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[外观设计]加热器-CN202130411446.4有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人：博宇(天津)半导体材料有限公司;北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇(朝阳)半导体科技有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： 23-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：加热器。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于材料的加热。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
加热器

[实用新型]一种适用不同直径的束流环的焊接工装-CN202122628019.9有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人： 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： B23K26/21 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用不同直径的束流环的焊接工装，包括支撑底台、底板固定机构及顶板固定机构；支撑底台包括圆柱形的支撑台，支撑台的顶面的中心设置有圆形凹槽，圆形凹槽的槽底中心设置有第一螺纹孔，圆形凹槽的内部设置有可拆卸的圆形支撑板，圆形支撑板的底面中心对应第一螺纹孔设置有螺柱，螺柱可旋入第一螺纹孔的内部设置；底板固定机构可拆卸的设置于支撑底台的顶面，用于对束流环底板进行按压定位；顶板固定机构可拆卸的设置于支撑底台的顶面，用于对束流环顶板进行按压定位。本实用新型的焊接工装，通过设置的可拆卸的圆形支撑板及配置的不同长度的定位螺栓，可以实现焊接不同直径的束流环，通用性高。
一种适用不同直径束流环焊接工装

[实用新型]一种坩埚用喷嘴形变纠正装置-CN202122395775.1有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人：博宇（天津）半导体材料有限公司;北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： B21D3/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种坩埚用喷嘴形变纠正装置，包括底部支撑机构及顶部压紧机构；底部支撑机构包括圆柱型底座，圆柱型底座的顶面上设置有圆形凹槽；圆形凹槽的内部设置有可拆卸的用于支撑喷嘴环形沿的圆形支撑座；顶部压紧机构可拆卸的设置于底部支撑机构的上方，包括环形顶座，环形顶座的外侧壁面上设置有顶部安装座，顶部安装座上设置有第三螺纹通孔；环形顶座上对应圆形支撑座设置有可拆卸的压紧环，用于与圆形支撑座配合压紧喷嘴环形沿。本实用新型的形变纠正装置，可对喷嘴环形沿进行形变纠正，使其两侧面平整不倾斜，从而保证安装后的气密性；另外还通过设置的圆形支撑座及压紧环可以对不同型号尺寸的喷嘴环形沿进行形变纠正，通用性高。
一种坩埚喷嘴形变纠正装置

[实用新型]一种卷棉装置-CN202122624978.3有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人：博宇（朝阳）半导体科技有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： B65H18/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种卷棉装置，包括支撑机构、卷棉辊、驱动机构及压紧机构；支撑机构包括支撑架及支撑板，支撑架的顶面设置有第一立柱及第二立柱；第一立柱及第二立柱之间上下可滑动的设置有轴承，轴承的底部固定的设置有固定环；卷棉辊设置于支撑板的顶面上，用于将保温棉卷在环形电热丝的外侧面上；驱动机构设置于支撑板的顶面上，用于驱动卷棉辊转动；压紧机构设置于支撑架上，用于压紧卷棉辊上的保温棉。本实用新型的卷棉装置，实现了电机驱动卷棉辊转动，避免了人工转动，省时省力，节省人工成本的同时提高了卷棉效率，另外通过设置的压紧机构，可以将保温棉更加紧实的卷在环形电热丝的外面，卷棉效果好。
一种装置

[实用新型]一种蒸镀部件-CN202122407138.1有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人： 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本申请提供了一种蒸镀部件，蒸镀部件包括加热腔、加热电极和第一反射件。加热腔用于加热蒸发料；加热电极与加热腔的底部连接；第一反射件设置于加热腔内，第一反射件形成为遮盖加热电极与加热腔的连接处。其中，第一反射件包括绝缘层、间隔件和反射层，间隔件配置为将绝缘层和反射层间隔布置，反射层用于阻挡加热腔内的热量由加热腔的底部散失。第一反射件形成为遮盖加热电极与加热腔的连接处，第一反射件包括绝缘层、间隔件和反射层，间隔件配置为将绝缘层和反射层间隔布置。反射层用于阻挡加热腔内的热量由加热腔的底部散失。绝缘层用于对加热电极与加热腔的连接处进行防护，防止因加热腔内部温度过高，导致加热电极与加热腔的连接处的损坏。
一种部件

[实用新型]一种蒸镀组件-CN202122407577.2有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人： 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本申请提供了一种蒸镀组件，蒸镀组件包括保温筒、加热腔、紧固部和定位件。加热腔位于所述保温筒内，所述加热腔用于加热蒸发料；紧固部用于连接所述保温筒和所述加热腔；其中，所述保温筒包括内筒和设置于所述内筒外周的外筒，所述蒸镀组件还包括定位件，所述定位件用于对所述内筒和所述外筒之间的相对位置进行定位。通过设置定位件，以对内筒和外筒之间的相对位置进行限定，可有效解决蒸镀组件使用过程中，内筒容易脱落的问题，从而保证蒸镀设备的正常使用，提升蒸镀设备的实用性，满足用户的使用需求，并提高用户的使用体验。
一种组件

[实用新型]一种蒸镀装置-CN202122408183.9有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人： 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本申请提供了一种蒸镀装置，蒸镀装置包括加热腔、加热电极和电极连接结构。加热腔包括加热筒和设于所述加热筒底部的加热底壳；加热电极用于为加热腔提供电源；电极连接结构用于将所述加热腔和所述加热底壳连接。本申请实施例中，加热电极设置于加热腔的加热底壳上，设置于加热底壳上不与加热腔的外围设备存在位置干涉，实现从蒸镀装置的上部开口处安装及取出，有利于加热器的维护以及更换。
一种装置

[实用新型]一种蒸镀设备-CN202122407140.9有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人： 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本申请提供了一种蒸镀设备，蒸镀设备包括保温筒、加热腔、固定部和保温部。加热腔设置于保温筒内，加热腔用于加热蒸发料，固定部用于连接保温筒和加热腔，保温部设置于保温筒的底端。其中，加热腔的外周壁和保温筒内壁之间配置为通过固定部间隔设置，及保温部和蒸镀设备的支撑座之间间隔设置。本申请实施例中，加热腔的周壁和保温筒内壁之间配置为通过固定部间隔设置，及保温部和蒸镀设备的支撑座之间间隔设置，极大的减少了加热腔与保温筒和加热腔与支撑座间的接触面积，可使得加热腔内的热量避免因加热腔与保温筒，及加热腔与支撑座间的直接接触而发生热传递，从而有效的减少了加热腔内的热损失，有效的节省了生产成本。
一种设备

[实用新型]一种蒸镀结构-CN202122407527.4有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人： 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本申请提供了一种蒸镀结构，蒸镀结构包括加热腔、加热电极和电极连接结构。加热腔用于加热蒸发料；加热电极一端与外接电极连接，所述加热电极用于为加热腔提供热源；电极连接结构用于将所述加热腔和所述加热电极的另一端连接；其中，所述加热电极配置为可形变，其与所述电极连接结构和外接电极软连接。一方面，基于加热电极的可形变的特点，使加热电极可释放加热腔在高温的工作环境下产生的应力，避免加热腔因受到应力而出现损坏的问题。另一方面，加热电极采用软连接的方式，可以确保电极连接结构与加热电极的紧密贴合，降低了发生打火的风险，有力的保证了加热的使用安全性。
一种结构

[实用新型]一种水冷套-CN202122399210.0有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人：博宇（天津）半导体材料有限公司;北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： F25D17/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种水冷套，包括呈圆筒状的水冷装置，其侧壁上开设有沿其轴向分布的多个第一通孔，其上端面上开设有多个第一凹槽，其下端面上开设有多个第二凹槽，多个所述第一通孔、多个所述第一凹槽以及多个所述第二凹槽均沿所述水冷装置的周向分布；其中，一个所述第一凹槽与相邻两个所述第一通孔连通，以构成一个单元；相邻单元之间，相邻的两个第一通孔与一个所述第二凹槽连通；任意一个所述第二凹槽连接有进水管和出水管；过渡环，上端面固设在所述水冷装置下端面，所述过渡环内置有两个空腔，所述进水管和所述出水管分别通过两个所述空腔与任意一个所述第二凹槽连通。
一种水冷

[实用新型]一种蒸镀原料加热设备测试炉-CN202122088047.6有效
发明人：何军舫;王军勇;刘书跃 -专利权人： 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： G01M99/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀原料加热设备测试炉，包括：支架；炉体，固定设置于支架上，其底部敞开，炉体的底端外周上固定设置有安装法兰盘；承接法兰盘，通过第一螺栓与安装法兰盘固定连接；抽真空泵，通过高压管路与炉体的侧壁连通设置；控制柜，与抽真空泵相连接。本实用新型的测试炉可对各种尺寸规格的蒸发源进行性能测试，适用性高，有效降低了测试成本。
一种原料加热设备测试

[实用新型]一种坩埚用喷嘴的环形侧壁的变形纠正装置-CN202122399201.1有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人：博宇（朝阳）半导体科技有限公司;北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： B21D3/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种坩埚用喷嘴的环形侧壁的变形纠正装置，包括支撑框、外侧弧形支撑托及内侧弧形压紧组件；支撑框包括支撑挡板，支撑挡板的一侧面的两侧对称的设置有支撑杆；支撑杆的内侧壁面上设置有工字型的条形凹槽；支撑挡板的侧面的中部设置有第一通孔；外侧弧形支撑托设置于支撑框的内侧，用于抵接喷嘴环形侧壁的外侧壁面；内侧弧形压紧组件设置于外侧弧形支撑托的内侧，用于对应外侧弧形支撑托抵接至喷嘴环形侧壁的内侧壁面。本实用新型的变形纠正装置，可以纠正变形的喷嘴环形侧壁，使喷嘴环形侧壁表面平滑；另外可以满足在支撑框上装配不同直径大小的外侧弧形支撑托来对不同直径大小的喷嘴环形侧壁进行变形纠正，通用性高。
一种坩埚喷嘴环形侧壁变形纠正装置

[发明专利]一种蒸镀装置-CN202111163706.6在审
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人： 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种蒸镀装置，蒸镀装置包括加热腔、加热电极和电极连接结构。加热腔包括加热筒和设于所述加热筒底部的加热底壳；加热电极用于为加热腔提供热源；电极连接结构用于将所述加热腔和所述加热底壳连接。本发明实施例中，加热电极设置于加热腔的加热底壳上，设置于加热底壳上不与加热腔的外围设备存在位置干涉，实现从蒸镀设备的上部开口处安装及取出，有利于加热器的维护以及更换。
一种装置

[外观设计]加热器-CN202030782505.4有效
发明人：何军舫 -专利权人： 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司
申请日： 2020-12-18 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：加热器。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于金属材料、非金属材料和有机物材料的蒸镀。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
加热器

[外观设计]喷嘴-CN202130004115.9有效
发明人：何军舫 -专利权人： 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司
申请日： 2021-01-05 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： 08-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：喷嘴。2.本外观设计产品的用途：材料的蒸镀。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1立体图1。5.设计1后视图与设计1主视图相同，省略设计1后视图;设计1右视图与设计1主视图相同，省略设计1右视图;设计1左视图与设计1主视图相同，省略设计1左视图;设计2后视图与设计2主视图相同，省略设计2后视图;设计2右视图与设计2主视图相同，省略设计2右视图;设计2左视图与设计2主视图相同，省略设计2左视图。6.指定设计1为基本设计。
喷嘴