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[发明专利]一种应用于声表面波滤波器晶圆级防漏液封装方法-CN202011505140.6有效
发明人：金中;杜雪松;司美菊;罗旋升;谢晓;谢东峰 -专利权人：中电科技集团重庆声光电有限公司
申请日： 2020-12-18 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于声表面波滤波器晶圆级防漏液封装方法，步骤为，1）在晶圆工作表面粘贴一层底膜；2）通过光刻工艺去掉不需要的底膜，光刻后形成需要的通孔、切割道、腔体及墙结构；3）在墙结构上再粘贴一层顶膜；4）通过光刻工艺将与通孔对应的顶膜去除，留下腔体上方和切割道上方的顶膜；5）通过电镀在通孔内形成导通结构；6）将步骤5）得到的的镀层中不需要部分腐蚀掉；7）在通孔上方形成锡球；8）沿预留的切割道切割，得到多个独立的器件；9）通过倒装焊工艺将器件焊接在PCB板上；10）利用封料将器件封装在PCB板上，从而得到声表面波滤波器模组。本方法可以保证电镀时不发生漏液及电镀铜残留问题。
一种应用于表面波滤波器晶圆级防漏封装方法

[发明专利]屏幕测试方法、屏幕测试系统的控制装置及可读存储介质-CN202211047528.5在审
发明人： 司美菊;韩辉;张兴鑫;徐博;金玲;李震;付欣竹 -专利权人：歌尔科技有限公司
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种屏幕测试方法、屏幕测试系统的控制装置及可读存储介质，其中，所述方法包括：控制第一屏幕显示第一色卡和第二色卡；获取所述高感探头在所述第一屏幕显示所述第一色卡时，采集到的亮度值，其中，所述亮度值包括第一屏幕不同位置处的亮度值；获取所述高感探头在所述第一屏幕显示所述第二色卡时，采集到的色度值；根据所述亮度值确定所述第一屏幕的亮度均匀性，以及根据所述色度值确定所述第一屏幕的色度均匀性。旨在提高屏幕均匀性测试效率。
屏幕测试方法系统控制装置可读存储介质

[发明专利]一种VR屏幕的检测方法及检测系统-CN202110190854.0在审
发明人：胡锐;王浩;司美菊;姚威;徐博;金玲;张兴鑫;姜滨;迟小羽 -专利权人：歌尔光学科技有限公司
申请日： 2021-02-20 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种VR屏幕的检测方法及检测系统，主要是将相机检测和人眼检测相结合，相机检测时，先获取待检屏幕的检测图像，再判断检测图像是否有缺陷，若是待检屏幕合格；若否则在检测图像中标出缺陷点，形成与待检屏幕相对应的检测图卡；接着在屏幕上显示检测图卡，利用人眼判断检测图卡的缺陷点是否为缺陷，若是缺陷点为缺陷，待检屏幕不合格，若否则待检屏幕合格。可见，本发明既利用相机提高了检测效率，又利用人眼检测保证了检测精度。
一种 vr 屏幕检测方法系统

[实用新型]一种应用于声表面波滤波器晶圆级封装的耐模压加强结构-CN202022826867.6有效
发明人：金中;谢晓;司美菊;谢东峰;罗璇升 -专利权人：中国电子科技集团公司第二十六研究所
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种应用于声表面波滤波器晶圆级封装的耐模压加强结构，包括晶片，在晶片工作表面粘贴有PI膜，PI膜的镂空部位形成腔体和通孔，PI膜的其余部位构成墙结构；通孔内填充有金属以形成电极通道，在腔体开口上封盖有封板，封板周围搭在墙结构上，封板将腔体开口完全封闭；晶片通过设置在电极通道端部的焊球倒装焊接在基板上；在封板上设有承压增强板；承压增强板周围至少有部分搭在墙结构上以由墙结构支撑；封装料在封闭晶片的同时将承压增强板和封板一起封闭。所述承压增强板由金属构成，承压增强板与电极通道隔离设置。本结构可以提高器件耐模压能力，避免器件封装时受损。
一种应用于表面波滤波器晶圆级封装模压加强结构

[发明专利]一种压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜及其制备方法-CN201710339899.3有效
发明人：欧黎;徐阳;江洪敏;司美菊;姜华男;张永川;马晋毅;龙飞;杜波;蒋欣;金成飞;田本朗 -专利权人：中国电子科技集团公司第二十六研究所
申请日： 2017-05-15 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： H01L41/047 文献下载
摘要：本发明提供一种压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜及其制备方法，该压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜包括底电极以及位于底电极上的压电薄膜，底电极采用WSi材料制成，压电薄膜采用AlN材料制成。本发明通过采用WSi材料制成底电极，设置于AlN压电薄膜下，可以提高压电薄膜的c轴取向，降低应力，满足压电薄膜换能器用复合薄膜材料的要求，由此本发明提供的复合薄膜材料结构单元(即WSiAlN薄膜)可以作为压电薄膜换能器中新型的薄膜材料结构单元使用。
一种压电薄膜器用 wsialn 及其制备方法

[发明专利]一种三维纳米结构声表面波气敏传感器-CN201410121759.5无效
发明人：王露;杨靖;马晋毅;杜波;江洪敏;司美菊;王登攀;祖小涛;李志杰;唐永亮 -专利权人：中国电子科技集团公司第二十六研究所
申请日： 2014-03-28 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： G01N5/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种三维纳米结构声表面波气敏传感器，包括压电基底，置于该压电基底表面且相互平行的输入叉指电极IDT1和输出叉指电极IDT2以及敏感区，敏感区位于输入叉指电极IDT1和输出叉指电极IDT2之间，敏感区上具有三维纳米结构敏感膜，三维纳米结构敏感膜包括生长在敏感区上的改性三维纳米线或纳米管及涂覆在敏感区表面的敏感膜，改性三维纳米线或纳米管是在外表面附着有敏感膜的三维纳米线或纳米管。该气敏传感器集成度高、小体积、重量轻成本低，适用范围广，可在室温下工作，对低浓度气体检测时灵敏度高，更重要的是可以对多种气体进行快速、可靠的检测。
一种三维纳米结构表面波传感器

[发明专利]一种栅极电介质材料及其制备方法-CN201110345065.6有效
发明人：侯育冬;司美菊;朱满康;葛海燕;严辉 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2011-11-04 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： C04B35/44 文献下载
摘要：一种栅极电介质材料及其制备方法，属于电子陶瓷材料技术领域。本发明公开了一种高介电、低损耗、新型栅极电介质材料，(1-x)LaAlO3-x BiAlO3，其中BiAlO3的固溶量是5-20％摩尔比；本发明还公布了一种高介电、低损耗、新型栅极电介质材料的制备方法，包括按(1-x)LaAlO3-x BiAlO3的固溶量进行配料、混料、一次球磨、煅烧、二次球磨、排塑、烧结、被覆电极。利用本发明提供的方法获得的陶瓷材料，具有高于LaAlO3陶瓷材料的介电常数、低于LaAlO3陶瓷材料的介电损耗和烧结温度，所以本发明所提供的陶瓷材料可作为集成电路中新型栅极电介质材料使用。
一种栅极电介质材料及其制备方法