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[实用新型]一种角度可调节的LDI镜头系统-CN202122569006.9有效
发明人：陈修涛;高明;董辉;韩非 -专利权人： 合肥众群光电科技有限公司
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种角度可调节的LDI镜头系统，包括反光镜单元、设置在反光镜单元上方的DMD单元，所述DMD单元和或反光镜单元上对应位置上设置有超过固定件直径的安装孔，所述DMD单元和反光镜单元侧面设置有侧板，所述侧板固定在反光镜单元外壳的侧面上，所述侧板与DMD单元之间设置有长度可调的顶升组件，所述顶升组件至少包括两个顶升部，沿着DMD单元中安装板的宽度方向设置。本申请通过增加顶升组件中的顶升部来调节DMD单元的角度的方案，从而更好的实现DMD单元角度调节。
一种角度调节 ldi 镜头系统

[发明专利]一种使用DMD动态曝光提高3D打印精度的装置及方法-CN202010886150.2有效
发明人：陈修涛 -专利权人： 合肥众群光电科技有限公司
申请日： 2020-08-28 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B29C64/268 文献下载
摘要：一种使用DMD动态曝光提高3D打印精度的方法，S1、组装系统；S2、调整龙门架上的DMD角度；S3、DMD控制及数据处理系统将保存在系统内部的待打印3D模型最底层数据切割填充，然后发送给DMD，DMD将得到的最底层对应的数据转移到工作台的感光材料上并固化；S4、增大工作台和DMD的距离为第一单元距离D1，并水平移动工作台和或DMD偏差第二单元距离D2；DMD控制及数据处理系统控制保存在系统内部的待打印的数据模型在高度方向上向上移动第一单元距离D1,将这一高度的数据切割填充，发送给DMD，DMD将得到数据转移到工作台的感光材料上并固化；S5、循环步骤S4，直到整个3D打印件曝光完成。该发明通过将打印件移动到不同行的DMD镜片上，可以产生更高精度的打印效果。
一种使用 dmd 动态曝光提高打印精度装置方法

[发明专利]一种DMD基于PWM调制的光学调制方法-CN202010886130.5有效
发明人：陈修涛 -专利权人： 合肥众群光电科技有限公司
申请日： 2020-08-28 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G01J1/42 文献下载
摘要：一种DMD基于PWM调制的光学调制方法，包括以下步骤：S1、激光器发出的光束经过处理后变成平行光，平行光照射到DMD上，经过DMD反射，成像焦面上设置CCD，测量焦面的能量分布；S2、将CCD每个像素点的灰度值处理后获得每个像素点的PWM调制值；S3、将PWM调制值保存在DMD控制器内，且调制DMD的帧频到设定范围内；将每个DMD镜片对应的PWM调制值对应的从高位到低位提取，控制对应的镜片打开次数；S4、依次将靶板仪每个光电传感器放置到DMD焦面，光电传感器的采样电路用设定频率读取采样值，读取设定次数取平均值；S5、得到靶板仪每个传感器的标定系数。该发明的优点在于：标定靶板仪的速度快、精度高。
一种 dmd 基于 pwm 调制光学方法

[发明专利]一种基于STM32的多功能FLASH离线烧录系统-CN202211547723.4在审
发明人：董辉;陈修涛;韩非;高明 -专利权人： 合肥众群光电科技有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G06F8/61 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于STM32的多功能FLASH离线烧录系统，涉及FLASH读写技术领域；包括PC烧录软件、STM32微处理器以及多种型号的FLASH芯片座；所述PC烧录软件通过网络或USB与STM32微处理器根据特定协议建立通讯连接，STM32微处理器通过FLASH总线通讯协议与特定型号的FLASH芯片座连接，用户只需在PC烧录软件上选择对应型号FLASH芯片的烧录文件及其需要执行的操作后，即可完成一片或多片FLASH芯片的擦除、烧写及回读校验操作；从而完成固件程序的固化及校验，解决了产品量产过程中人工烧录FLASH速度慢、效率低的问题，降低了对生产人员的专业和培训需求。
一种基于 stm32 多功能 flash 离线系统

[发明专利]一种数字直接成像设备曝光图形位置精度补偿方法-CN202211440300.2在审
发明人：韩非;高明;陈修涛;董辉 -专利权人： 合肥众群光电科技有限公司
申请日： 2022-11-17 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种数字直接成像设备曝光图形位置精度补偿方法，涉及数字成像技术领域，解决了现有技术处理之后，曝光图形位置精度各个区域不一致的技术问题；本发明不需要借助复杂的工具，曝光基板是激光直接成像设备常用的生成材料，标定条件及过程非常简单；本发明的数字直接成像设备的对位相机本身是一个经过校准的坐标系，可以识别所曝光图形中的标记图形精确位置，曝光图形的各个位置都可以使用不同的补偿参数进行补偿；本发明补偿成本低，通过对CAM图形进行数字补偿方式，不需要额外的成本提升优化硬件系统；而且补偿自由灵活，CAM图形进行数字补偿的方式，可以根据具体需求对每个细分的区域灵活使用相似变换、仿射变换及透视变换等。
一种数字直接成像设备曝光图形位置精度补偿方法

[发明专利]一种LDI曝光中实现图形裁边或者扩展的方法-CN201911372327.0有效
发明人：陈修涛 -专利权人： 合肥众群光电科技有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： G06T5/00 文献下载
摘要：本发明涉及无掩模曝光领域，尤其涉及一种LDI曝光中实现图形裁边或者扩展的方法，该方法包括以下步骤：S1、设置多边形中每一个边缘裁边或扩展的像素数N，并区分裁边还是扩展；S2、将待处理的图像数据填充为点阵图，将点阵图发送到处理模块；S3、根据点阵图信息，获得每行每列的数据值；裁边是采用对应行列平移相与获得对应位置的像素点值，扩展是采用对应行列平移后相或来获得对应位置的像素点值，本发明将原始的多边形填充为点阵图，从而解决了图形公共边的问题。利用相邻两个点相与或者或操作，从而实现多边形向内部缩减一个像素或者向外部扩展一个像素的目的，为了实现多个像素的缩减或者扩展，只要将结果多次运算即可。
一种 ldi 曝光实现图形或者扩展方法

[发明专利]一种高精度的3D测量系统-CN202211517257.5在审
发明人：陈修涛;高明;韩非;董辉 -专利权人： 合肥众群光电科技有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精度的3D测量系统，涉及3D测量技术领域，解决了现有的3D测量方式主结构相对复杂，成本高，而且结构光形变的计算复杂，很难实现的技术问题；控制器控制MEMS微镜振动，获取并存储X和Y两个方向的角度值；控制器控制激光器发射一路激光并存储MEMS微镜的X轴和Y轴的位置，记录发射时间和接收时间；在记录激光的发射时间和接收时间时，使用多高精度时间计数并联和人为增加传输线延时；数据处理模块利用计算公式获取高度数据，并获取三维坐标；构建模块根据三维坐标构建被探测物体的表面轮廓；本发明使用多个高精度时间技术器实现更高的时间分辨率，提高了时间测量的精度，满足实际工业检测的应用需求。
一种高精度测量系统

[发明专利]一种用于绿油光刻的激光直写光刻系统及方法-CN202110304859.1有效
发明人：陈修涛 -专利权人： 合肥众群光电科技有限公司
申请日： 2021-03-16 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种用于绿油光刻的激光直写光刻系统及方法，系统包括光纤阵列激光器，由每根光纤与对应的激光二极管LD耦合后形成，所述光纤若干排；激光器控制板，与光纤阵列激光器中的每个激光二极管LD连接；光学处理及相机单元，用于缩小或放大光纤阵列激光器发出的光斑和确定待光刻的PCB板的位置；驱动单元，用于驱动光学处理单元及相机单元中的各部件在相应的轴上来回移动；平台控制器，与所述的驱动单元的受控端连接；计算机，分别与激光器控制板、平台控制器、光学处理单元及相机单元实现双向通信。本发明使用光纤阵列激光器，可以通过多种波长的激光二极管LD，并无限增加激光二极管LD数量解决高能量的问题。
一种用于油光激光光刻系统方法

[发明专利]一种激光控制器线性控制的方法-CN202211073225.0在审
发明人：韩非;董辉;陈修涛;高明;刘宸 -专利权人： 合肥众群光电科技有限公司
申请日： 2022-09-02 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光控制器线性控制的方法，属于激光控制技术领域，将激光器的全部通道开启，获取激光器的有效输入范围，根据获得的有效输入范围测量激光器在有效输入范围内的数据输出，将输入数据和输出数据整合记录为数据表T1；在激光器一组或多组通道开启的前提下，测量激光器在有效输入范围内的数据输出，输出数据范围与数据表T1以及最终期望控制的线性输出区间有交集，记录输入输出数据表T2以及对应的通道信息Ch；将数据表T1和数据表T2导入到激光器控制器中，并在驱动内部根据导入的数据表T1以及数据表T2分别通过线性拟合计算激光器控制的线性参数L1及L2。
一种激光控制器线性控制方法

[发明专利]一种基于激光直写技术的无墨打印方法-CN202210666235.9在审
发明人：陈修涛;高明;韩非;董辉 -专利权人： 合肥众群光电科技有限公司
申请日： 2022-06-13 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： B41J2/47 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于激光直写技术的无墨打印方法，涉及打印印刷领域，该无墨打印方法具体包括以下步骤：确定输出能量、将被打印材料放置在焦面上、用透光平板平压在被打印材料表面、将需打印文本处理为点阵图、读取点阵图数据和确定打印位置、进行逐行扫描打印直至完成打印；通过高能量激光将被打印物体表面碳化，或者对于物体组成不含碳元素的物质直接将表面进行物理破坏，实现物体表面的成像的目标。因此，整个打印过程不会产生任何附加成本，且无污染；并且对被打印的物体没有特殊处理的要求，节省成本。
一种基于激光技术打印方法

[发明专利]一种LDI平台误差补偿方法-CN202010886098.0有效
发明人：陈修涛 -专利权人： 合肥众群光电科技有限公司
申请日： 2020-08-28 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种LDI平台误差补偿方法，包括以下步骤：S1、将标定板固定在吸盘上；S2、LDI运动驱动组件使相机成像组件中的面阵相机通过对应的导轨在X轴上来回运动，使吸盘通过对应的导轨在与X轴水平垂直的Y轴上且位于面阵相机下方来回运动，在此过程中，相机成像组件扫描标定板，抓取所有标定点；S3、多次移动标定板，重复步骤S2；S3、相机成像组件中的面阵相机将标定的坐标数据传输到主控组件中进行计算，获得误差项；S4、通过步骤S3获得的补偿参数计算出综合误差，然后将综合误差转化为主控组件可接受的形式写入主控组件中，完成补偿。该发明将LDI运动平台的误差分解为不同的误差项,可对平台的误差进行补偿。
一种 ldi 平台误差补偿方法

[发明专利]一种基于PSD对光纤阵列激光器进行标定的方法-CN202210366282.1在审
发明人：陈修涛;韩非;董辉 -专利权人： 合肥众群光电科技有限公司
申请日： 2022-04-08 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于PSD对光纤阵列激光器进行标定的方法，包括底座平台和计算机，包括：光纤阵列激光器，所述光纤阵列激光器是由光纤与对应的激光二极管LD耦合后形成的；所述光纤阵列激光器及其镜头设置在底座平台上；吸盘，所述吸盘用于吸附待光刻的PCB板；PSD传感器，PSD传感器是用于测量光斑位置的传感器，PSD传感器安装在吸盘上，PSD传感器的数据通过串口连接到计算机上。本发明中，首先，对不同参数使用不同的测试方式，提高整体测量的精准度，同时PSD四路信号的强度对应光斑的能量，并且PSD传感器输出是模拟信号，不受光斑尺寸限制，测量精度非常高，其次，一定程度的节约使用成本且能保证测量的精准度，减少了衰减损耗，优化了测量系统的结构。
一种基于 psd 光纤阵列激光器进行标定方法

[发明专利]一种用于不同干膜快速曝光的方法-CN202111263665.8在审
发明人：陈修涛;董辉;高明;韩非 -专利权人： 合肥众群光电科技有限公司
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种用于不同干膜快速曝光的方法，包括以下步骤：S1、确定干膜的型号、激光器、光学镜头、DMD的相关参数；S2、计算干膜光刻面处的能量密度α；S3、计算在光刻过程中，干膜获得的能量J和在最大频帧和给定行数下干膜的最小能量Jmin；S4、根据干膜需要的能量JA＝Jmin，计算对应型号的干膜实际行数，并且获得在最大帧频情况下的DMD最小显示行数，在最小显示行数时，计算激光器实际使用的激光功率对应的干膜所需能量，根据速度调整使干膜所需能量满足J＝JA。本申请使得不同能量大小的干膜情况下，都能够使得系统发挥最大的性能。
一种用于不同快速曝光方法

[发明专利]一种激光直接成像设备内层靶标标定方法-CN202111251774.8在审
发明人：韩非;高明;陈修涛;董辉 -专利权人： 合肥众群光电科技有限公司
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种激光直接成像设备内层靶标标定方法，包括以下步骤：S1、选择基板放置于吸盘上，所述基板正面和基板反面均有通过机器视觉识别的标记，其位置作为基板标记位置；S2、通过激光直接成像设备将带有可识别标记图形的CAM资料曝光在基板上，并在曝光过程中点亮所有吸盘上的内层靶标光源，在基板背面打上内层靶标标记图形；S3、通过测量系统依次抓取显影在基板上的CAM标记图形位置以及基板标记位置；S4、将基板垂直或水平翻面后，使用测量系统依次抓取显影在翻转后基板上的内层靶标标记图形位置以及基板标记位置；S5、根据各个步骤的标记或靶标测量坐标值，通过坐标线性变换，计算出内层靶标在成像坐标系的精确位置信息。本发明可提高标定的精度。
一种激光直接成像设备内层靶标标定方法

[发明专利]一种基于平台位置信号的拼接调试装置及方法-CN202010887677.7在审
发明人：陈修涛 -专利权人： 合肥众群光电科技有限公司
申请日： 2020-08-28 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种基于平台位置信号的拼接调试装置及方法，装置包括底座、平台控制器、误差控制器POS、计算机，底座上设置有在水平面上两垂直方向上相对运动的门框架和平台，平台上设置有固定待测部件的吸盘，门框架上阵列设置有多个DMD控制器、设置在门框架侧面上用于定位的CCD，平台上还设置有底部相机且可与CCD相对设置；计算机与平台控制器连接控制平台和门框架相对移动，并且计算机获得平台和门框架的位置信号，计算机与误差控制器POS连接获得各DMD位置信号和DMD触发翻图的间距，误差控制器POS与DMD对应连接控制DMD在对应位置翻图。本装置通过确定光栅尺各段新分辨率，重新确定平台的位置，使平台的定位更精确，从而降低场内偏差。
一种基于平台位置信号拼接调试装置方法

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