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- [发明专利]TFT测试仪和测试方法-CN200510099978.9无效
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井村健一;中野大树;坂口佳民
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国际商业机器公司
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2005-09-12
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2006-05-17
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G01R31/00
- 本发明的目的是使用对TFT没有负面影响(污染、损坏等)的非接触电流源对具有断开且暴露的源极或漏极电极的TFT的电特性进行测试。根据本发明，提供一种用于TFT阵列衬底(14)的测试仪(100)，包括：用于供给离子流到衬底(14)的表面上的离子流供给装置(16、18)，所述衬底(14)的表面上形成TFTs的阵列(12)，每个TFT连接到一个电极上，源极和漏极之一是断开且暴露的；用于供给工作电压到阵列中被测试的TFT栅电极的控制电路(24)；和用于测量通过测试的未断开的TFT源极或漏极的工作电流的测量电路(24)。
- tft测试仪测试方法
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