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[发明专利]制造装置及制造方法-CN200410031930.X有效
发明人：田中秀治;小林义武;藤村尚志 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2004-03-31 - 公布日： 2004-10-13 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：一种制造装置及制造方法，具有：将可以储存多个制造对象物的收装容器作为一个单位而将所述收装容器在工序(100)、(200)、(300)间输送的工序间输送装置(500)、将所述制造对象物从所述收装容器中取出并以1个所述制造对象物作为一个单位而将所述制造对象物在各所述工序(100)、(200)、(300)内输送的工序内输送装置(400)、和在所述工序(100)、(200)、(300)内分别实施所述多项处理的多个处理装置(600a～6001)，所述多个处理装置(600a～6001)不是将对所述制造对象物进行应实施的同种处理的多个处理装置集中配置，而是基本沿着所述制造对象物的输送方向，按照对所述制造对象物应实施的处理顺序配置。由此，可以对制造对象物实施高效的处理。
制造装置方法

[发明专利]制造对象物的搬送装置和制造对象物的搬送方法-CN200410031824.1有效
发明人：田中秀治;小林义武;藤村尚志;青木康次 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2004-03-30 - 公布日： 2004-10-06 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：一种制造对象物的搬送装置和制造对象物的搬送方法。该搬送装置为将容纳有在多个工序间搬送的多个制造对象物的载体(15)放入相应的工序中后，向单片搬送传送带(18)转移载体(15)内的多个制造对象物的制造对象物的搬送装置(16)，其中单片搬送传送带为通过单片搬送向配置在工序内的制造对象物的制造装置搬送制造对象物(W)的装置，其特征在于，具有制造对象物移送装置(100)，该装置配置在工序内，用于在将容纳有在工序间搬送的多个制造对象物的载体(15)放入相应的工序中后，进行制造对象物的移送。由此，提供一种能够将容纳于载体中的制造对象物，按照工序移送、向相应的制造装置搬送的制造对象物的搬送装置和制造对象物的搬送方法。
制造对象装置方法

[发明专利]制造对象物的制造装置及制造对象物的制造方法-CN200410007850.0有效
发明人：福原圭司;青木康次;小林义武;藤村尚志 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2004-03-03 - 公布日： 2004-09-22 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种制造对象物的制造装置及制造对象物的制造方法。制造对象物的制造装置(10)用于搬送制造对象物、并由多个处理装置对制造对象物进行处理，设置有向处理装置(23)、(123)搬送制造对象物的多个搬送装置(20)、(120)，配置在多个搬送装置(20)、(120)之间、对由各装置(20)、(120)搬送的制造对象物进行共同处理的共同处理装置(200)，以及配置在多个搬送装置(20)、(120)之间、在共同处理装置(200)与各搬送装置(20)、(120)之间交接制造对象物的制造对象物交接部(100)、(103)。由此能够节省半导体晶片等制造对象物的制造时间，实现制造对象物的制造装置的小型化。
制造对象装置方法

[发明专利]移载装置、搬送装置及移载方法-CN200410007853.4有效
发明人：藤村尚志;田中秀治;小林义武;青木康次 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2004-03-03 - 公布日： 2004-09-22 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种移载装置、搬送装置以及移载方法。移载装置(1)设置在具有支承搬送对象物(Wf)的支承机构(51)，沿着对搬送对象物(Wf)进行处理的处理装置(23)、(24)、(26)、(27)设置、规定支承机构(51)移动方向的导向机构(53)，和沿着导向机构(53)移动支承机构(51)的移动机构(55)的多个搬送装置(20)、(120)之间，具有使一方的搬送装置(20)的移动机构(55)与另一方的搬送装置(120)的移动机构(55)同步的同步控制机构(41)，和从一方的搬送装置(20)的支承机构(51)接受搬送对象物(Wf)、向另一方的搬送装置(120)的支承机构(51)移交的至少一个交接机构(21)。由此能够容易地增设搬送装置。
装置方法

[发明专利]制造对象物交接装置和具有该装置的搬送系统-CN200410007399.2无效
发明人：藤村尚志;田中秀治;小林义武 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2004-03-02 - 公布日： 2004-09-22 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种制造对象物交接装置和具有该装置的搬送系统。制造对象物交接装置(13)用于在单片搬送制造对象物(W)的单片搬送线(20)与制造制造对象物(W)的制造装置之间交接制造对象物(W)，具有在单片搬送线(20)与制造装置之间移载制造对象物(W)的移载机械手、以及暂时保管移载机械手(21)从单片搬送线(20)搬送过来的制造对象物(W)或制造装置处理过的制造对象物(W)的缓冲器。由此可以在单片搬送晶片类制造对象物的搬送线与制造该制造对象物的制造装置之间，迅速、可靠地交接制造对象物。
制造对象交接装置具有系统

[发明专利]能量评价支援系统及能量评价支援方法-CN200410028369.X无效
发明人：宫下武;小林义武;竹内淳一 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2004-03-09 - 公布日： 2004-09-22 - 主分类号： G06F17/60 文献下载
摘要：本发明提供一种能有效准确地计算生产工序中每个规定处理单元电力消耗量的能量评价支援系统。该能量评价支援系统(1)的构成，包括：输入部分(20)，以输入含有表示用户指定生产条件的生产条件指定的工厂设计要求；存储部分(40)，以存储表示生产装置有关数据的生产装置数据库(41)、和表示动力供给装置有关数据的动力供给装置数据库(42)；输出部分(30)，以根据用户对工厂的设计要求，按照生产装置数据库(41)和动力供给装置数据库(42)，运算每个装置和每种动力类别的能量消耗量的处理部分(10)、和以规定形式，向用户提示由处理部分(10)运算能量消耗量。
能量评价支援系统方法

[发明专利]单片搬送装置和单片搬送方法-CN200410007803.6无效
发明人：藤村尚志;田中秀治;小林义武;青木康次 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2004-03-02 - 公布日： 2004-09-22 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种单片搬送装置和单片搬送方法，在搬送制造对象物的单片搬送装置(20)中，具有传送带(40)和多个台架(41)；该传送带(40)用于向搬送方向搬送制造对象物；该多个台架(41)在传送带(40)上沿着利用传送带(40)搬送制造对象物的搬送方向排列，可以在与利用传送带(40)搬送制造对象物的搬送方向交叉的方向的位置，分别装载至少一片制造对象物。由此可以增大传送带上的晶片等制造对象物的搬送量，提高制造对象物的单片搬送效率。
单片装置方法