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- [发明专利]基板清洗装置-CN201310185238.1无效
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今井正芳
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株式会社荏原制作所
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2013-05-17
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2013-12-04
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H01L21/67
- 一种基板清洗装置，具有：处理室（40），在内部具有将基板表面向上地水平保持、向一个方向输送的基板输送部（30）；清洗部（50、52），向在处理室（40）内移动的基板的表面供给清洗液、非接触地清洗该表面；以及非活性气体吹送部（64、66），分别向由清洗部（50、52）清洗的基板的表面以及背面吹送非活性气体、一边用非活性气体干燥基板一边使处理室（40）内成为非活性气体环境。即使是表面是疏水性的大口径基板，也能够更均匀高效地清洗基板的全部表面，而且能够通过比较简易的结构尽可能防止因作为配线金属而采用的铜和纯水等接触所造成的腐蚀。
- 清洗装置
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