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- [发明专利]图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法-CN200680033839.9有效
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南一守;佐藤守正
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富士胶片株式会社
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2006-08-25
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2008-09-10
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G03F7/004
- 本发明的目的在于提供一种表面故障少、可以防止显色剂引起的光灰雾、未曝光膜的破裂少、析像度高、遮盖膜强度高而且图案形成后的剥离性良好、可以形成更高精细的图案的图案形成材料以及具备该图案形成材料的图案形成装置及使用所述图案形成材料的图案形成方法。为此,提供一种图案形成材料,其中,感光层内含粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂、杂缩环系化合物、阻聚剂、显色剂以及有机溶剂,粘合剂的酸值为50~400mgKOH/g,而且质均分子量为10,000~100,000,聚合性化合物内含具有尿烷基的化合物以及具有芳基的化合物的至少任意一种,有机溶剂为从酮类、醇类以及醚类中选择的至少一种,而且含量为0.5质量%以下。
- 图案形成材料以及装置方法
- [发明专利]图案形成材料、以及图案形成装置和图案形成方法-CN200710129075.X无效
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南一守;池田贵美;高岛正伸
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富士胶片株式会社
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2007-07-11
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2008-01-16
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G03F7/033
- 本发明的目的在于,通过组合规定的聚合性化合物进而在一定范围内调节感光层的感度,提供感度和析像度高、且遮盖膜强度强、密合性出色、防止未曝光膜破裂的效果出色的图案形成材料、以及图案形成装置、以及图案形成方法。本发明的图案形成材料,具有支撑体并且在该支撑体上至少具有感光层而成,该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物、和光聚合引发剂,所述聚合性化合物含有具有双酚骨架的聚合性化合物(a-1)、和分子具有4个以上的反应性基团且分子量为700以上的聚合性化合物(a-2)而成,使所述感光层的曝光的部分的厚度在该曝光和显影后不发生变化的所述曝光中所使用的光的最小能量为0.1~50mJ/cm2。本发明使用了该图案形成材料的图案形成方法也具有所述特征。
- 图案形成材料以及装置方法
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