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[实用新型]一种靶材清理装置及磁控溅射系统-CN201822148894.5有效
发明人：董志良 -专利权人： 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种靶材清理装置及磁控溅射系统，应用于磁控溅射的真空腔内，所述真空腔内设有用于传送待镀芯片的传送组件，包括固定板和与所述固定板的第一表面连接的清理组件；所述固定板的第二表面与所述传送组件可拆卸连接。所述靶材清理装置被所述传送组件传送出所述真空腔，所述靶材清理装置进出所述真空腔的过程如待镀芯片的方式一致，因此不会破坏所述真空腔的真空环境，且清理过程同样不会破坏所述真空腔的真空环境，避免了清理所述AZO靶材时对真空腔的真空破坏和真空环境的反复制作，提高了生产效率，降低了成本投入。
真空腔传送组件清理装置真空环境固定板靶材传送芯片磁控溅射系统本实用新型可拆卸连接磁控溅射第二表面第一表面清理组件生产效率真空破坏制作应用

[实用新型]一种清除极板毛刺的装置-CN201822209975.1有效
发明人：李恩荣 -专利权人： 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： B24B9/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种清除极板毛刺的装置，涉及光伏电池生产加工技术领域。包括：支撑机构、柔性打磨组件以及驱动组件；所述支撑机构位于两个相对设置的所述极板之间；所述支撑机构具有相对的两个侧面，所述支撑结构的至少一个侧面设置有所述柔性打磨组件；所述支撑机构与所述驱动组件连接；所述驱动组件驱动所述支撑机构运动，并带动所述柔性打磨组件打磨所述极板的表面。由所述驱动组件驱动的所述支撑机构运动自动实现打磨所述极板，节约人力，提升打磨效率。通过设置的所述柔性打磨组件进行打磨，降低打磨过程中的机械损伤。
支撑机构打磨打磨组件驱动组件极板毛刺光伏电池生产加工技术领域本实用新型侧面设置机械损伤相对设置支撑结构自动实现驱动侧面节约

[实用新型]一种静电除尘装置及磁控溅射系统-CN201822167453.X有效
发明人：郭汉镇 -专利权人： 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种静电除尘装置及磁控溅射系统,所述静电除尘装置设于磁控溅射的真空腔内，包括静电板、连接件、正电压载体和负电压载体；所述静电板为绝缘板；所述连接件的两端分别与所述真空腔的内壁和所述静电板连接；所述正电压载体和所述负电压载体分别贯穿所述绝缘板；所述正电压载体和所述负电压载体平行。所述静电板的不同位置能够带不同电压，对于芯片上带正电荷或负电荷的灰尘颗粒会被相应的异性电压吸引，因此灰尘颗粒会被吸附于所述静电板上，避免了所述芯片上灰尘颗粒的存在和影响，提高了芯片的脱模质量，避免了高密度的维护，提高了生产效率，降低了成本投入。
静电板灰尘颗粒负电压正电压静电除尘装置芯片绝缘板连接件真空腔磁控溅射系统本实用新型磁控溅射生产效率负电荷正电荷内壁上带脱模吸附异性平行贯穿吸引维护

[实用新型]一种激光扫边检测器及激光扫边机-CN201822210001.5有效
发明人：李玉峰 -专利权人： 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： G01B17/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及激光设备领域，具体而言，涉及一种激光扫边检测器及激光扫边机，声音接收装置，所述声音接收装置用于接收激光扫边发出的声音，所述声音接收装置根据声音大小产生电压；数据采集装置，所述数据采集装置电性连接所述声音接收装置，并能根据所述声音接收装置产生的不同电压向外发送不同的电信号；信号处理装置，所述信号处理装置电性连接所述数据采集装置，并根据所述数据采集装置发送的电信号生成相对应的数据信息；检测预警装置，所述检测预警装置电性连接所述信号处理装置，并通过图像或声音形式展现所述数据信息，其能够对太阳能薄膜芯片进行激光扫边时的尺寸及效果进行检测和预警。
声音接收装置数据采集装置信号处理装置电性连接激光检测器检测预警装置激光扫边机数据信息发送本实用新型电信号生成太阳能薄膜激光设备声音形式芯片预警图像检测

[实用新型]一种磨边测量装置-CN201821596127.4有效
发明人：杨栋 -专利权人： 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种磨边测量装置，涉及测量工具技术领域。包括：承载台、定位组件以及测量元件，所述定位组件设置于所述承载台的上表面，用于对玻璃进行定位，所述测量元件滑动设置于所述承载台的上表面，且与所述承载台的上表面垂直。使用时，将磨边后的玻璃放置在承载台上表面上，定位组件对玻璃进行定位及固定，使其放置在指定位置上。滑动测量元件，使测量元件与玻璃的磨边的边缘抵接。此时，即可从测量元件上读出玻璃的厚度和磨边的拱高的顶点的高度。根据这两个值，即可得出玻璃的磨边效果。同时，由于测量元件能够在承载台上滑动，故而，本实用新型提供的磨边测量装置能够对多种尺寸的玻璃进行测量。
磨边测量玻璃承载台测量装置定位组件上表面本实用新型滑动承载工具技术领域玻璃放置滑动设置抵接拱高读出垂直

[发明专利]一种自定位自动压紧进电组件装置及其安装方法-CN201510418751.X有效
发明人：智海龙 -专利权人： 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2015-07-17 - 公布日： 2017-09-26 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明涉及一种自定位自动压紧进电组件装置及其安装方法。本一种自定位自动压紧进电组件装置，包括进电组件保护机构，其包括套设并固定于进电组件上的可在进电组件作业过程中对进电组件起到杜绝应力集中进而360度保护的喇叭口卡槽；其包括锥形六角紧固电极头、锥形电极母头、安装于电极杆上的屏蔽管和套设于屏蔽管上的可使进电组件自动定位同时方便查看锥形六角紧固电极头状况的定位喇叭口锁座，锥形电极母头由锥面自动定位连接锥形六角紧固电极头；自动压紧进电组件机构，其为在PECVD工序中工件架进入沉积炉移动到位的同时使进电组件自动压紧、工艺结束出炉时工件架离开沉积炉限位的同时使进电组件自动松开的杠杆自动压紧机构。
一种定位自动压紧组件装置及其安装方法

[发明专利]多片沉积PECVD非晶硅薄膜反应盒的电极板及非晶硅薄膜沉积方法-CN201510164849.7有效
发明人：田啟隆;甄永泰;刘佳 -专利权人： 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2015-04-09 - 公布日： 2017-08-08 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：一种多片沉积PECVD非晶硅薄膜反应盒的电极板，电极板体用于承载PECVD基片的侧表面外形轮廓不大于PECVD基片的外形轮廓，电极板体前后两端分别通过活动连接装置安装有边缘端盖。由于PECVD基片将电极板体侧表面覆盖住，因此镀膜工艺中会将膜层镀到两侧的两个边缘端盖上，而电极板体不会附着镀膜层。当镀膜工艺完成后，将边缘端盖从电极板体上拆卸，然后将边缘端盖上的膜层进行清洗，清洗完毕后再安装到原电极板体上。因此可以减少硅粉在反应盒电极板和镀膜芯片的附着，有效增加反应盒的使用次数，降低清洗清洁的劳动强度，提高反应盒的利用率，并提高镀膜质量。
沉积 pecvd 非晶硅薄膜反应极板方法

[实用新型]一种自定位自动压紧进电组件装置-CN201520517264.4有效
发明人：智海龙 -专利权人： 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2015-07-17 - 公布日： 2016-01-20 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种自定位自动压紧进电组件装置。本一种自定位自动压紧进电组件装置，包括：进电组件保护机构，其包括套设并固定于进电组件上的可在进电组件作业过程中对进电组件起到杜绝应力集中进而360度保护的喇叭口卡槽；其包括锥形六角紧固电极头、锥形电极母头、安装于电极杆上的屏蔽管和套设于屏蔽管上的可使进电组件自动定位同时方便查看锥形六角紧固电极头状况的定位喇叭口锁座，锥形电极母头由锥面自动定位连接锥形六角紧固电极头；自动压紧进电组件机构，其为在PECVD工序中工件架进入沉积炉移动到位的同时使进电组件自动压紧、工艺结束出炉时工件架离开沉积炉限位的同时使进电组件自动松开的杠杆自动压紧机构。
一种定位自动压紧组件装置

[实用新型]一种空调系统-CN201520680793.6有效
发明人：张文星 -专利权人： 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2015-09-06 - 公布日： 2016-01-06 - 主分类号： F24F1/00 文献下载
摘要：一种空调系统，包括排风机，其特征在于所述排风机通过三通连接件分别通过阀门I和阀门II与检修管道和送风管道连接，所述送风管道与排风管道连接，所述送风管道与排风管道连接处设有风力发电装置，所述排风管道与换热装置相连接，所述换热装置顶部通过阀门III与新风进口连通，所述换热装置中部设有排风口，所述换热装置底部与新风出口连接。本实用新型为可以将排风能量加以回收利用，并用排风中的余冷余热来预处理新风，并且可以进行发电的空调系统。
一种空调系统

[实用新型]一种清洁丁基胶供胶系统油杯的工具-CN201520658173.2有效
发明人：莫鹏;李孙波;檀玉珩 -专利权人： 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2015-08-28 - 公布日： 2015-12-30 - 主分类号： B05C11/10 文献下载
摘要：一种清洁丁基胶供胶系统油杯的工具，包括中间设有联动轴的油杯，还包括：主气缸，其位于油杯一侧，油杯底部开有出胶孔；下压装置，其与主气缸连接为一整体结构，且位于油杯上方，用于将油杯内残胶压出；以及，与主气缸为插接式加螺丝固定连接的副气缸，其位于油杯另一侧。下压装置包括连接主气缸和副气缸活塞杆上端的上支架，上支架中间连接竖直的连杆，连杆底部设有压盘，压盘中间开有圆孔，圆孔的孔径与联动轴的孔径相匹配。压盘由两个半圆组成，且两个半圆压盘不在同一平面上。本实用新型，结构简单、设计科学，在丁基胶油杯加油及更换胶桶时，使油杯清理更节省维护人员及时间，使用方便且清理较彻底，对于减员增效及设备维护有一定的推广价值。
一种清洁丁基胶供胶系统工具

[实用新型]一种安全限位装置-CN201520658699.0有效
发明人：狄甲通;刘伟;徐森 -专利权人： 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2015-08-28 - 公布日： 2015-12-30 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种安全限位装置，包括：圆柱套筒，其内部开设有半阶梯状孔、上端设有法兰，半阶梯状孔使圆柱套筒内部呈半阶梯状，且前后面各一个凸出、分别为上限位置和下限位置；插销，其插入圆柱套筒的半阶梯状孔内、且底部设有用来限位插销在圆柱套筒的上限位置和下限位置的左限位凸块和右限位凸块；以及，弹簧，其一端固定在插销上、另一端固定在圆柱套筒的法兰上；圆柱套筒、插销和弹簧为一整体结构。本实用新型，通过圆柱套筒、插销和弹簧组合一体相互配合完成限位，可以将移动工件架安全可靠地限位在推车上，有效保障工作人员的安全和产品的质量。有效防止套筒脱落，对长期使用可移动结构限位具有较好的实际应用价值和推广价值。
一种安全限位装置

[实用新型]一种太阳能电池清洁装置-CN201520517078.0有效
发明人：杨兆迎 -专利权人： 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2015-07-17 - 公布日： 2015-12-30 - 主分类号： H02S40/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种太阳能电池清洁装置。本一种太阳能电池清洁装置，包括安装在太阳能电池组件上下两侧、且与太阳能电池组件表面平行的导轨，所述导轨端部安装有可在其上移动的清洁装置，所述清洁装置包括：毛刷辊、防尘罩、除尘装置、驱动装置、连接轴、行走装置和控制箱，所述毛刷辊一端通过连接轴连接驱动装置，另一端通过连接轴连接除尘装置，所述防尘罩两端穿过连接轴、顶部和侧部覆盖毛刷辊，行走装置安装于防尘罩底部两端、且由驱动装置驱动；所述控制箱用于控制驱动装置的开启与关闭。
一种太阳能电池清洁装置

[实用新型]电子气体切换装置-CN201520701916.X有效
发明人：张伯红 -专利权人： 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2015-09-11 - 公布日： 2015-12-30 - 主分类号： F17C13/00 文献下载
摘要：一种电子气体切换装置，包括阀箱，所述阀箱内设有转换接头，所述转换接头的上端两侧分别设有立式钢瓶连接管和卧式钢瓶连接管，所述立式钢瓶连接管和卧式钢瓶连接管分别连接立式钢瓶接口和卧式钢瓶接口，所述立式钢瓶连接管和卧式钢瓶连接管之间通过三通连接件与主管道连接，所述主管道的一侧设有供应管道，所述供应管道与供应管道接口连接，所述主管道下端为氮气吹扫管道，所述氮气吹扫管道与氮气吹扫接口连接。本实用新型操作简单，可自由切换气瓶的电子气体切换装置，在更换时由于氮气吹扫管道的结构，可以使用少量的氮气对所有的管道进行彻底的清洁。
电子气体切换装置

[实用新型]一种快捷更换电极杆电极块防止屏蔽管镀膜异常的装置-CN201520658171.3有效
发明人：智海龙;狄甲通;杨建;李恩荣;徐森 -专利权人： 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2015-08-28 - 公布日： 2015-12-23 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：一种快捷更换电极杆电极块防止屏蔽管镀膜异常的装置，包括电极杆、屏蔽管、通过内六角螺栓Ⅰ连接固定屏蔽管的支撑铝块、正极板和电极块，还包括：屏蔽管绝缘套，其套设于工件架屏蔽管上、且紧贴后端支撑铝块；四氟块，其安装于屏蔽管和屏蔽管绝缘套尾端；密封插口式电极块绝缘盒体，其上开口通过过盈配合安装于正极板上，且其一侧带有四氟块密封插槽，安装于四氟块上；以及，密封插口式电极块绝缘盒盖，其通过插口、插槽安装于密封插口式电极块绝缘盒体上；正极板上设有正极板凹槽，电极块为通孔式电极块，该通孔式电极块通过过盈配合安装、并通过内六角螺柱固定于正极板凹槽内；电极杆尾端通过内六角螺栓Ⅱ固定于通孔式电极块底部。
一种快捷更换电极防止屏蔽镀膜异常装置

[实用新型]一种基于压块自动压合方式的接地铜排结构-CN201520658701.4有效
发明人：杨凯 -专利权人： 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2015-08-28 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：一种基于压块自动压合方式的接地铜排结构，包括腔室端接地铜排结构和工件架端接地铜排结构；腔室端接地铜排结构包括第一固定块、紧固螺栓、推杆弹簧、弹簧套、推杆、腔室端接地铜块、腔室端接地铜排、第二固定块和固定螺栓，紧固螺栓安装于第一固定块上，推杆弹簧一端顶在推杆上、另一端压在第一固定块的端部，弹簧套套于推杆弹簧外部，腔室端接地铜块固定在推杆和腔室端接地铜排一端上，腔室端接地铜排另一端通过第二固定块和固定螺栓进行固定；工件架端接地铜排结构包括工件架端接地铜排和工件架端接地铜块，工件架端接地铜块固定在工件架上、且与腔室端接地铜块在一条水平线上。本实用新型，使接地铜排连接工作方便快捷，降低劳动强度。
一种基于自动方式接地结构

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