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[发明专利]半导体结构及其形成方法-CN202111315484.5在审
发明人：李勇;谈晋椹;代洪刚 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H10B41/35 文献下载
摘要：一种半导体结构及其形成方法，其方法包括：在部分所述存储区上形成第一栅极层，所述第一栅极层沿第一方向延伸，且沿第二方向排列，所述第一方向与所述第二方向垂直；在所述外围区上形成第二栅极层，所述第二栅极层沿第一方向延伸，且沿第二方向排列，在沿所述第二方向上，相邻的所述第二栅极层之间的具有第一距离值，相邻的所述第一栅极层之间具有第二距离值，所述第一距离值大于所述第二距离值；以所述第一栅极层和所述第二栅极层为掩膜，刻蚀所述衬底，在所述存储区内形成有源区和相邻有源区之间的第一沟槽，在所述外围区形成第二沟槽，有源区的角部在所述第一沟槽的刻蚀工艺中被刻蚀，可以提高有源区角部的圆度，提高先进闪存的数据保留性能。
半导体结构及其形成方法

[发明专利]半导体结构的形成方法-CN202111058233.3在审
发明人：程东向;周朝锋;代洪刚;金龙灿;李勇 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H10B41/35 文献下载
摘要：一种半导体结构的形成方法，包括：提供衬底；在衬底上形成若干核心结构，所述核心结构包括第一核心层、第二核心层和第三核心层，第一核心层和第二核心层平行于第一方向且在第一方向上的中轴线重合，第三核心层平行于第二方向，所述第二核心层的第一端同时与第一核心层的一端和第三核心层的一端相连接，第二端与相邻的第三核心层相接触；在衬底上形成字线结构，字线结构的图形为第一核心层经过自对准双重图形技术形成的图形；在衬底上形成连接层，连接层与字线结构一一对应且相互连接，连接层的图形为第三核心层经过自对准双重图形技术形成的图形。所述方法形成的半导体结构性能得到提升。
半导体结构形成方法

[发明专利]半导体结构及其形成方法-CN202011587896.X在审
发明人：刘俊;代洪刚;程东向 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G02B6/122 文献下载
摘要：一种半导体结构及其形成方法，其中结构包括：基底，所述基底上具有光波导层；位于基底上的第一介质层；位于所述第一介质层和光波导层之间的空腔，所述空腔位于所述光波导层侧壁表面，且所述空腔的底部与光波导层的底部齐平；位于所述第一介质层上和光波导层上的第二介质层，所述第二介质层位于所述空腔顶部且将所述空腔封闭。基底，所述基底上具有光波导层；位于基底上的第一介质层；位于所述第一介质层和光波导层之间的空腔，所述空腔位于所述光波导层侧壁表面，且所述空腔的底部与光波导层的底部齐平；位于所述第一介质层上和光波导层上的第二介质层，所述第二介质层位于所述空腔顶部且将所述空腔封闭。所述半导体结构的性能较好。
半导体结构及其形成方法

[发明专利]半导体结构及其形成方法-CN202010760753.8在审
发明人：程东向;代洪刚;刘俊;曹恒;周朝锋 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2020-07-31 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G02F1/015 文献下载
摘要：一种半导体结构及其形成方法，形成方法包括：形成覆盖第一介质层、第一金属层和第二金属层的第二介质层；在第二介质层上形成调节材料层；刻蚀调节材料层和第二介质层，露出第一金属层和第二金属层的顶部，剩余的调节材料层作为调节层；形成保形覆盖第一金属层、第二金属层以及调节层的第三介质层，刻蚀第三介质层，形成露出第一金属层、第二金属层以及调节层的开口的过程中，第一金属层、第二金属层和调节层上的开口易同时形成，调节层不易受损伤，工作时，调节层更易提供工艺设计的发热量，第一掺杂层和第二掺杂层的温度发生改变，光在第一掺杂层和第二掺杂层构成的PN结中传输的相位易发生改变，使得解调的效果较好。
半导体结构及其形成方法

[发明专利]半导体结构及其形成方法-CN202010762878.4在审
发明人：程东向;代洪刚;刘俊;曹恒;周朝锋 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2020-07-31 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G02F1/025 文献下载
摘要：一种半导体结构及其形成方法，形成方法包括：提供基底，基底包括第一介质层以及分立于第一介质层上的第一金属层和第二金属层；在第一金属层和第二金属层之间的第一介质层上形成调节层；形成覆盖第一金属层、第二金属层以及调节层的第二介质层。调节层上的第二介质层的厚度与第一金属层上的第二介质层的厚度相差较小，调节层上的第二介质层的厚度与第二金属层上的第二介质层的厚度相差较小，相应的，刻蚀第二介质层，形成露出第一金属层、第二金属层以及调节层的开口的过程中，第一金属层和第二金属层上的开口先形成，调节层上的开口后形成，调节层受损伤较小，调节层的形成质量较高，有利于提高半导体结构的电学性能。
半导体结构及其形成方法

[发明专利]半导体结构及其形成方法-CN202010472422.4在审
发明人：程东向;曹恒;周朝锋;代洪刚;陈亮 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： H01L27/11524 文献下载
摘要：一种半导体结构及其形成方法，形成方法包括：第一掩膜叠层中第二掩膜层的厚度小于第二掩膜叠层中第二掩膜层的厚度，且以垂直于掩膜叠层侧壁的方向为横向，第二掩膜叠层的横向尺寸大于第一掩膜叠层的横向尺寸；在掩膜叠层的侧壁上形成侧墙层；本发明实施例，去除所述第一掩膜叠层，以侧墙层和第二掩膜叠层为掩膜刻蚀控制栅材料层，形成位于第一控制栅极和第二控制栅极，在外围区中形成第二掩膜叠层和位于第二掩膜叠层侧壁上的侧墙层，以侧墙层和第二掩膜叠层为掩膜刻蚀控制栅材料层同时形成第一控制栅极和第二控制栅极，避免了先后形成单元区和外围区中的控制栅极的掩膜过程中，存在的套刻误差的情况，有利于提高半导体结构的电学性能。
半导体结构及其形成方法

[发明专利]一种半导体器件及其制作方法、电子装置-CN201610017721.2有效
发明人：黄鹏;李俊;代洪刚;顾官官 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2016-01-12 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： H01L27/11521 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体器件的制作方法、半导体器件及电子装置，该制作方法包括：提供半导体衬底，在所述半导体衬底上形成有具有第一厚度的第一介电层，在第一介电层中形成有具有第一宽度的第一开口；在第一开口的两个侧壁上形成间隙壁；在第一开口中的半导体衬底上形成具有第二厚度的第二介电层；去除所述第一开口侧壁上的间隙壁，形成两个具有第二宽度的第二开口；步骤在所述第二开口中的半导体衬底上形成具有第三厚度的第三介电层；其中，所述第一宽度大于所述第二宽度，所述第一厚度、第二厚度大于所述第三厚度。该制作方法可以形成小尺寸的隧穿氧化层，且无需使用更先进的光刻工艺以及设备。该半导体器件和电子装置具有成本较低的优点。
一种半导体器件及其制作方法电子装置

[发明专利]存储器及其形成方法-CN201510271915.0有效
发明人： 代洪刚;李俊 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2015-05-25 - 公布日： 2019-07-02 - 主分类号： H01L27/11521 文献下载
摘要：本发明提供一种存储器及其形成方法，存储器的形成方法包括提供衬底；形成侧墙材料层；形成控制栅材料层；刻蚀控制栅材料层以形成控制栅；刻蚀部分位于衬底上的侧墙材料层，形成侧墙层；侧墙层位于衬底的部分的边缘具有缺口；形成填充缺口的绝缘填充层。存储器包括衬底；浮栅；位于浮栅上以及浮栅周围的部分衬底上的控制栅；位于浮栅和控制栅之间，以及衬底与控制栅之间的侧墙层；侧墙层位于衬底的部分的边缘具有缺口；填充侧墙层缺口的绝缘填充层。本发明的有益效果在于，在侧墙层的缺口处形成绝缘填充层，绝缘填充层能够填充缺口，进而可以较小发生电荷泄漏的几率，进而可以提升存储器的生产量率。
存储器及其形成方法

[发明专利]一种一次性到位的导正机构-CN201510550627.9有效
发明人：邱云生;代洪刚 -专利权人：福建奋安铝业有限公司
申请日： 2015-09-01 - 公布日： 2018-03-13 - 主分类号： H02S20/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种一次性到位的导正机构，包括用于分离连接螺栓和卡块螺母的连接机构，螺栓以可沿竖直方向移动的方式安装在连接机构的上部，卡块螺母以可沿竖直方向转动的方式安装在连接机构的下部，卡块螺母的厚度小于卡块螺母上表面的宽度。本发明在固定太阳能电池板时，固定支架T型槽的上壁的通槽的宽度需大于卡块螺母的厚度，安装时，先将卡块螺母旋转至能通过该T型通槽的角度，然后将卡块螺母直接从上方放入T型槽内，安装非常方便。
一种一次性到位导正机构

[发明专利]半导体器件的制备方法-CN201310041862.4有效
发明人： 代洪刚;李俊;张学海;施平 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2013-02-01 - 公布日： 2017-08-08 - 主分类号： H01L27/11521 文献下载
摘要：本发明揭示了一种半导体器件的制备方法，该制备方法包括提供基底，所述基底包含第一器件区以及第二器件区，所述第一器件区至少具有一非易失存储单元，所述非易失存储单元的栅极周围的所述第一器件区的表面具有因制备所述非易失存储单元的氮墙而形成的第一氮化物层，所述第二器件区具有自下至上依次层叠的第二器件氧化物层和第二器件多晶硅层；在所述基底上制备抗反射涂层；选择性刻蚀所述抗反射涂层和所述第二器件多晶硅层，以形成第二器件栅极；去除剩余的所述抗反射涂层和所述第一氮化物层。本发明的制备方法能够保证减少或避免在制备过程中对器件的损伤，从而提高良率。
半导体器件制备方法

[实用新型]一种一次性到位的导正机构-CN201520671450.3有效
发明人：邱云生;代洪刚 -专利权人：厦门大红阳能源科技有限公司
申请日： 2015-09-01 - 公布日： 2016-01-06 - 主分类号： H02S20/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种一次性到位的导正机构，包括用于分离连接螺栓和卡块螺母的连接机构，螺栓以可沿竖直方向移动的方式安装在连接机构的上部，卡块螺母以可沿竖直方向转动的方式安装在连接机构的下部，卡块螺母的厚度小于卡块螺母上表面的宽度。本实用新型在固定太阳能电池板时，固定支架T型槽的上壁的通槽的宽度需大于卡块螺母的厚度，安装时，先将卡块螺母旋转至能通过该T型通槽的角度，然后将卡块螺母直接从上方放入T型槽内，安装非常方便。
一种一次性到位导正机构

[发明专利]一种半导体器件的制备方法-CN201410045867.9在审
发明人：张学海;李俊;代洪刚;王孝远 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2014-02-08 - 公布日： 2015-08-12 - 主分类号： H01L21/762 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体器件的制备方法，所述制备方法至少包括步骤：在半导体衬底的有源区表面依次沉积垫氧化层和垫氮化层，刻蚀形成用于隔离相邻有源区的沟槽；采用刻蚀工艺将靠近所述沟槽的部分垫氮化层和垫氧化层刻蚀掉预设的厚度，露出部分有源区表面；填充绝缘材料至所述沟槽中形成浅沟道隔离结构；去除所述浅沟道隔离结构两侧的垫氮化层和垫氧化层暴露出所述浅沟道隔离结构两侧的有源区表面，在暴露的所述有源区表面生长栅氧；在所述栅氧表面沉积形成浮栅。本发明的制备方法中在进行绝缘材料填充之前对垫氮化层和垫氧化层的侧壁进行了一定厚度的刻蚀，使后续填充在沟槽中的绝缘材料可以覆盖于有源区的表面，保证有源区的拐角处有足够厚的绝缘材料覆盖，避免尖角效应发生。
一种半导体器件制备方法

[实用新型]一种太阳能电池板可调安放支架-CN201320000994.8有效
发明人： 代洪刚 -专利权人：厦门天环能源科技有限公司
申请日： 2013-01-04 - 公布日： 2013-08-07 - 主分类号： H01L31/042 文献下载
摘要：本实用新型公开一种太阳能电池板可调安放支架，包括基座、弧形梁、垫管、螺栓、固定块和枢轴，基座具有两个相对的座板，垫管通过枢轴架设在两个座板的中段之间，固定块通过枢轴架设在两个座板的上段之间，固定块上避开枢轴开设螺孔，螺栓锁拧在螺孔中，弧形梁穿插在固定块和垫管之间，借助螺栓挤压固定。本实用新型与现有技术相比，因为由弧形梁和基座配合的活动支架代替固定死的支架，所以，可通过转动弧形梁直接调节太阳能电池板，而且，角度调节范围，使得太阳能电池板的安放作业极为方便。
一种太阳能电池板可调安放支架

[实用新型]多功能太阳能支架-CN201020268231.8有效
发明人： 代洪刚 -专利权人：厦门清源光电有限公司
申请日： 2010-07-19 - 公布日： 2011-04-06 - 主分类号： F24J2/52 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多功能太阳能支架，包括固定结构及设置在固定结构上方的安装板，该安装板上设有若干锁孔；该固定结构包括分离的第一固定体及第二固定体，第一、第二两固定体的下方形成可夹于屋顶瓦片凸棱两侧的固定部，上方形成锁固部，该第一、第二固定体的锁固部之间设有相互配合的滑槽及滑杆；螺栓穿过第二固定体上的通孔而锁于第一固定体的螺孔内。该太阳能支架在安装时，滑槽及滑杆的配合可起到定位及支撑的作用，安装人员可轻松将螺栓穿过通孔及螺孔并锁紧，操作方便快捷。
多功能太阳能支架

[实用新型]太阳能板固定机构-CN201020274645.1无效
发明人： 代洪刚 -专利权人：厦门清源光电有限公司
申请日： 2010-07-19 - 公布日： 2011-04-06 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本实用新型公开一种针对无金属边框的太阳能板的固定机构，包括由不定长型材形成的主梁和与主梁配合的卡块；其中该卡块包括压盖、橡胶垫、挂勾主体、两挂钩、扭簧、抵压弹簧及锁栓；压盖两侧对称的设有耳片，各耳片下表面连接橡胶垫，两挂钩通过钮簧与挂勾主体枢接在一起，而锁栓是穿过压盖中部的锁孔、抵压弹簧而活动锁入挂勾主体中心的螺纹孔中；该主梁上端的承接面上设有橡胶条，而承接面的两侧设有供挂勾挂扣的卡沿。主梁上橡胶条的设置以及压盖上橡胶垫的设置，对玻璃材质的太阳能板锁紧的同时，不会破坏太阳能板，利用锁栓拉动挂勾主体实现挂勾与主梁的锁紧功能，结构简单，容易控制力度，太阳能板锁紧不会损坏，达稳固定位太阳能板的功能。
太阳能固定机构

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