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- [发明专利]过滤除尘器及过滤除尘系统-CN202210667677.5在审
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吴广博;张静;尚谷;吴旗;刘兆
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江西乾照光电有限公司
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2022-06-14
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2022-08-09
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B01D46/56
- 本申请公开了一种过滤除尘器及过滤除尘系统,在该过滤除尘器的过滤容腔内进气口和出气口的下方设置第一过滤网,使得进入过滤容腔的气体中的杂质在重力作用下到达第一过滤网进行过滤,同时在过滤容腔内进气口和出气口的上方设置吹扫装置,利用吹扫装置从过滤容腔顶部喷洒气体,增加进入过滤容腔的气体中的杂质向第一过滤网的下沉量,并且,通过设置第一过滤网的直径,使得排放气体中金、银或铝等贵金属透过第一过滤网收集到第一回收部件中,并使得排放气体中可回收利用砂被第一过滤网过滤后收集到第二回收部件中,即可在对半导体制造过程中产生的排放气体进行过滤的同时,将贵金属和可回收利用砂分别回收,从而减少成本,提高生产效率。
- 过滤除尘器除尘系统
- [实用新型]一种过滤装置-CN202220619361.4有效
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张静;吴广博;赖约汉;周瑜;刘兆
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江西乾照光电有限公司
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2022-03-21
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2022-07-12
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B01D36/00
- 本申请公开了一种过滤装置,该过滤装置采用互为并行备用的至少两个过滤水箱对生产工艺机台产生的废液进行过滤,使得正在工作的过滤水箱需要清理或维修时,可以由其他过滤水箱继续进行工作,从而对废液中颗粒杂质以及油污的过滤是持续性地,不停歇地,并且,每个过滤水箱中设置两级过滤单元,第一级过滤单元过滤废液中的颗粒杂质,第二级过滤单元中依次交替间隔排布的第一挡板和第二挡板形成高低起伏的流道,使得废液中油水分离,过滤废液中的浮油,即设置两级过滤单元对废液中的颗粒杂质和油污充分过滤,从而大大减小因管道堵塞造成生产工艺机台停产的概率,提高生产工艺机台的产能。
- 一种过滤装置
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