专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种精密力位输出装置-CN202311141745.5在审
  • 华国杰;高长刚;杨光 - 北京华卓精科科技股份有限公司
  • 2023-09-06 - 2023-10-13 - H01L21/67
  • 本发明提供一种精密力位输出装置,涉及精密装备制造的技术领域。该装置,包括粗动单元、阻尼单元以及微动单元;粗动单元包括粗动电机和传动滑台,传动滑台与粗动电机传动连接;阻尼单元包括第一连接件、第二连接件以及弹性连接组件,第一连接件与传动滑台固定连接;第二连接件与输出轴固定连接;弹性连接组件设置于第一连接件和第二连接件之间,且弹性连接组件的刚度可调;微动单元包括微动电机,微动电机的运动精度高于粗动电机的运动精度;微动电机固定安装于第二连接件,且微动电机的动子固定连接于输出轴。该装置,能够兼具较大的加压和移动范围、较高的输出精度,能够满足半导体封装等领域的应用需求,适用于芯片倒装键合等工艺。
  • 一种精密输出装置
  • [发明专利]上下对准视觉装置的标定方法、标定系统及装置-CN202311141778.X在审
  • 华国杰;盛越;杨光 - 北京华卓精科科技股份有限公司
  • 2023-09-06 - 2023-10-13 - G01B11/00
  • 本发明提供一种上下对准视觉装置的标定方法、标定系统及装置,涉及半导体领域。该标定方法包括:将待标定视觉装置置于上标定点和下标定点之间,转动转动座N次,以使转动座到达不同位置;获取待标定视觉装置的上下对准结果以及转动座位于各个位置时的转动角度;根据待标定视觉装置的待标定误差、第一误差、第二误差、测量过程的测量噪声、N组上下对准结果和N组转动角度建立误差方程组;求解误差方程组,得到待标定误差的数值;根据求得的待标定误差的数值对待标定视觉装置的上下对准结果进行补偿,以得到标定后的视觉装置的上下对准结果。该标定方法能够精确标定视觉装置的上下对准误差,从而确保视觉装置对芯片和基板上下对准的精确度。
  • 上下对准视觉装置标定方法系统
  • [发明专利]上下对准视觉装置的标定方法及标定装置-CN202311141760.X在审
  • 华国杰;盛越;杨光 - 北京华卓精科科技股份有限公司
  • 2023-09-06 - 2023-10-13 - G01B11/00
  • 本发明提供一种上下对准视觉装置的标定方法及标定装置,涉及半导体技术领域。该标定方法包括:将待标定视觉装置置于标定装置的上标定点和下标定点之间,转动设有上标定点和下标定点的转动座N次以使转动座到达N个转动位置;测量转动座位于N个转动位置时上标定点的坐标和下标定点的坐标;获取上标定点转动形成上轨迹圆的圆心坐标和下标定点转动形成下轨迹圆的圆心坐标,将两个圆心坐标的上下位置偏差作为待标定视觉装置的待标定误差;根据获取的待标定误差对待标定视觉装置的上下对准结果进行补偿,以得到标定后的视觉装置的上下对准结果。该标定方法能够精确标定视觉装置的上下对准误差,从而确保视觉装置对芯片和基板上下对准的精确度。
  • 上下对准视觉装置标定方法
  • [发明专利]一种压合装置及压合方法-CN202311141791.5在审
  • 华国杰;高长刚;杨光 - 北京华卓精科科技股份有限公司
  • 2023-09-06 - 2023-10-13 - H01L21/67
  • 本发明提供一种压合装置及压合方法,涉及半导体封装设备的技术领域。该压合装置,包括安装座、升降组件、吸附组件和输出轴;升降组件安装于安装座,与输出轴传动连接,用于驱动输出轴沿其轴向运动;输出轴沿其轴向设置有贯穿孔;吸附组件设置于输出轴的端部,且吸附组件与贯穿孔对应的部分为激光透射材料,激光能够依次穿过贯穿孔和激光透射材料以对吸附于吸附组件的芯片加热。使用该压合装置,能够以激光作为加热源,且在键合过程中,能够通过升降组件驱动输出轴,从而对吸附组件吸附的芯片施加设定的压力,或使芯片与基板之间维持设定的距离,所以,该压合装置,能够实现芯片与基板的高精度键合。
  • 一种装置方法
  • [发明专利]永磁同步直线电机位移测量方法、装置、计算机和介质-CN202310307986.6在审
  • 胡金春;朱煜;文庭瑞;华国杰;徐登峰;张鸣;王磊杰 - 清华大学
  • 2023-03-24 - 2023-08-01 - G01B7/02
  • 本发明提供一种永磁同步直线电机位移测量方法、装置、计算机和介质,该方法包括在永磁同步直线电机的动子在位移过程中,获取多个磁传感器检测到的永磁同步直线电机的定子产生的磁场强度为第一磁场强度,获取位移传感器测量到的永磁同步直线电机的动子的位移距离为第一位移距离,建立磁场强度与位移距离的映射关系;获取永磁同步直线电机的定子的第二磁场强度;基于第二磁场强度和映射关系,计算得到永磁同步直线电机的动子的第二位移距离。以采集到的磁场强度和动子的位移距离为基准建立磁场强度与位移距离的映射关系,无需建立磁场强度分布数学解析模型,避免了磁场模型不准确导致的位移计算误差,提高位移解算速度与精度。
  • 永磁同步直线电机位移测量方法装置计算机介质
  • [发明专利]一种零差激光干涉仪信号鉴相方法及装置-CN202210706868.8在审
  • 胡金春;朱煜;文庭瑞;华国杰;徐登峰;张鸣;王磊杰 - 清华大学
  • 2022-06-21 - 2022-10-11 - G01B9/02055
  • 本发明公开了一种零差激光干涉仪信号鉴相方法及装置,该方法包括:获取零差激光干涉仪的冗余测量信息;基于冗余测量信息,对干涉信号模型的模型参数进行标定;获取待解算的实时相位的整数部分,以及利用标定后的干涉信号模型计算得到实时相位的小数部分,并基于整数部分和小数部分得到实时相位。相比于适用于零差正交干涉仪的椭圆修正方法,本方法使用了三相及三相以上的信号,增加了测量冗余信息,从而降低了因噪声导致的位移测量偶然误差,使位移测量结果具备更高的精密度。而且,本方法无需寻求多相信号和正交信号之间的线性转换关系,并且由于充分利用了冗余测量信息,在任意数量探测信号时都可以使位移测量结果稳定地逼近精度的理论上限。
  • 一种激光干涉仪信号方法装置
  • [发明专利]周期信号的抗谐波干扰的相位检测方法及装置-CN202210103070.4在审
  • 胡金春;朱煜;华国杰;文庭瑞;徐登峰;张鸣;王磊杰 - 清华大学
  • 2022-01-27 - 2022-06-14 - G01R23/16
  • 本发明涉及一种周期信号的抗谐波干扰的相位检测方法及装置,属于数字信号处理和精密测量领域。该方法将实时测量条件下的待测相位分为整数部分和小数部分。对整数部分的测量,通过整周期计数实现;对小数部分的测量,分别在静态条件和实时测量条件下对待测量信号采样,获取匹配模板和待测相位采样信号序列,建立仿射变换关系模型,计算实时测量条件下的小数部分相位。最后将整数部分和小数部分相位合并,得到实时测量条件下的完整待测相位。相较于已有方法,本方法由于不需要待测信号具有理想正弦形式特征,避免了离散傅里叶变换的频谱泄露与栅栏效应、正交解相的低通滤波器设计以及待测信号频率已知的条件限制,具有更高的分辨率。
  • 周期信号谐波干扰相位检测方法装置
  • [实用新型]一种布料离心式脱水机-CN202120954972.X有效
  • 张国伟;钮云锋;何东金;华国杰;姚志仁 - 浙江同辉纺织股份有限公司
  • 2021-05-06 - 2021-12-21 - F26B11/08
  • 本实用新型涉及一种布料离心式脱水机,其包括桶体、设置于桶体顶部的盖体,还包括可拆卸设置于桶体内的内胆、设置于桶体底部且与内胆相配合的驱动组件,所述内胆外侧壁上开设有若干输水孔,所述内胆内侧底部中央突出设有套筒,所述驱动组件包括贯穿设置于桶体底部且位于套筒内侧的驱动轴,所述套筒左右两侧壁底部左右对成开设有两个卡槽,所述驱动轴外侧壁上设有卡接于卡槽内的卡块,所述套筒外侧壁顶部与驱动轴外侧壁顶部通过紧固螺栓连接。有益效果:便于对内胆进行拆卸更换维修,使用方便。
  • 一种布料离心脱水机
  • [发明专利]基于动态响应时间测量法的鉴相系统及方法-CN202010995825.7有效
  • 胡金春;朱煜;华国杰;张鸣;王磊杰;尹文生 - 清华大学
  • 2020-09-21 - 2021-11-05 - G01B9/02
  • 本发明提供一种基于动态响应时间测量法的鉴相系统及方法,其中的系统包括前端信号预处理模块以及与前端信号预处理模块连接的相位测量模块;其中,前端信号预处理模块包括相连接的光电探测器和方波整形单元,光电探测器用于接收待检测信号,并将所接收的待检测信号转化为电信号,方波整形单元用于将电信号转换为幅值固定的方波信号,并传输至相位测量模块;相位测量模块用于对方波信号进行分析处理,以获取待检测信号的相位变化信息。利用上述发明能够扩大检测信号的频率范围,且测量分辨率高,适用于精密和超精密测量领域。
  • 基于动态响应时间测量系统方法

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