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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]气体传感器及其制造方法-CN201810211511.6在审
发明人：池桥民雄;山崎宏明 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2018-03-15 - 公布日： 2019-03-26 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本发明的实施方式涉及气体传感器。提供具有足够的性能的气体传感器。实施方式的气体传感器包括基板区域和设置于所述基板区域上的第1电极。气体传感器还包括可动构造，该可动构造设置于所述第1电极的上方，包括通过吸收或者吸附预定的气体而变形的变形部件、用于对所述变形部件进行加热的加热部件以及第2电极。在所述第1电极与所述第2电极之间设置有第1空洞区域。
气体传感器电极变形部件基板区域可动加热部件空洞区域变形的吸附加热吸收制造

[发明专利]静电致动器-CN201210068873.7有效
发明人：益永孝幸;山崎宏明 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2012-03-15 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：提供一种静电致动器，该静电致动器具备基板、电极部、膜体部和施力部。上述电极部设在上述基板上。上述膜体部与上述电极部对置设置，具有导电性。上述施力部具有与上述基板连接的连接部和设在上述连接部与上述膜体部之间的弹性部，支承上述膜体部。上述电极部和上述膜体部能够对应于施加在上述电极部上的电压而成为接触的状态和分离的状态。上述弹性部在连接于上述连接部的一端与连接于上述膜体部的多个其他端之间具有分支部。
静电致动器

[发明专利]静电致动器-CN201010573402.2有效
发明人：益永孝幸;山崎宏明 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2010-11-29 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： H02N1/00 文献下载
摘要：实施方式的静电致动器具备：设置在基板(100)上的电极部(2)；与电极部(2)相对而设置的导电性的膜体部(3)；设置于导电性的膜体部(3)的第1周边部(3a)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；以及设置在与第1周边部(3a)相对的第2周边部(3b)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；构成为通过对电极部(2)设定预定值的电压从而电极部(2)与导电性的膜体部(3)接触或者脱离的实施方式的静电致动器，在第1周边部(3a)以及第2周边部(3b)的各个，在多个加载部(4)的各个之间，其刚性相互不同。
静电致动器

[发明专利]微可动器件及微可动器件的制造方法-CN201010250691.2有效
发明人： 山崎宏明 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2010-08-10 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及微可动器件及微可动器件的制造方法。在抑制信号线与驱动线之间的寄生电容增大的同时，使驱动可动部的驱动电压降低。在信号线(13)上配置驱动电极(16a)，在接地线(14)上配置驱动电极(16b)，将辅助驱动电极(17a)与驱动电极(16a)并列配置，将辅助驱动电极(17b)与驱动电极(16b)并列配置，在驱动电极(16a、16b)及辅助驱动电极(17a、17b)上配置可动电极(19)。
微可动器件制造方法

[发明专利]高频电子元件-CN200910126558.3无效
发明人：日浦滋;山崎宏明;池桥民雄 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2009-03-12 - 公布日： 2009-09-16 - 主分类号： H01P1/12 文献下载
摘要：本发明所要解决的技术问题是提供一种可实现具有高Q值的可变电容部且可减少电路损耗的高频电子元件。其解决方案是作为高频电子元件的高频MEMS(1)具有：硅基板(2)；在硅基板(2)上彼此交叉地形成的高频信号线(5)和接地线(4)；以及电介质膜(8)，其在高频信号线(5)和接地线(4)的梁(8)交叉的部分，形成在高频信号线(5)和接地线(4)的至少一方上，且构成可变电容部(13)，该可变电容部(13)为，高频信号线(5)和接地线(4)能够沿接触分离方向相对移位地被支撑。
高频电子元件

[发明专利]包含用于驱动静电型致动器的电路的半导体集成电路、MEMS及静电型致动器的驱动方法-CN200710105311.4有效
发明人：池桥民雄;山崎宏明 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2007-02-09 - 公布日： 2007-09-26 - 主分类号： H01L27/00 文献下载
摘要：半导体集成电路具有静电型致动器、检测电路、存储电路及偏置电路。上述静电型致动器具有上部电极、下部电极及在上述上部电极和上述下部电极间配置的上述绝缘膜。上述检测电路检测上述静电型致动器的上述绝缘膜中所积蓄的上述电荷量。上述存储电路存储由上述检测电路检测的上述电荷量的检测结果。上述偏置电路根据上述存储电路存储的上述检测结果，使用于驱动上述静电型致动器的驱动电压变化。
包含用于驱动静电型致动器电路半导体集成电路 mems 方法

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