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[发明专利]基板支承架及设置有此支承架的基板处理装置-CN202210447474.5在审
发明人： 刘成真;韩在柄;柳智焕 -专利权人：圆益IPS股份有限公司
申请日： 2017-03-23 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板处理装置，尤其涉及一种对基板执行蚀刻、沉积等的基板处理的基板处理装置。本发明公开了一种基板处理装置，其特征在于，包括：工序腔室，形成对外部导入的两张直四角形基板执行基板处理的处理空间，及基板支承架，设在所述工序腔室内，从而支承所述两张直四角形基板。
支承设置处理装置

[发明专利]基板支承架及设置有此支承架的基板处理装置-CN201710176677.4有效
发明人： 刘成真;韩在柄;柳智焕 -专利权人：圆益IPS股份有限公司
申请日： 2017-03-23 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板处理装置，尤其涉及一种对基板执行蚀刻、沉积等的基板处理的基板处理装置。本发明公开了一种基板处理装置，其特征在于，包括：工序腔室，形成对外部导入的两张直四角形基板执行基板处理的处理空间，及基板支承架，设在所述工序腔室内，从而支承所述两张直四角形基板。
支承设置处理装置

[发明专利]基板支撑架、基板处理装置及基板处理系统-CN202010979502.9在审
发明人： 刘成真 -专利权人：圆益IPS股份有限公司
申请日： 2020-09-17 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及基板处理装置的基板支撑架、基板处理装置及基板处理系统。本发明公开了一种基板处理装置的基板支撑架，包括：一个以上的静电吸盘，安装基板通过静电力吸附基板；密封部，结合于静电吸盘，以在安装基板的状态下防止向上侧暴露静电吸盘；其中，密封部包括：一个以上的外廓密封部件，沿着由一个以上的静电吸盘形成的整体为直角四边形的边缘可拆卸地设置在静电吸盘，以构成直角四边形；一个以上的中心密封部件，在对应于2张直角四边形基板之间的位置结合静电吸盘，以区划分别支撑2张直角四边形基板的一对支撑区域；一个以上的连接密封部件，连接中心密封部件及外廓密封部件。
支撑架处理装置系统

[发明专利]对准模块及包括此的基板处理系统-CN202010885072.4在审
发明人： 刘成真;金娧永;金颍俊 -专利权人：圆益IPS股份有限公司
申请日： 2020-08-28 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明涉及基板处理，更详细地说，涉及用于对准成为基板处理对象的基板的对准模块及包括此的基板处理系统。本发明公开了一种对准模块(100)，选择性对准从外部导入的直角四边形形状的单张基板(11)或者将所述单张基板(11)分为2张的2张分割基板(12)，包括：对准腔室(110)，形成密封的内部空间；基板支撑部(120)，设置在所述对准腔室(110)内，以支撑所述单张基板(11)或者所述2张分割基板(12)；对准部，向所述对准腔室(110)内导入所述单张基板(11)时，对准所述单张基板(11)，在向所述对准腔室(110)内导入所述2张分割基板(12)时，对准所述2张分割基板(12)。
对准模块包括处理系统

[实用新型]泥下悬挂器测试工具-CN202021175633.3有效
发明人：许杰;霍宏博;谢涛;张启龙;张羽臣;刘永勤;何阳;刘成真;岳明;陈卓 -专利权人：中国海洋石油集团有限公司;中海石油（中国）有限公司天津分公司
申请日： 2020-06-23 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：一种泥下悬挂器测试工具，包括：顶板、间隔设定距离设置在顶板下面的中间支撑板、间隔设定距离设置在中间支撑板下面的底板，其中，顶板上设置有第一通孔及数个第二通孔，第一连接螺杆的上、下位置上安装有第一螺母；中间支撑板上设置有第三通孔及数个第四通孔，且数个第四通孔与顶板上的数个第二通孔相对应；第一连接螺杆的上、下位置上安装有第二螺母；且数个第四通孔的旁边还设置数个第五通孔；底板上设置有第六通孔及数个用于第二连接螺杆穿过的数个第七通孔；且第二连接螺杆直接插在数个第七通孔中。本实用新型不仅能够实现两种悬挂器的坐封配合测试；而且，还能够模拟了现场作业环境，对泥下悬挂器工具进行承载测试。
悬挂测试工具

[发明专利]基板处理系统及基板处理方法-CN201410104338.1有效
发明人：徐康镇;刘成真;李炳祐;金昌洙;梁皓植 -专利权人：圆益IPS股份有限公司
申请日： 2014-03-20 - 公布日： 2014-10-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及处理基板，更详细地说涉及包括一个以上搬送模块及一个以上的工序模块，执行基板处理的基板处理系统及利用此的基板处理方法。本发明公开了基板处理系统，作为基板与以一方向移送的生产线连接以执行基板处理的基板处理系统，其特征在于，包括：多个搬送模块，按顺序配置包括与所述生产线连接的第1搬送模块；一个以上的工序模块，在所述多个搬送模块中至少连接一个，执行基板处理；多个缓冲模块，相互连接所述多个搬送模块之间。所述多个搬送模块及所述多个缓冲模块，接收从所述生产线传达的基板，执行基板处理后，为了使完成基板处理的基板返回至所述生产线，以构成的单一闭合曲线的线路进行配置。
处理系统方法