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[发明专利]基板载置台、基板处理装置以及基板处理方法-CN202310202362.8在审
发明人：深泽润一;边见笃;大上胜行 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本公开提供一种抑制基板处理在与升降销相对应的位置处变得不均匀的基板载置台、基板处理装置以及基板处理方法。一种基板载置台，其具有载置基板的载置面，其中，该基板载置台具备：基材，其位于所述载置面的下方，由导体构成；升降销，其由导体构成，相对于所述载置面升降；以及销孔，其具有在所述载置面开口的开口部，该销孔形成于所述基材的内部，供所述升降销突出没入，所述升降销包括能够与所述基板接触的上部和与所述上部的下侧连接的下部，在所述上部具有空腔部。
基板载置台处理装置以及方法

[发明专利]基板载置台、基板处理装置以及基板处理方法-CN202310202363.2在审
发明人：深泽润一;边见笃;大上胜行 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本公开提供抑制基板处理在与升降销对应的位置变得不均匀的基板载置台、基板处理装置以及基板处理方法。一种基板载置台，其具有载置基板的载置面，其具备：基材；升降销，其由导体构成，相对于载置面升降，在上部与下部之间具有台阶，上部的直径比下部的直径大；销孔，其在载置面开口，形成于基材的内部，供升降销突出没入；以及保持件，其包括供升降销贯穿的贯通孔，该保持件设置于基材，由导体构成，保持件具备外侧保持件和内侧保持件，贯通孔以能够使升降销上下运动的方式形成于内侧保持件的中心轴线上，贯通孔的直径比升降销的上部的直径小，内侧保持件借助在内侧保持件与外侧保持件之间配置的弹性构件而以能够滑动的方式支承于外侧保持件。
基板载置台处理装置以及方法

[发明专利]基片载置台、基片处理装置和基片载置台的制造方法-CN202310174413.0在审
发明人：深泽润一;边见笃;大上胜行;山科井作 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供基片载置台、基片处理装置和基片载置台的制造方法，该基片载置台具有用于吸附基片的吸附电极，并且使在形成有气体供给孔的基片载台的表面形成的电场均匀化。在利用静电吸附力保持基片的基片载置台中，电介质层层叠在基座的上部侧，其上表面成为上述基片的载置面，使静电吸附力产生的吸附电极埋设在该电介质层中。用于向基片供给气体的气体供给孔贯通基座、吸附电极和电介质层并在载置面开口，形成于上述吸附电极的贯通孔以经由隔离部隔离地包围上述气体供给孔的方式设置，由导体构成的屏蔽层与上述吸附电极电隔离地配置，以俯视时覆盖上述隔离部的至少一部分且包围上述气体供给孔的方式形成。
基片载置台处理装置制造方法

[发明专利]燕尾槽加工方法以及基板处理装置-CN202010441138.0在审
发明人：增泽健二;大上胜行 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-05-22 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供对于以下情况有利的燕尾槽加工方法以及基板处理装置：在基板处理装置中，当使用切削工具加工收纳密封构件的燕尾槽时，抑制反应生成物在供切削工具插入的导入孔堆积。在利用设于形成基板处理装置的第一构件和第二构件之间的密封面的密封构件将基板处理装置的内部的处理区域和外部的外部区域之间屏蔽的密封面收纳密封构件的燕尾槽的加工方法具有以下工序：在密封面加工导入孔；将切削工具插入导入孔，该切削工具具备下方的顶端向外侧伸出的锥形状的切削刃，一边使切削工具向第一方向移动直到切削刃与导入孔的开口中的靠处理区域侧的端部抵接一边进行切削；使切削工具向与第一方向交叉的第二方向移动，沿密封面的长度方向加工燕尾槽。
燕尾加工方法以及处理装置

[发明专利]输送用支架和输送方法-CN201710136997.7有效
发明人： 大上胜行;酒井伸一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-03-09 - 公布日： 2019-07-30 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本发明提供一种容易地输送腔室的输送用支架和输送方法。一种输送用支架(10)，其用于输送能够上下分割的腔室，其具备：中央框架(20)，其沿着第1方向延伸；两个侧方框架(30)，其在中央框架(20)的第1方向上的两端沿着与第1方向交叉的第2方向延伸；多个安装板(24)，其用于将腔室固定于中央框架(20)。腔室被分割成包括腔室的顶面(710)的上部零部件(71)和包括腔室的底面(720)的下部零部件(72)。多个安装板(24)分别将上部零部件(71)和下部零部件(72)中的至少任一者以顶面(710)或底面(720)成为沿着中央框架(20)的侧面的朝向的方式固定于两个侧方框架(30)之间的中央框架(20)的侧面。
输送支架方法