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[发明专利]一种磁控柔性超声换能装置-CN202111301908.2有效
发明人： 刘项力;郭希山;郑音飞;张京 -专利权人：之江实验室
申请日： 2021-11-04 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： B06B1/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种磁控柔性超声换能装置，包括超声换能器结构、柔性链接结构、生磁结构、磁探结构。其中，柔性链接结构在变形的过程中实现了相邻超声换能器结构之间的链接；生磁结构和磁探结构处在相邻的超声换能器结构上；生磁结构用于在外加电信号下，产生一定强度、空间分布的磁场；磁探结构通过感测变形引起的磁响应变化，实现柔性超声相邻超声换能器结构任意变形前后相邻超声换能器结构之间的相对位置测量。本发明公开的磁控柔性超声换能装置具有低成本、小尺寸、可穿戴的优点，解决了现有柔性超声装置因无法自动检测变形前后相邻超声换能器结构之间的相对空间位置，而无法实现柔性超声相邻超声换能器结构的精准电子操控声场聚焦的问题。
一种柔性超声装置

[发明专利]声表面波器件的制造方法-CN202011006739.5在审
发明人： 刘项力;沈旭铭 -专利权人：广东广纳芯科技有限公司
申请日： 2020-09-23 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： H03H3/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种声表面波器件的制造方法，其采用非连续性低温溅射工艺。非连续性低温溅射工艺包括如下步骤：通过溅射以沉积第1薄膜层的第一步骤；在第1时间间隔内对所述沉积的第1薄膜层进行第1降温处理的第二步骤；对所述第1降温处理后的第1薄膜层进行等离子体轰击处理的第三步骤；在第2时间间隔内对所述等离子体轰击处理后的第1薄膜层进行第2降温处理的第四步骤；以及在进行了所述第2降温处理后的第1薄膜层上重复执行m次所述第一步骤至所述第四步骤以形成第2薄膜层至第m+1薄膜层的第五步骤，其中m为大于等于1的整数。
表面波器件制造方法

[发明专利]一种磁传感装置-CN201910319990.8有效
发明人：杨晓非;王鲜然;刘项力;陈实;欧阳君;李家普 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： G01R33/032 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁传感装置，包括谐振模块、伸缩模块和测频模块；谐振模块与伸缩模块通过耦合的方式连接，测频模块通过电极与谐振模块相连；谐振模块包括一个单独的谐振器，通过接收测频模块的电压信号产生谐振振动；伸缩模块采用磁致伸缩材料，通过接受外部磁场的变化，将磁致伸缩效应产生的应力和弹性模量的变化反馈给谐振模块；测频模块用于驱动谐振模块的谐振振动，并通过测量谐振模块工作状态的变化，获取外部磁场信号。本发明提供了一种单梁谐振器的磁传感装置，将磁场变化转换为谐振器频率变化，实现低成本、高灵敏度的磁场测量。
一种传感装置

[发明专利]一种谐振式磁传感器-CN201910318965.8有效
发明人：杨晓非;刘项力;王鲜然;陈实;欧阳君;李家普 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： G01R33/032 文献下载
摘要：本发明公开了一种谐振式磁传感器包括谐振单元、磁致伸缩材料、激励测频装置；其中，所述谐振单元包括结构相等且对称连接的两谐振器，各设置有一个正极，共用一个负极，和激励测频装置通过正极、负极相连，不仅可以产生谐振振动，且通过提高其Q值，从而提高谐振式磁传感器的信噪比；在外部磁场的作用下，磁致伸缩材料将产生应力和弹性模量的变化，进而改变谐振单元的工作状态，激励测频装置通过测量谐振器的谐振频率的变化，即可测量外部磁场信号的幅度大小及频率。本发明解决了现有的谐振式传感器因无法抑制系统的低频本征噪声导致输出信号分辨率低问题。
一种谐振传感器

[实用新型]超声换能设备及超声换能器-CN201922226575.6有效
发明人：马腾;刘项力;郑海荣;黄继卿;李永川;王丛知;刘佳妹;杨晔 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种超声换能器，超声换能器阵列模组由背衬块进行支撑，电联接结构可同时对多个超声换能器阵列模组传递工作电力，保证工作电力供给，背衬块上设置变换驱动装置，提供背衬块沿其宽度方向折叠或张开，折叠过程将多个超声换能器阵列模组由长度方向的布置结构，变形过程相邻的超声换能器阵列模组折叠方向交替变向动作，由长条状结构变形为并行布置的矩阵结构，满足成像要求。通过超声换能器阵列模组的形态变换，可在其呈长条状形态进行输送，满足小孔径的输送要求；长条状形态只具有成像能力，在矩阵变形后也满足成像要求，保证超声换能器的成像能力，且也具有HIFU治疗的能力。本实用新型还提供了一种超声换能设备。
超声设备换能器

[实用新型]超声波内窥镜系统和超声换能器-CN201922208849.9有效
发明人：马腾;黄继卿;李永川;王丛知;刘佳妹;刘项力;杨晔 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2019-12-10 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： A61B8/12 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种超声换能器，超声晶片环绕环形布置的背衬环外周面，内电极层位于超声晶片的内圈，通入电脉冲激励超声晶片的内表面，外电极层位于超声晶片的外周面，通入电脉冲激励超声晶片的外表面，内电极层的电极方向与外电极层的电极方向垂直布置，通过将内电极层和外电极层在超声晶片的激励位置变化，可对超声换能器在周向和聚焦位置进行调节，从而使得超声换能器在声场区域的成像均匀一致。本实用新型还提供了一种超声波内窥镜系统。
超声波内窥镜系统超声换能器

[发明专利]超声换能设备及超声换能器-CN201911278259.1在审
发明人：马腾;刘项力;郑海荣;黄继卿;李永川;王丛知;刘佳妹;杨晔 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2020-03-10 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种超声换能器，超声换能器阵列模组由背衬块进行支撑，电联接结构可同时对多个超声换能器阵列模组传递工作电力，保证工作电力供给，背衬块上设置变换驱动装置，提供背衬块沿其宽度方向折叠或张开，折叠过程将多个超声换能器阵列模组由长度方向的布置结构，变形过程相邻的超声换能器阵列模组折叠方向交替变向动作，由长条状结构变形为并行布置的矩阵结构，满足成像要求。通过超声换能器阵列模组的形态变换，可在其呈长条状形态进行输送，满足小孔径的输送要求；长条状形态只具有成像能力，在矩阵变形后也满足成像要求，保证超声换能器的成像能力，且也具有HIFU治疗的能力。本发明还提供了一种超声换能设备。
超声设备换能器

[发明专利]超声波内窥镜系统和超声换能器-CN201911259750.X在审
发明人：马腾;黄继卿;李永川;王丛知;刘佳妹;刘项力;杨晔 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2019-12-10 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： A61B8/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种超声换能器，超声晶片环绕环形布置的背衬环外周面，内电极层位于超声晶片的内圈，通入电脉冲激励超声晶片的内表面，外电极层位于超声晶片的外周面，通入电脉冲激励超声晶片的外表面，内电极层的电极方向与外电极层的电极方向垂直布置，通过将内电极层和外电极层在超声晶片的激励位置变化，可对超声换能器在周向和聚焦位置进行调节，从而使得超声换能器在声场区域的成像均匀一致。本发明还提供了一种超声波内窥镜系统。
超声晶片超声换能器内电极层外电极层电脉冲激励外周面电极超声波内窥镜成像均匀方向垂直环形布置激励位置聚焦位置声场区域背衬环内表面内圈环绕

[发明专利]一种基于透明柔性薄膜材料的曲面光刻工艺-CN201810456005.3在审
发明人：朱本鹏;刘项力;杨晓非 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于透明柔性薄膜材料的曲面光刻工艺，包括以下步骤：(1)将目标曲面图案沿平面展开，将平面化图案制作在平面状的光刻掩膜版或硬掩膜板上；(2)选取柔性薄膜材料；(3)采用光刻掩膜版进行处理，或者采用硬掩膜板对柔性薄膜材料进行处理，得到表面具有完整非透明图案的柔性基底；(4)在待光刻的曲面上涂胶，将柔性基底紧密无缝隙的贴附在该待光刻的曲面上，经过曝光、显影后，即可实现曲面光刻。本发明通过对关键曲面光刻工艺的整体工艺流程设计、尤其是光刻图案由平面转至曲面的转换工艺步骤等进行改进，与现有技术相比能够有效解决更复杂电极、复杂微MEMS结构在具有一定的曲率结构的表面上实现的问题。
光刻工艺光刻柔性薄膜材料透明柔性薄膜光刻掩膜版柔性基底硬掩膜工艺流程设计复杂电极工艺步骤光刻图案平面展开曲率结构曲面图案图案制作有效解决非透明平面化平面状无缝隙贴附涂胶显影图案曝光转换改进

[发明专利]一种基于微位移测量的电流传感器-CN201610472240.0有效
发明人：朱本鹏;李家普;欧阳君;王鲜然;李俊宇;刘项力;陈实;杨晓非 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2016-06-23 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： G01R19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于微位移测量的电流传感器及其制作方法，包括磁致伸缩反射面和光纤。其中制作方法包括以下步骤：选取长方形的金属玻璃(metglass)并进行清洗；在metglass上、下表面各溅射一层一定厚度的磁致伸缩薄膜；在metglass下表面溅射一层一定厚度的高反膜；在metglass下表面两端用环氧树脂各粘贴一个非磁性金属块；在两个非磁性金属块的另一端用环氧树脂粘贴一块正中带有通孔的非磁性金属板；将光纤通过一个非磁性金属管，再将它们通过非磁性金属板的孔，使光纤端面与高反膜之间保持合适的距离，这样在光纤端面与高反膜之间就形成了一个光纤法布里－珀罗干涉仪。本发明方法工艺简单，操作方便，制造的传感器灵敏度较高。
一种基于位移测量电流传感器

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