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- [发明专利]含氟聚合物-CN202180083298.5在审
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滩野亮;宫泽觉;兼子让
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中央硝子株式会社
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2021-12-02
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2023-10-03
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C08F220/24
- 本发明提供一种用于成膜用溶液的含氟聚合物，其能够形成在浸渍于显影液时不易产生残渣的膜。本发明的含氟聚合物的特征在于包含下述式(1)所示的重复单元和下述式(2)所示的重复单元，以下述式(1)所示的重复单元为基准的质量百万分率表示，上述式(2)所示的重复单元的含量为1500ppm以下。在式(1)和式(2)中，R1、R2各自独立地为氢原子、甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基或叔丁基，R3、R4各自独立地为氢原子、甲基或乙基，R5为氢原子或三氟甲基，R6为氢原子、氯原子、甲基或三氟甲基。#imgabs0#
- 聚合物
- [发明专利]含氟聚合物的制造方法以及组合物-CN202180083395.4在审
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滩野亮;宫泽觉;兼子让
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中央硝子株式会社
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2021-12-02
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2023-08-18
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C07C69/653
- 本发明提供一种每批次的重均分子量的偏差少的含氟聚合物的制造方法。本发明的含氟聚合物的制造方法的特征在于，为制造包含下述式(1)所示的重复单元和下述式(2)所示的重复单元的含氟聚合物的方法，包括：含氟单体合成工序，使下述式(3)所示的二醇与选自不饱和羧酸、上述不饱和羧酸的酯、上述不饱和羧酸的酰卤和上述不饱和羧酸的酸酐中的至少一种反应，得到包含作为主反应物的下述式(4)所示的含氟单体和作为副反应物的下述式(5)所示的含氟单体的组合物；含氟单体纯化工序，从上述组合物中除去上述式(5)所示的含氟单体，以上述式(4)所示的含氟单体为基准的质量百万分率表示，使上述式(5)所示的含氟单体的含量为1500ppm以下；聚合工序，使用上述含氟单体纯化工序后的上述组合物进行聚合反应，制成包含下述式(1)所示的重复单元和下述式(2)所示的重复单元的含氟聚合物。在式(1)、式(2)、式(3)、式(4)和式(5)中，R1、R2各自独立地为氢原子、甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基或叔丁基，R3、R4各自独立地为氢原子、甲基或乙基，R5为氢原子或三氟甲基，R6为氢原子、氯原子、甲基或三氟甲基。
- 聚合物制造方法以及组合
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