动元件、振动器件以及振动元件的制造方法，能够抑制毛刺等异物的形成。振动元件的振动臂具有第一面、在Z方向上与第一面相反的一侧的第二面、作为侧面的第一侧面和第二侧面、以及作为末端面的第三侧面。第一侧面、第二侧面及第三侧面中的至少一方包括相对于Z方向倾斜的第一侧面部以及相对于第一侧面部朝向第一面或第二面倾斜的第二侧面部。第一配重配置为：在从Z方向观察时，第一配重的外缘部处于比第一侧面部和第二侧面部中的最内侧部靠内侧或与最内侧部相同的位置。
振动元件器件以及制造方法

[发明专利]振动器件的制造方法-CN202110125119.1在审
发明人： 川内修;志村匡史;佐佐木奖悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： H03B5/32 文献下载
摘要：本发明提供振动器件的制造方法，使得浮渣不易附着。振动器件的制造方法包含如下工序：准备振动元件，该振动元件具有振动臂和配置在所述振动臂上的施重部；以及对所述施重部照射激光而去除所述施重部的一部分。此外，在所述去除的工序中，通过对所述施重部的一部分照射所述激光，在所述施重部上形成所述施重部的一部分被去除的去除区域和所述施重部未被去除的非去除区域，在所述去除区域内的所述非去除区域侧的区域中，使所述激光的照射量从所述非去除区域侧向所述去除区域侧逐渐增加。
振动器件制造方法

[发明专利]振动器件、振动器件的制造方法、电子设备以及移动体-CN201910788282.9在审
发明人：山崎隆;川内修;蝦名昭彦 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2019-08-26 - 公布日： 2020-03-06 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：提供振动器件、振动器件的制造方法、电子设备以及移动体，该振动器件包含：基座；振动体，其配置于基座；以及盖，该盖包含基板和硅基板，该基板具有透光性，该硅基板与基板以及基座的围绕振动体的部分接合。
振动器件制造方法电子设备以及移动

[发明专利]电子器件及其制造方法、电子设备、移动体以及盖体-CN201410586761.X在审
发明人：青木信也;川内修;松泽寿一郎;三上贤 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2014-10-28 - 公布日： 2015-05-06 - 主分类号： H05K5/06 文献下载
摘要：本发明提供电子器件及其制造方法、电子设备、移动体以及盖体。能够容易地进行腔体内的脱气和密封。在由底座(91)和盖(92)设置而成的内部空间(14)中收纳作为电子部件的陀螺仪元件(2)的电子器件的制造方法中，包含以下工序：准备盖(92)的工序，在盖(92)的与底座(91)焊接一侧的面(92b)上设有槽(94)，对于槽(94)的开口面积，内部空间(14)侧的开口比盖(92)的外周侧的开口小；第1焊接工序，对底座(91)与盖(92)的焊接预定部位中的、除了包含槽(94)的至少一部分的未焊接部位以外的部位处的底座(91)和盖(92)进行焊接；第2焊接工序，对未焊接部位处的底座(91)和盖(92)进行焊接，封闭槽(94)。
电子器件及其制造方法电子设备移动以及

[发明专利]电子器件及其制造方法、电子设备、移动体以及盖体-CN201410588608.0无效
发明人：松泽寿一郎;川内修;青木信也;三上贤 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2014-10-28 - 公布日： 2015-05-06 - 主分类号： H01L23/02 文献下载
摘要：本发明提供电子器件及其制造方法、电子设备、移动体以及盖体，能够容易地进行腔体内的脱气和密封。在由底座(91)和作为盖体的盖(92)设置而成的内部空间(14)中收纳作为电子部件的陀螺仪元件(2)的电子器件的制造方法中，包含以下工序：准备作为盖体的盖(92)的工序，在盖(92)的与底座(91)接合一侧的面即反面(92b)的相反侧的面即正面(92a)上设置有槽(94)；第1焊接工序，在底座(91)与盖(92)的接合预定部位中的除了未焊接部位以外的部位处，对底座(91)和盖(92)进行缝焊，其中，所述未焊接部位包含与槽(94)的至少一部分对应的部位；以及第2焊接工序，在未焊接部位处对底座(91)和盖(92)进行焊接。
电子器件及其制造方法电子设备移动以及

[发明专利]电子装置的制造方法、电子装置、电子设备以及移动体-CN201410037941.2在审
发明人：青木信也;松泽寿一郎;川内修;三上贤 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2014-01-26 - 公布日： 2014-08-06 - 主分类号： H01L23/02 文献下载
摘要：本发明提供一种电子装置的制造方法、电子装置、电子设备以及移动体，其能够较容易地实施空腔内的脱气以及密封。所述电子装置的制造方法为，在基座（91）与盖（92）之间形成收纳陀螺元件（2）的内部空间（14），并且将基座（91）与盖（92）接合在一起，所述电子装置的制造方法包括：接合工序，在盖（92）的与基座（91）接合的一侧的面上设置槽（94），以成为通过槽（94）的内表面不与基座（91）接合从而将内部空间（14）与外部连通的状态的方式、且以槽（94）位于被设置在基座（91）的侧面上的凹部（89）的附近的方式，将盖（92）与基座（91）接合在一起；密封工序，向连通部分的盖（92）照射激光（98）从而对连通部分进行封闭。
电子装置制造方法电子设备以及移动

[发明专利]振动片、电子装置、电子设备以及振动片的制造方法-CN201310206769.4在审
发明人：山口啓一;川内修 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2013-05-29 - 公布日： 2013-12-18 - 主分类号： H03H9/215 文献下载
摘要：本发明的目的在于，能够提供一种振动片、电子装置、电子设备以及振动片的制造方法，其可在制造振动片时，同时进外形蚀刻和槽部的蚀刻，从而简化制造工序，并且提高槽部与外形的相对位置精度。本发明的振动片（44）的特征在于，具有基部、和从基部突出且具有槽部的振动臂（40），并且在所述振动臂（40）上形成有槽部（42），所述槽部（42）被形成为，在所述振动臂（40）的宽度方向上的长度长于在所述振动臂的长度方向上的长度，且沿着所述振动臂（40）的长度方向而排列配置有多个。
振动电子装置电子设备以及制造方法

[发明专利]振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法-CN201110070704.2有效
发明人： 川内修;宫沢茂喜;高山胜己;山口启一 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2005-09-29 - 公布日： 2011-09-28 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明提供一种振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法，该振动型陀螺仪可改变使用质量除去装置可除去的最低除去量，从而能够进行固有共振频率的粗调和微调。本发明的振动型陀螺仪的压电振动片(10)由以下部分构成：从基部(12)向相反方向延伸的连接臂(13、14)；从连接臂(13、14)各自的前端沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的驱动臂(15A、15B、15C、15D)；和从基部(12)沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的检测臂(16A、16B)，在驱动臂(15A、15B、15C、15D)及检测臂(16A、16B)各自的前端部上，形成有由锤层(18、20)和电极膜(17)构成的作为质量调节用的调节部的第一锤部(19)和第二锤部(23)。
振动陀螺仪制造方法

[发明专利]振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法-CN200580033373.8有效
发明人： 川内修;宫沢茂喜;高山胜己;山口启一 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2005-09-29 - 公布日： 2007-09-05 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明提供一种振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法，该振动型陀螺仪可改变使用质量除去装置可除去的最低除去量，从而能够进行固有共振频率的粗调和微调。本发明的振动型陀螺仪的压电振动片(10)由以下部分构成：从基部(12)向相反方向延伸的连接臂(13、14)；从连接臂(13、14)各自的前端沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的驱动臂(15A、15B、15C、15D)；和从基部(12)沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的检测臂(16A、16B)，在驱动臂(15A、15B、15C、15D)及检测臂(16A、16B)各自的前端部上，形成有由锤层(18、20)和电极膜(17)构成的作为质量调节用的调节部的第一锤部(19)和第二锤部(23)。
振动陀螺仪制造方法

[发明专利]陀螺振动片、陀螺传感器及陀螺振动片的制造方法-CN200610066976.4有效
发明人： 川内修 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2006-03-30 - 公布日： 2006-10-04 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明的目的在于，提供一种防止从陀螺振动片的外部施加的、例如跌落等冲击引起的驱动部或者检测部的破坏，提高了耐冲击性的陀螺振动片及其制造方法，以及陀螺传感器。本发明的陀螺振动片(10)形成：构成支撑部(11)的基部(12)及连结臂(13、14)、2个检测臂(16A、16B)、与连结臂(13、14)的前端连接的驱动臂(15A、15B、15C、15D)。在该驱动臂或者检测臂与其他部分连续地连接的连接部(22、22′)的侧面，形成多级形状的连接面。在该连接面上，在多级形状内的连接部的最内侧，具有配备了与驱动臂或者检测臂的表面连续地连接的略呈圆弧状的壁面(R1、R2)和规定深度的底面的第一级部(20、20′)。
陀螺振动传感器制造方法

[发明专利]压电器件-CN200310103057.6有效
发明人：竹内学;高山胜己;川内修;木下裕介 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2003-10-29 - 公布日： 2006-09-20 - 主分类号： H03H9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种压电器件及其制造方法，可以实现管壳底座的通用化。压电器件(1)具有如下结构：通过在绝缘带(22)的表面形成了布线图案(30)的TAB带(20)，将压电振动片(10)安装在管壳底座(42)上。压电器件(1)的制造方法由下述工序构成：第1工序，将压电振动片(10)安装到TAB带(20)上；第2工序，将安装有压电振动片(10)的TAB带(20)安装到管壳底座(42)上。
压电器件

[发明专利]压电振动片及其支撑结构、压电振子及振动型压电陀螺仪-CN200410069009.4有效
发明人：唐木荣二;川内修 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2004-07-12 - 公布日： 2005-02-09 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：一种压电振动片及其支撑结构、压电振子及振动型压电陀螺仪。压电振动片(10)具有：基部(12)；从基部(12)在同一平面内呈放射状延伸的多个驱动用振动臂(16－1～16－4)和检测用振动臂(20－1～20－2)，在所述振动臂之间形成有：从基部(12)延伸的具有弹性的多个第1梁(32－1～32－4)，至少形成在所述梁的前端部的第1支撑部(30－1～30－4)。在所述驱动用振动臂和检测用振动臂形成电极图形，连接半导体装置(80)并被驱动。该压电振动片(10)被收容在由基部部件(82)和盖部件(84)构成的容器内，构成压电振子(200)、振动型压电陀螺仪(90)。从而，可保持稳定的驱动振动和检测振动。
压电振动及其支撑结构陀螺仪

[发明专利]压电振动陀螺元件及其制造方法、压电振动陀螺传感器-CN200410046166.3有效
发明人： 川内修;渡边康治 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2004-06-02 - 公布日： 2005-02-02 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：一种压电振动陀螺元件及其制造方法。在从连接臂(24a、24b)的前端部沿着其延伸方向进一步延伸的延长部(27a、27b)的侧面上，在两侧设置与驱动用振动臂(26a、26b)的延伸方向垂直的方向的平面部(28a、28b)。形成在厚度方向横断延长部的前端面并连接在连接臂前端部和延长部的正反主面之间的布线(42)，使驱动用振动臂的正反主面的第1驱动电极(35、35)构成相互电连接。在进行电极分割的曝光工序中，对延长部的平面部，在垂直方向并且从与驱动用振动臂的主面垂直的方向倾斜某种角度的上方同时对主面和侧面进行曝光。由此，可在确保振动臂的弯曲振动的对称性的基础上，进行简单且正确的电极分割。
压电振动陀螺元件及其制造方法传感器

[发明专利]压电器件与其盖密封方法、盖密封装置、利用压电器件的便携电话装置及利用压电器件的电子设备-CN03122687.6有效
发明人： 川内修;樱井贤治;村田健一郎 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2003-03-24 - 公布日： 2003-10-08 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：就压电器件的封装件盖密封而言，提供一种可迅速且确实进行多个或多数封装件的盖密封的压电器件的盖密封方法。一种盖密封方法，就盖体(39)固定在支持固定压电振荡片一部分的封装件(36)中的压电器件而言，上述盖体密封在上述封装件中，其中，排列多个上述封装件，使其底部一侧面向卤素灯，向上述多个封装件(36)的底部照射卤素灯发出的光束L3，通过其热量来熔化配置在上述封装件与上述盖体间的钎料(33)。
压电器件与其密封方法装置利用便携电话电子设备

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