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- [发明专利]OPC修正方法-CN202210154850.1在审
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付欣欣
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上海华力集成电路制造有限公司
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2022-02-21
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2023-08-29
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G03F1/36
- 本发明公开了一种OPC修正方法,包括:步骤一、提供初始目标层并设置掩模板最小解析尺寸;步骤二、在初始目标层中选择出在后续MBOPC修正中会违反掩模规则检查的第一图形;步骤三、对第一图形进行分段处理将第一图形的各边分割成多个分段,分段包括角分段和中间分段,分段处理后的初始目标层为第二目标层;步骤四、基于所述第二目标层进行MBOPC修正并得到掩模板图层,MBOPC修正包括多次迭代循环运算,各次迭代循环运算中,角分段和中间分段分开修正,通过角分段控制掩模板图层中第一图形的顶角尺寸,通过中间分段控制掩模板图层中第一图形的面积。本发明能实现对掩模板图层中的图形尺寸进行调控,能在不违反MRC的情况下,使曝光图形符合目标值并符合量产需求。
- opc修正方法
- [实用新型]开关触头结构-CN202222359644.2有效
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付欣欣;黄文体
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浙江正泰电器股份有限公司
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2022-09-06
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2023-02-10
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H01H1/00
- 本实用新型属于低压电器技术领域,公开了开关触头结构。开关触头结构包括支持件、安装架和触头组件,支持件的第一侧面上间隔设置有多个安装槽,每个安装槽内设置一个安装架,支持件的与第一侧面相垂直的第二侧面上设置有限位孔组,限位孔组与安装槽正对设置,包括两个限位孔。多个触头组件分别设置于限位孔组内并穿设安装架,触头组件包括两个接触板和两个弹片,两个接触板的两端伸出支持件,两个接触板相对设置,分别位于两个限位孔内,弹片连接于安装架上,且弹片的两端向接触板弯折并与接触板抵接相连,以使两个接触板的端部能够相互靠近或远离。通过将多个触头组件组装于同一支持件上,提高了开关触头结构在双电源开关中的装配效率。
- 开关结构
- [实用新型]一种高低压变频电机风机-CN202023043587.4有效
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付欣欣
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付欣欣
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2020-12-15
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2021-07-27
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H02K5/18
- 本实用新型公开了一种高低压变频电机风机,包括底座、安装定位孔、支撑块、电机本体、接线盒、固定螺栓、密封圈、保护壳、固定框、散热板、散热风机、散热孔、风机稳定杆、固定圈、散热片和连接板。通过在底座的顶面设置安装定位孔,从而便于安装固定电机本体,将保护壳的内壁和电机本体外壁通过固定螺栓固定连接,从而便于拆卸有利于后期维护,通过在电机本体和保护壳的交接处设置密封圈,避免电机本体在工作时保护壳和电机本体之间产生磨损时间久远导致松和,延长装置使用寿命。
- 一种低压变频电机风机
- [实用新型]一种用于电气自动化控制系统的终端控制柜-CN202023057062.6有效
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付欣欣
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付欣欣
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2020-12-15
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2021-07-27
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H02B1/54
- 本实用新型公开了一种用于电气自动化控制系统的终端控制柜,包括柜体、防护结构和拆分结构,所述柜体前侧固定有触摸屏,所述柜体侧边开设有与散热窗;所述防护结构包括防护板,所述触摸屏两侧的柜体上皆固定有滑轨。通过防护板对触摸屏进行保护,避免触摸屏在不使用时误触下达错位指令,提高柜体使用时的稳定性,且通过移动杆和第一弹簧配合,对触摸屏进行缓冲保护,避免触摸屏受到撞击时损坏,通过固定块和移动块配合,方便将窗体拆下进行清洗,解决了现有的柜体在使用时窗体拆分清洗较为不便的问题,避免因窗体上的灰尘堆积较多影响散热的问题,提高了柜体的实用性。
- 一种用于电气自动化控制系统终端控制
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