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[发明专利]一种提升管内壁磁控溅射镀膜结合力的方法-CN202211104017.2在审
发明人：王江;付天佐;钟轶强;陈义武;孟树文;田振刚;李鸿亚;周利华;唐江科;陈江;程元芬;雷震 -专利权人：中核四0四有限公司
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种提升管内壁磁控溅射镀膜结合力的方法。本发明首先去除管工件表面锈斑、油渍和灰尘，后处理得到预处理件；然后将预处理件装炉后高真空烘烤去除预处理件表面吸附的气体和残留有机物；最后将高真空烘烤的预处理件经柱靶磁控溅射镀膜后从炉中取出。本发明的一种提升管内壁磁控溅射镀膜结合力的方法通过细化管工件预处理流程，获得了更加洁净的管工件表面，同时在试验前增加管工件高真空烘烤步骤，在预处理的基础上进一步清洁管工件表面，除去了管工件表面吸附的气体及油污，有利于提高薄膜结合力，还提高了镀膜开始前管工件表面的温度，这也有利于溅射的靶材原子与管工件紧密结合。
一种提升内壁磁控溅射镀膜结合方法

[实用新型]一种放射性靶材磁控溅射镀膜的气溶胶防护装置-CN202222286925.X有效
发明人： 付天佐;王江;孟树文;陈义武;钟轶强;刘金生;程元芬;王悦;周利华 -专利权人：中核四0四有限公司
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及磁控溅射镀膜技术领域，尤其是涉及一种放射性靶材磁控溅射镀膜的气溶胶防护装置，包括磁控溅射装置，所述磁控溅射装置周围搭建有密封的气帐，所述气帐将所述磁控溅射装置处于一个密封空间，所述气帐连接有排风系统，所述排风系统用于置换所述气帐内的气体。本实用新型通过在镀膜腔体中增加衬板以及氩气置换功能，通过在镀膜设备外搭建气帐，并配备进排风系统，这样使得镀膜腔体中可能产生的放射性气溶胶经历两次气氛置换，大幅度降低了人员的受照剂量，使得人员能够正常操作放射性磁控靶材。
一种放射性磁控溅射镀膜气溶胶防护装置

[实用新型]一种用于磁控溅射放射性逸散粒子的捕集组件-CN202222286156.3有效
发明人：陈义武;钟轶强;王江;付天佐;程元芬;孟树文;田振刚;刘金生 -专利权人：中核四0四有限公司
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及磁控溅射装备技术领域，尤其是涉及一种用于磁控溅射放射性逸散粒子的捕集组件，配合圆柱形真空室使用，包括支撑结构，所述支撑结构的外侧设有柔性薄膜，所述支撑结构位于真空室内部且所述柔性薄膜固定在所述真空室内壁及所述支撑结构之间。本实用新型的捕集组件，能够实现放射性靶材磁控溅射镀膜过程中，真空室内壁的屏蔽，降低放射性靶材物质对真空室的污染，同时收集了沉积在真空室的放射性靶材物质，减少了放射性固体废物量，降低了放射性靶材物质回收的难度。
一种用于磁控溅射放射性粒子组件

[发明专利]一种基于磁控溅射的镀膜系统及方法-CN202211138872.5在审
发明人：王江;付天佐;钟轶强;陈义武;程元芬;孟树文;田振刚 -专利权人：中核四0四有限公司
申请日： 2022-09-19 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供一种基于磁控溅射的镀膜系统及方法，其中，所述系统包括：支撑单元，所述支撑单元设置于镀膜所需的真空腔室内，所述支撑单元外部环设有永磁铁，所述永磁铁在靶材表面形成跑道形的封闭磁场；靶材，所述靶材环设于所述永磁体的外部；待镀膜管道，所述待镀膜管道套设于所述靶材的外部，且所述待镀膜管道的一端通过夹具与所述真空腔室固定连接；电源，所述电源与所述靶材电连接，所述靶材通电后，在真空腔室内产生电场，在所述永磁铁产生的磁场及电场的作用下，所述靶材表面的原子逸出并溅射到所述待镀膜管道的内壁成膜。本发明提供的方案，可以提高镀膜时薄膜厚度的均匀性。
一种基于磁控溅射镀膜系统方法

[发明专利]一种镀放射性金属薄膜的方法及镀膜管材-CN202211142384.1在审
发明人：周利华;付天佐;王江;杨廷贵;朱盈喜;杨强;李鸿亚;陈义武;雷震;钟轶强;陈江;赵宝玲 -专利权人：中核四0四有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供一种镀放射性金属薄膜的方法及镀膜管材，所述镀放射性金属薄膜的方法，包括：取待镀膜管材，将磁控溅射镀膜的柱靶置入所述待镀膜管材的管内，在真空度‑10～50Pa下进行磁控溅射镀膜；其中，所述柱靶为放射性金属制成，呈空心管状，且柱靶的外径小于所述待镀膜管材的内径。通过将空心管状的柱靶置于所述待镀膜管材的管内，进行磁控溅射镀膜，可实现在待镀膜管材的内壁上进行镀膜，而待镀膜管材的外壁并不沉积金属，尤其是柱靶的外径小于所述待镀膜管材的内径，能够对各种小孔径的待镀膜管材的内壁进行镀膜，且薄膜均匀、结合力较好。
一种放射性金属薄膜方法镀膜管材

[发明专利]一种磁控溅射炉体及基于磁控溅射炉体的管道镀膜方法-CN202211142456.2在审
发明人：周利华;杨廷贵;朱盈喜;李鸿亚;王江;付天佐;华强;牛书通;雷震;陈江;李文腾;姜岳峰;赵宝玲;赵红 -专利权人：中核四0四有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供一种磁控溅射炉体及基于磁控溅射炉体的管道镀膜方法，磁控溅射炉体包括：具有中空腔体的圆柱炉体；所述中空腔体内部具有待镀膜管道；贯穿所述待镀膜管道的靶材；缠绕在所述圆柱炉体外部的电磁铁，所述电磁铁通电后在所述圆柱炉体外部形成均匀的磁场；偏压电源，所述偏压电源的一端与所述靶材电连接，另一端与待镀膜管道电连接；所述偏压电源为所述靶材供电时，所述靶材在所述磁场的作用下，所述靶材的表面的原子逸出，溅射到所述待镀膜管道的管道内壁成膜。本发明的方案可以在进行管道的内壁镀膜时有效地提升靶材的利用率，减少了靶材的浪费。
一种磁控溅射基于管道镀膜方法

[发明专利]一种磁控溅射用薄壁圆筒工件的夹具及装夹方法-CN202211080665.9在审
发明人：陈义武;刘金生;党文君;孟树文;付天佐;程元芬;王江;钟轶强 -专利权人：中核四0四有限公司
申请日： 2022-09-05 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及磁控溅射技术领域，尤其是涉及一种磁控溅射用薄壁圆筒工件的夹具及装夹方法。该夹具包括：夹具筒体、夹具底盖和夹具法兰；夹具法兰安装于夹具筒体的上端；夹具底盖安装于夹具筒体的下端；夹具底盖的下端面设有中心通孔，中心通孔的直径小于夹具底盖的下端面的直径。本发明的夹具便于拆卸、安装、装夹，能够有效地减少安装过程对薄壁圆筒工件结构的损坏，保证薄壁圆筒工件与柱靶良好的同轴度，同时也能够对薄壁圆筒工件的外壁起到良好的遮挡，减少人员工作量，提高工作效率。
一种磁控溅射薄壁圆筒工件夹具方法

[发明专利]一种稀土金属镀层扫描电镜截面试样精密磨样装置及方法-CN202211028345.9在审
发明人：雷震;李鸿亚;周利华;陈江;李文腾;牛书通;姜岳峰;华强;付天佐;王江;钟轶强;陈义武 -专利权人：中核四0四有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G01N23/2202 文献下载
摘要：本发明提供了一种稀土金属镀层扫描电镜截面试样精密磨样装置及方法，包括手套箱和磨样装置，所述磨样装置设置在所述手套箱内部，所述手套箱连接有氩气循环装置。本发明通过将磨样装置集成在手套箱内部，外接流动氩气来代替水的冷却作用而完成试样制备。该制备方法操作较简单、效率高，可有效解决稀土金属镀层在磨样和抛光过程中因水流的冲刷和反应而产生断裂、剥落、氧化及变质等问题，从而全面保留稀土金属镀层微观结构，有助于SEM表征分析。
一种稀土金属镀层扫描电镜截面试样精密装置方法

[发明专利]一种稀土金属镀层金相试样磨抛夹具及其使用方法-CN202211028356.7在审
发明人：雷震;李鸿亚;周利华;陈江;李文腾;牛书通;姜岳峰;华强;付天佐;王江;钟轶强;陈义武 -专利权人：中核四0四有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G01N1/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种稀土金属镀层金相试样磨抛夹具及其使用方法，包括圆环状的内夹紧环和外夹紧环，所述内夹紧环设置在所述外夹紧环的内部，所述内夹紧环的外壁以及所述外夹紧环的内壁均设有磨砂橡胶，所述内夹紧环的内部设有扩张装置。本发明夹具可代替镶样材料直接固定试样，省去了冷镶时树脂材料的凝固时间，既节约了成本也提高了制样速率。在外夹紧环内壁和内夹紧环外壁附有柔性磨砂橡胶可增大摩擦力，从而避免磨抛过程中试样的晃动，保证表面的平整度。能够有效抑制磁控溅射稀土金属镀层的剥落或剥离，也消除了金相组织界面产生的“飞边”问题，达到了预期的技术效果。
一种稀土金属镀层金相试样夹具及其使用方法

[实用新型]一种电弧炉除氧排气装置-CN202221084913.2有效
发明人：王悦;周利华;吴鑫祥;付天佐;张超;华强;陈义武;刘金生;马慧;王海龙 -专利权人：中核四0四有限公司
申请日： 2022-05-06 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： F27B14/04 文献下载
摘要：本实用新型属于冶炼设备技术领域，具体涉及一种电弧炉除氧排气装置。包括排气罩和钛锭，钛锭设置在电弧炉内，排气罩底部与电弧炉盖连接，排气罩顶部为电极安装口，排气罩一端连接氩气入口，排气罩另一端连接排气口。保证电弧高温电极熔炼过程中快速自由升降的同时阻止空气或者炉气自由出入电极孔，对氧气要求较高的炉内环境除氧。
一种电弧炉排气装置

[发明专利]一种放射性靶件的制造方法及系统-CN202211074646.5在审
发明人：王江;付天佐;钟轶强;陈义武;程元芬;党文君;刘金生;孟树文;史鹏鹏;房政军 -专利权人：中核四0四有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供一种放射性靶件的制造方法及系统，涉及磁控溅射领域，解决了放射性靶件制造过程中的材料的利用率低，加工过程中产生的切屑回收难度大、回收代价高等问题。该放射性靶件的制造方法，包括：提供一毛坯件浇铸模具，所述毛坯件浇铸模具具有浇铸型腔；将熔融态的放射性材料置入所述浇铸型腔中进行冷却成型，得到第一毛坯件；对所述第一毛坯件进行切削加工，获得放射性靶件。本发明的方案提高了放射性靶件制造过程中材料的利用率，减少了制造过程中切屑的生成量，降低了切屑回收的代价。
一种放射性制造方法系统

[发明专利]一种密闭空间内剧毒气体的检测装置-CN202210980957.1在审
发明人： 付天佐;钟轶强;孟树文;田振刚;周利华;李天福;邹晓禹;王悦;王江 -专利权人：中核四0四有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明涉及气体检测技术领域，且公开了一种密闭空间内剧毒气体的检测装置，包括密封箱体，密封箱体上设置有仓门，还包括进气阀，密封箱体的顶部设置有进气阀，密封箱体的底部设置有第一排气阀，进气阀的排气端与第一排气阀的进气端通过芯管连通。该密闭空间内剧毒气体的检测装置，通过密封箱体配合真空泵、进气阀、第一排气阀、第二排气阀、芯管、三通管、取样阀、取样管和气体检测组件对待测密闭空间内部气体进行抽取及检测，从而避免气体在检测过程中与人员接触而引发安全事故的情况发生，同时通过芯管与密封箱体双腔体便于控制流过气体检测组件的气压差，实现简单方便高精度检测及高安全性的效果。
一种密闭空间剧毒气体检测装置

[发明专利]一种远程等离子体源发生装置-CN202210968057.5在审
发明人： 付天佐;钟轶强;孟树文;李天福;邹晓禹;周利华;王悦;王江 -专利权人：中核四0四有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及等离子体处理技术领域，且公开了一种远程等离子体源发生装置，包括连接法兰，连接法兰用于与薄膜沉积腔体连接。该远程等离子体源发生装置，通过外部抽真空装置对薄膜沉积腔体进行抽真空，避免该等离子体源发生装置内部存留其余气体而造成等离子体发生污染，再通过进气组件精准控制流入直管段内的气源，并通过放电组件对气体进行电感耦合放电式或者电容耦合放电式，从而使得气源发生等离子体启辉并与薄膜沉积腔体内的半导体或者集成电路基体表面发生薄膜沉积，同时通过弯管段对输入直管段内的气体进行过渡，避免直管段内的等离子体与金属连接件直接轰击而造成等离子体发生污染，达到简单方便多级防污染及精准控制薄膜沉积效果。
一种远程等离子体发生装置

[发明专利]用于反重力铸造超高温熔体感应加热的复合涂层制备方法-CN202111661276.0在审
发明人：吴鑫祥;周利华;付天佐;赵红;周玉海;孟津涛;张覃;练永永 -专利权人：中核四0四有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： C04B41/89 文献下载
摘要：本发明属于复合涂层制备技术领域，具体涉及用于反重力铸造超高温熔体感应加热的复合涂层制备方法。本发明的主要技术手段是通过等离子体喷涂制备各向同性高热膨胀系数石墨/Nb/ZrO2/Y2O3和各向同性高热膨胀系数石墨/Nb/Y2O3涂层。本发明能够形成均匀无孔隙的耐高温复合涂层，该涂层在等离子体喷涂和激光熔覆共同作用下可具有更加优良的抗热震性和抗氧化性能，能经受高达1450‑1800℃的高温熔体的多次熔炼，用于注射铸造工艺流程中可靠的高性能石墨坩埚涂层。
用于重力铸造超高温感应加热复合涂层制备方法

[外观设计]扫描枪（快递包裹）-CN201930644742.1有效
发明人：康楚才;郭海丰;凌中澳;付天佐 -专利权人：辽宁科技学院
申请日： 2019-11-19 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： 14-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：扫描枪(快递包裹)。2.本外观设计产品的用途：用于扫描录入快递信息。3.本外观设计的设计要点：在于形状和色彩的结合。4.最能表明设计要点的图片或者照片：立体图。5.请求保护的外观设计包含色彩。
扫描快递包裹

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