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[外观设计]减压阀-CN202130101102.3有效
发明人： 刘远航 -专利权人：上海荟氢科技有限公司
申请日： 2021-02-22 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： 23-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：减压阀。2.本外观设计产品的用途：减小气体压力。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
减压阀

[外观设计]瓶阀-CN202130101136.2有效
发明人： 刘远航 -专利权人：上海荟氢科技有限公司
申请日： 2021-02-22 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： 23-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：瓶阀。2.本外观设计产品的用途：气瓶的开启、关闭以及气体的释放控制。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
瓶阀

[发明专利]一种空化射流喷嘴及具有该喷嘴的晶圆处理装置-CN201911402067.7在审
发明人： 刘远航;赵德文;李长坤 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：一种用于晶圆制造中后清洗的空化射流喷嘴，包括喷嘴主体，喷嘴主体中设有进水腔、谐振腔、出水腔和分岔通道；所述谐振腔位于进水腔和出水腔之间，两端分别与进水腔和出水腔连通；所述进水腔和出水腔为圆台形空腔，圆台较小的底面均与谐振腔连通；所述出水腔侧壁与至少一个分岔通道连通；所述分岔通道将所述出水腔与外部气源连通。
一种射流喷嘴具有处理装置

[发明专利]一种晶圆支撑装置和晶圆清洗装置-CN201911407703.5在审
发明人： 刘远航;赵德文;王江涛 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆支撑装置和晶圆清洗装置，晶圆支撑装置包括支撑组件，所述支撑组件移动以水平支撑晶圆；至少一支撑组件可相对于其移动方向摆动以调节支撑组件的位置。本发明所述晶圆支撑装置使得支撑辊与晶圆的外缘均匀接触，保证晶圆的可靠支撑，设置在晶圆侧部的清洗刷有效去除晶圆表面的杂物，实现晶圆表面的清洗。
一种支撑装置清洗

[发明专利]一种用于化学机械抛光的承载头-CN201911411261.1在审
发明人：赵德文;刘远航;王宇;孟松林 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： B24B37/32 文献下载
摘要：一种用于化学机械抛光的承载头，包括连轴盘、平衡架、承载盘、柔性膜、环状压盘，平衡架的中轴部滑动密封地设置于连轴盘的中心通孔内并可以通过其底盘部及翼缘部带动承载盘相对于连轴盘上下移动，所述柔性膜具有用于划分压力腔室的边缘皱壁和至少一个内皱壁，并且所述边缘皱壁及最内侧的内皱壁中的至少一个被所述环状压盘气密地直接夹紧至承载盘以形成可调压的腔室，使得可以通过控制平衡架的水平位置和压力腔室的压力来调节施加于基板的压力。
一种用于化学机械抛光承载

[发明专利]一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备-CN201911420141.8在审
发明人： 刘远航;赵德文;王江涛 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备，所述晶圆对中机构包括基座、驱动件、连杆及夹持件，连杆铰接于驱动件与夹持件之间构成的连杆组件同心设置于所述基座；所述驱动件的竖向移动通过连杆转化为所述夹持件的同步水平移动，水平移动的夹持件推动设置于基座的晶圆移动使得晶圆与基座同心。
一种机构传输装置加工设备

[发明专利]一种磨削主轴刚度的测试装置及测试方法-CN202010585536.X有效
发明人：韩理文;王江涛;刘远航;赵德文;路新春 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：一种磨削主轴刚度的测试装置及测试方法，所述测试装置包括：测试台，其顶部设置有贯通的限位部，待测试磨削主轴设置于所述限位部；固定组件，其同轴连接于所述磨削主轴的外周侧并搭接于所述限位部；所述固定组件配置有气浮结构，所述气浮结构与所述测试台的顶面相对，通入所述气浮结构的气体承托所述磨削主轴；轴向刚度检测组件，其设置于所述测试台并位于磨削主轴的上侧，以测量磨削主轴的轴向刚度；径向刚度检测组件，其设置于所述测试台并位于磨削主轴的侧面，以测量磨削主轴的径向刚度。
一种磨削主轴刚度测试装置方法

[发明专利]具有极化功能的抛光液输送装置和化学机械抛光设备-CN202110499294.7在审
发明人：路新春;郑鹏杰;赵德文;李长坤;刘远航 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2021-05-08 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有极化功能的抛光液输送装置和化学机械抛光设备，其中，抛光液输送装置包括：基座，所述基座上设有基座孔；转轴，所述转轴设在所述基座孔内，且所述转轴设置为在所述基座孔内可选择性地转动；悬臂，所述悬臂相对于所述转轴可转动地连接在所述转轴上，其内部中空；抛光液管，所述抛光液管穿过所述基座孔后伸入所述悬臂内，用于输送抛光液或气体；喷嘴组件，与所述抛光液管连通，所述喷嘴组件包括喷嘴座和设于喷嘴座下方的至少一个喷嘴；极化单元，用于对抛光液进行极化处理。
具有极化功能抛光输送装置化学机械抛光设备

[发明专利]可调温的抛光液输送装置和化学机械抛光设备-CN202110498958.8在审
发明人：路新春;郑鹏杰;赵德文;李长坤;刘远航 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2021-05-08 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种可调温的抛光液输送装置和化学机械抛光设备，其中，抛光液输送装置包括：基座，所述基座上设有基座孔；转轴，所述转轴设在所述基座孔内，且所述转轴设置为在所述基座孔内可选择性地转动；悬臂，所述悬臂相对于所述转轴可转动地连接在所述转轴上，其内部中空；抛光液管，所述抛光液管穿过所述基座孔后伸入所述悬臂内，用于输送抛光液或气体；喷嘴组件，与所述抛光液管连通，所述喷嘴组件包括喷嘴座和设于喷嘴座下方的至少一个喷嘴；调温单元，用于对抛光液或气体进行冷却或升温，所述调温单元环绕抛光液管设置、和/或、不同喷嘴处分别设有不同调温单元以实现向抛光垫表面不同位置喷淋不同温度物质，从而调控抛光温度。
调温抛光输送装置化学机械抛光设备

[发明专利]减压装置-CN202110363553.3在审
发明人： 刘远航 -专利权人：上海荟氢科技有限公司
申请日： 2021-04-02 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： F16K17/20 文献下载
摘要：一种减压装置(10)，包括：第一减压部(12)，包括机械减压阀(14)；第二减压部(16)，与第一减压部(12)连通并且包括与机械减压阀(14)连通的电磁阀(18)；流道(20)，包括彼此连通的进气流道(22)和出气流道(24)，进气流道(22)经过机械减压阀(14)，出气流道(24)经过电磁阀(18)并且具有出口(26)；压力监测部(28)，与出气流道(24)连通、适于监测出口(26)处的压力；以及控制部(30)，与电磁阀(18)和压力监测部(28)连接、适于根据压力监测部(28)测得的压力调整电磁阀(18)的开度。如此，可获得输出压力可自动调节、出口气压稳定、精度高等的减压装置。
减压装置

[发明专利]一种高度集成化的减薄设备-CN202010524989.1有效
发明人：赵德文;刘远航;路新春;李长坤;吴云龙 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2020-06-10 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： B24B19/22 文献下载
摘要：本公开涉及一种高度集成化的减薄设备，包括：设备前端模块，设置在所述减薄设备的前端；磨削模块，设置在所述减薄设备的末端；抛光模块，设置在所述设备前端模块与所述磨削模块之间；所述抛光模块包括用于对化学机械抛光后的基板进行后处理的后处理单元，所述后处理单元包括沿所述减薄设备的宽度方向相邻设置的水平刷洗装置和单腔清洗装置。本公开通过将磨削、化学机械抛光和清洗干燥工艺相结合，提供了一种加工基板的最为经济有效的技术路线，结构紧凑、集成度高，可为超高密度的半导体堆叠制程提供技术保障，是半导体高密度封装发展等的重要组成。
一种高度集成化设备

[实用新型]一种具有移动机械手的晶圆磨削设备-CN202022256924.1有效
发明人： 刘远航;马旭;赵德文;王江涛 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2020-10-12 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有移动机械手的晶圆磨削设备，包括：设备前端模块、磨削模块、抛光模块、以及，移动传输模块，用于晶圆传输，其平行于抛光模块设置并位于前端模块和磨削模块之间；其中，移动传输模块包括移动存储台和移动机械手，移动存储台用于将晶圆从靠近设备前端模块的第一位置运送至靠近磨削模块的第二位置以及从第二位置运送回第一位置，移动机械手用于从设备前端模块接收干燥的晶圆并将干燥的晶圆放置于移动存储台上以避免污染晶圆并降低晶圆在不同模块之间传递的时间从而提高设备产能。
一种具有移动机械手磨削设备

[外观设计]工程造价计算机-CN202030796678.1有效
发明人： 刘远航 -专利权人： 刘远航
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： 14-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：工程造价计算机。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于工程造价计算机。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.请求保护的外观设计包含色彩。
工程造价计算机

[实用新型]用于空气轴承的供气系统和磨削工具-CN202021989880.7有效
发明人： 刘远航;王江涛;马旭;赵德文;李小娟 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2020-09-14 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于空气轴承的供气系统和磨削工具，其中，供气系统包括主气源、备用气源、中继阀、气控阀、第一过滤器、干燥器和减压阀；主气源同时与中继阀的预控制口、风源口以及气控阀的第一进气口连通，中继阀的输出口与气控阀的控制口连通，气控阀的出气口依次通过第一过滤器、干燥器和减压阀与空气轴承的气管接口连通，以在主气源的供气压力大于等于预设压力时中继阀的风源口与输出口连通从而使气控阀的第一进气口与出气口连通以实现主气源为空气轴承供气，备用气源与气控阀的第二进气口连通，以在主气源发生故障其供气压力小于预设压力时使气控阀的第二进气口与出气口连通从而自动切换至备用气源为空气轴承供气。
用于空气轴承供气系统磨削工具

[实用新型]一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆减薄设备-CN202022255649.1有效
发明人： 刘远航;马旭;王江涛;赵德文 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2020-10-12 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆减薄设备，晶圆对中机构包括一固定台、一旋转驱动机构、一锥齿轮组件、预设数量的滚珠丝杠组件和预设数量的移动夹持组件；预设数量的滚珠丝杠组件沿周向均匀安装在固定台上，滚珠丝杠组件沿水平方向设置，滚珠丝杠组件的直线运动端连接移动夹持组件，滚珠丝杠组件位于锥齿轮组件外围并且滚珠丝杠组件的转动端与锥齿轮组件固定连接，锥齿轮组件与位于其下方的旋转驱动机构固定连接。
一种机构传输装置晶圆减薄设备