专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于pin位置检测的装置和方法-CN202311014351.3有效
  • 吴云涛;陈建民;姜小光;宋建功 - 上海图双精密装备有限公司
  • 2023-08-14 - 2023-10-27 - H01L21/67
  • 本发明公开了一种用于pin位置检测的装置,包括:底板,该底板中设置有与第一气体传感器相连的第一气道;位于该底板上的基板,该基板中设置有与第二气体传感器相连的第二气道以及与第三气体传感器相连的第三气道;位于该基板上的吸盘,该吸盘用于吸附硅片;安装有pin的运动组件,该运动组件被设置在该吸盘和该基板内部的腔室中并且能够携该pin在该腔室中进行上下运动;以及密封件,该密封件安装在该运动组件与该基板之间,以使得在该运动组件上下运动过程中该腔室的位于该密封件上方的上腔室与位于该密封件下方的下腔室不连通。本发明还公开了对应的pin位置检测方法。
  • 用于pin位置检测装置方法
  • [发明专利]被动调平平台及方法-CN202311027052.3在审
  • 陈建民;吴云涛;姜小光;宋建功 - 上海图双精密装备有限公司
  • 2023-08-16 - 2023-09-15 - H01L21/687
  • 本发明公开了一种被动调平平台,包括:垂向电机;位于该垂向电机上方的定子组件,该定子组件包括定子底板、设置在该定子底板上的三个重力补偿气缸和三个锁定气缸;位于该定子组件上方的动子组件,该动子组件包括与该定子底板相连的三个导向销、带有支撑结构的晶圆固定部件、以及每个导向销与该支撑结构之间的调平连接件,其中该定子组件的锁定气缸用于锁定该动子组件的导向销,并且其中该调平连接件包括一个第一连接件和两个第二连接件,该第一连接件用于俯仰调平,该第二连接件用于俯仰和水平平移调平。
  • 被动平平方法

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