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[发明专利]基于分布式并行计算的FDC溯因分析方法及存储介质-CN202310893076.0有效
发明人：龚雁鹏;谢箭;王涛 -专利权人： 合肥喆塔科技有限公司
申请日： 2023-07-20 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G06Q10/0639 文献下载
摘要：本发明的一种基于分布式并行计算的FDC溯因分析方法及存储介质，方法包括获取失效器件的各种信息；获取半导体晶圆生产制造过程中的FDC数据及配置文件；对FDC数据集进行预处理，获取算法计算结构的数据；做溯因分析，找出影响因子；基于溯因分析结果进行汇总，取出各分组的前N个影响因子；基于测试结果与已知的失效模式进行比对，以确定可能的失效原因；根据反馈的多个可能的失效原因，进行进一步的测试和诊断操作，以验证和确定失效的根本原因；根据失效的根本原因，采取相应的措施。本发明通过对数据进行特征提取、异常检测和模式识别，能够快速准确地识别潜在的故障源和不良产品产生的原因。
基于分布式并行计算 fdc 分析方法存储介质

[发明专利]曲线模式分段的半导体制造无监督异常检测方法及设备-CN202310885077.0有效
发明人：谢箭;郑捷;陈祥一;赵文政;刘林平 -专利权人： 合肥喆塔科技有限公司
申请日： 2023-07-19 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G06F18/213 文献下载
摘要：本发明的一种曲线模式分段的半导体制造无监督异常检测方法及设备，包括以下步骤，首先采用信号处理技术对传感器曲线进行模式分割，之后针对不同的曲线模式提取不同的统计特征；最后构建基于密度的局部异常因子检测的无监督机器学习分类模型，实现精准的异常检测。本发明认为不同的曲线模式需要提取的特征是不同的，首先采用信号处理技术对传感器曲线进行模式分割，这一步的目的是依据曲线模式自动划分管控窗口，解决了人工参与过多和窗口划分不合理的问题。之后针对不同的曲线模式提取不同的统计特征，进行快速、高效的特征提取。最后构建基于密度的局部异常因子检测的无监督机器学习分类模型，实现精准的异常检测。
曲线模式分段半导体制造监督异常检测方法设备

[发明专利]参数自适应的半导体工件生产调度方法、设备及存储介质-CN202310831069.8有效
发明人：谢箭;陶煜;赵文政;刘林平 -专利权人： 合肥喆塔科技有限公司
申请日： 2023-07-07 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G06Q10/0631 文献下载
摘要：本发明的一种参数自适应的半导体工件生产调度方法、设备及存储介质，通过在调度规则中综合考虑时间管控区间重叠问题和下游机台在制品堆积水平，即先进行工件调度优先级计算，然后通过基于决策树和聚类的权重参数搜索算法，直接搜索较优的权重参数设置并建立生产属性子集到权重参数的回归模型，最后根据生产环境自适应调整权重参数。本方法充分考虑了工件的时间约束对调度优先级计算的影响，降低了由于违反时间约束导致的返工和报废；同时减少了权重参数的搜索空间，提高了在特定生产环境下的关键性能指标；选择合适的生产属性子集建立到权重参数的回归模型，提升了调度规则在各种生产环境下的适用性。
参数自适应半导体工件生产调度方法设备存储介质

[发明专利]去趋势的设备参数管控方法、系统、设备及存储介质-CN202310896324.7在审
发明人：陈祥一;郑捷;谢箭 -专利权人： 合肥喆塔科技有限公司
申请日： 2023-07-21 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G06F11/30 文献下载
摘要：本发明的一种去趋势的设备参数管控方法、系统、设备及存储介质，包括以下步骤，S1：获取原始工艺数据，并进行数据预处理；S2：基于步骤S1处理后的数据确定数据拟合目标和方法，并计算拟合结果；S3：基于步骤S2得到拟合误差，并计算新的管控阈值；S4：基于步骤S3找到并分析超出管控阈值的异常值；S5：基于步骤S4输出分析结论，并发出警报给工程师。本发明能自动快速地发现异常，并做出分析和报警，方便工程师监控以及后续问题排查；本发明使报警更加准确和及时；本发明计算得到新的管控阈值，区别于传统的阈值管控方法，不需要频繁变换阈值范围，且可以作为后续监控的参考，在一定程度上避免了重复计算工作。
趋势设备参数方法系统存储介质

[发明专利]基于阈值管控的腔室匹配分析方法、系统、设备及介质-CN202310647282.3有效
发明人：陈祥一;赵文政;刘林平;谢箭 -专利权人： 合肥喆塔科技有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的一种基于阈值管控的腔室匹配分析方法、系统、设备及介质，包括以下步骤，S1：获取原始工艺检测数据，确定基准数据集；S2：通过基准数据集，计算管控阈值；S3：将比较数据集和管控阈值曲线进行数据对齐操作；S4：计算比较数据集中每个检测参数的通过率，并从小到大排序；S5：分析通过率较低的参数，并计算其差异性；S6：输出分析结论，并发出警报给工程师。本发明的基于阈值管控的腔室匹配分析方法，可以快速准确地找到不匹配腔室，并给出结论和警报，从而帮助半导体工程师快速定位问题，缩小分析范围，最终达到提高晶圆良率的目的。
基于阈值匹配分析方法系统设备介质

[发明专利]一种基于图像处理的芯片缺陷量测方法及系统-CN202310066835.6在审
发明人：谢箭;赵文政;刘林平 -专利权人： 合肥喆塔科技有限公司
申请日： 2023-01-12 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于图像处理的芯片缺陷量测方法及系统，包括如下步骤：S1：获取晶圆缺陷图；S2：对所述晶圆缺陷图进行二值化处理，分离出缺陷目标作为前景，其余为背景；S3：对二值化处理后的晶圆缺陷图进行仿射变换矫正，得到晶圆正圆图；S4：将晶圆正圆图的边缘部分标记为背景，对步骤S2和步骤S4中的背景像素赋值为0，保留的前景像素赋值为1；S5：对所述像素赋值后的前景进行连通域标记，对标记后的每个类别缺陷进行参数测量，得到晶圆缺陷图的缺陷位置；S6：将所述晶圆缺陷图的缺陷位置对应的像素映射到实际的芯片区域，标记实际芯片的缺陷位置；该芯片缺陷检测方法对芯片受到缺陷的影响进行了精确标记，大大减少了残次品出货的机率。
一种基于图像处理芯片缺陷方法系统

[发明专利]基于晶圆缺陷知识库的构建及检索方法、设备及介质-CN202310684277.X在审
发明人：刘东昀;赵文政;刘林平;谢箭 -专利权人： 合肥喆塔科技有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： G06N5/02 文献下载
摘要：本发明的一种基于晶圆缺陷知识库的构建及检索方法、设备及介质，包括获取晶圆电性测试结果；设置失效及有效区，并对图片进行标注；将处理过后的数据训练图像识别神经网络，使用得到的神经网络模型提取处理后数据的特征，得到训练图像数据的向量表示；将所有训练数据特征向量存入全量数据库；使用聚类算法，获取具有代表性的样本，存入知识库；使用上述神经网络模型提取待检测数据的特征，得到待检测图像数据的向量表示，计算当前待检测数据的特征向量与知识库内样本特征向量的相似度。本发明通过晶圆图的特征向量筛选出每一类当中具有典型特征的样本，相较于直接在全量数据检索，本发明所提出的流程大大减少了检索的复杂度，提高了检索效率。
基于缺陷知识库构建检索方法设备介质

[发明专利]一种基于混合数据的数据服务方法-CN202211592995.6有效
发明人：冯小锋;赵文政;刘林平 -专利权人： 合肥喆塔科技有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G06F21/45 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于混合数据的数据服务方法，包括以下步骤：S1：创建元数据Catalog；S2：设置多数据源选择匹配的向导模式以及基于SQL进行多数据源查询的SQL模式；S3：基于不同的Catalog名称，下沉到不同的数据源Scan数据；将正确的数据scan到系统内存中；S4：Scan数据在内存中进行融合处理；对不同的数据源数据根据填入的函数、计算规则进行融合处理为期望的正确结果；S5：将融合后的正确结果返回给调用者。本发明通过整合多种不同系统、不同类型的数据源，实现跨域、跨集群的数据融合，减少IT部门的重复开发，有效的进行权限控制，保护数据资产的安全。本发明降低了工厂的IT开发成本，提高需求响应效率，从而提升了整体利润。
一种基于混合数据服务方法

[发明专利]元数据处理方法、装置、设备及存储介质-CN202310140610.0在审
发明人：冯小锋;赵文政;刘林平 -专利权人： 合肥喆塔科技有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： G06F16/27 文献下载
摘要：本发明涉及元数据领域，公开了一种元数据处理方法、装置、设备及存储介质。本发明通过数据同步的方式获取目标业务数据源；获取预设规划内容，通过所述预设规划内容对所述目标业务数据源进行数据规划并获取规划结果；根据所述规划结果采取可视化方式完成模型创建以生成可沉淀模型模板；通过所述可沉淀模型模板对所述目标业务数据源进行数据管理以输出元数据管理结果；基于目标应用进行各层数据全链路追踪、标签管理以达到数据溯源分析的技术效果。
数据处理方法装置设备存储介质

[发明专利]一种基于序列模式挖掘的生产路径分析方法及系统-CN202211592999.4有效
发明人：陈祥一;赵文政;刘林平;谢箭 -专利权人： 合肥喆塔科技有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G06Q10/04 文献下载
摘要：发明公开了一种基于序列模式挖掘的生产路径分析方法及系统，包括如下步骤：S1：获取原始工艺路径，找出关键步骤集；S2：遍历关键步骤集找寻满足最小支持度的频繁项集合，计算频繁项集合不为空时，频繁项集合中不同路径的晶圆良率；S3：对不同路径的晶圆良率进行优等路径的最低良率阈值ku的单样本T检验，输出优等路径集；S4：对优等路径集进行合并，得到最佳路径集；S5：计算最佳路径集的准确率和良率，输出最佳路径集的评价指标；该生产路径分析方法可以在众多生产路线中快速准确地找到良率最优的生产路线，从而优化工艺路线，达到提高晶圆良率的目的。
一种基于序列模式挖掘生产路径分析方法系统

[发明专利]基于大数据和工业互联网的产品管理方法及相关装置-CN202211265389.3有效
发明人：赵文政;刘林平 -专利权人： 合肥喆塔科技有限公司
申请日： 2022-10-17 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G06Q10/08 文献下载
摘要：本申请公开了一种基于大数据和工业互联网的产品管理方法及相关装置，包括：获取物流仓库信息并在所述物流仓库信息中获取其中每一仓库对应的产品出货数据和位置信息表；根据产品出货数据生成每一仓库的出货需求画像，通过预设条件结合所述出货需求画像生成第二物流仓库集合，在所述第二物流仓库集合中根据所述出货需求画像和位置信息表生成产品配送需求表。通过生成出货需求画像获取每个仓库的产品出货倾向，并结合每一仓库的位置信息来生成产品配送需求表，进一步实现了利用大数据和互联网智能对产品配送进行管理的效果。
基于数据工业互联网产品管理方法相关装置

[发明专利]基于Wafer品质属性提供自动登记输出的计算方法及装置-CN202210814115.9在审
发明人：张维纶;赵文政;刘林平;兰盼飞 -专利权人： 合肥喆塔科技有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G06Q10/06 文献下载
摘要：本发明公开了基于Wafer品质属性提供自动登记输出的计算方法及装置，具体涉及半导体制造技术领域，通过对工厂生产制造相关数据进行采集、计算，根据工厂品质要求，对Wafer进行自动等级判断，并可以对低等级的Wafer进行报警，且可以根据Wafer等级进行自动dispatch，将Wafer根据计算出来的品质等级自动dispatch至该等级对应的产品，提升整个工厂的生产品质控制效率。在整个过程中，除了Wafer各品质等级需要定义外，其他计算无需人员参与，且与生产实时绑定，保证了Wafer品质等级管控的准确性、实时性,提高了出货效率。
基于 wafer 品质属性提供自动登记输出计算方法装置

[发明专利]数据建模与数据加工一体化装置-CN202210609987.1在审
发明人：王小云;赵文政;刘林平 -专利权人： 合肥喆塔科技有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： G06F16/28 文献下载
摘要：本发明涉及数据仓技术领域，公开了数据建模与数据加工一体化装置，包括以下步骤：S1、大数据数仓基本规划；S2、业务领域相关模型创建与管理；S3、数据模型之间加工关系设定；S4、数据模型物理化；S5、数据加工任务生成；S6、数据加工任务管理，对加工任务的执行同期，任务上线、下线、执行情况进行管理。本发明数据模型创建适用于传统与大数据环境，逻辑模型物理化过程由程序自动化完成，并且数据建模过程通过可视化的方式进行，普通业务人员也能轻松操作，同时根据数据建模过程中的模型关系配置，系统自动生成数据加工任务，极大缩短了数据分析的流程，整个过程配置，降低了用户编程能力要求，数据模型创建与数据加工同步完成。
数据建模加工一体化装置

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