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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于低压环境的灯驱动器-CN201680003959.8有效
发明人：欧勒格·V·塞雷布里安诺夫;亚历山大·戈尔丁;约瑟夫·M·拉内什 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-01-04 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开内容的实施方式涉及用于在热处理腔室中作为热辐射源的灯的灯驱动器。灯驱动器包括电源、至少两个DC/DC转换器、至少两个DC/DC转换器之间的直接连接、以及附接至直接连接且可附接至基准电压的接线，每个DC/DC转换器与电源串联。多个灯驱动器可用来为定位于接地灯头组件中的多个灯供电。灯与接地灯头组件之间的电位减少，其减少了灯与灯头组件之间产生电弧的风险。
用于低压环境驱动器

[发明专利]灯泡故障检测器-CN201610423837.6有效
发明人：欧勒格·塞雷布里安诺夫;亚历山大·戈尔丁 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-06-22 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供用于检测在快速热处理(RTP)工具中的灯泡故障的设备和方法。本发明提供灯泡故障检测系统，该灯泡故障检测系统可容纳DC和/或AC电压。系统沿着电路路径采样电压信号，该电路路径由至少两个串联连接的灯泡形成；基于采样的电压信号来计算横跨于至少两个串联连接的灯泡中的第一灯泡的电压降；和基于横跨于第一灯泡的电压降与施加至电路路径的总电压之间的关系来确定灯泡故障是否已发生。
灯泡故障检测器

[发明专利]高效率高准确度加热器驱动器-CN201410718136.6有效
发明人： 亚历山大·戈尔丁;欧勒格·V·塞雷布里安诺夫 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2011-02-18 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明揭示了一种快速热处理腔室，所述快速热处理腔室具有灯具驱动电路，灯具驱动电路包含两个晶体管和两个二极管。快速热处理腔室包含多个卤素灯具、灯具驱动器、测量晶片温度的温度传感器以及连接至温度传感器和灯具驱动器的温度控制器，温度控制器提供控制信号给灯具驱动器，控制信号为晶片温度与期望温度的函数。灯具驱动器包含由控制信号控制的两个晶体管，使得供应给多个卤素灯具的功率的功率因数(power factor)在0.9到1之间的范围。
高效率准确度加热器驱动器

[发明专利]用于基板处理的直流灯驱动器-CN201380021876.8有效
发明人：欧勒格·塞雷布里安诺夫;约瑟夫·M·拉内什;亚历山大·戈尔丁 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2013-04-22 - 公布日： 2017-03-01 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本文提供用于在处理腔室内加热基板的方法及设备。在一些实施例中，一种用于在处理腔室内加热基板的设备包括灯群组，所述灯群组包含一或更多组灯，用于在基板设置于处理腔室内时提供辐射能来加热所述基板，其中每组灯包含多个串联线接的灯，且其中每组灯相对于所述一或更多组灯中的其他组灯并联线接；交流(AC)电源，所述交流电源用于产生交流输入波形；以及灯驱动器，所述灯驱动器用于为灯群组供电，灯驱动器包括整流器，所述整流器耦接至交流电源以将交流输入波形转换成直流电压；以及直流‑直流(DC/DC)变换器，所述直流‑直流变换器用于降低直流电的电压。
用于处理直流驱动器

[发明专利]灯泡故障检测器-CN201280027749.4有效
发明人：欧勒格·塞雷布里安诺夫;亚历山大·戈尔丁 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-06-22 - 公布日： 2014-03-05 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供用于检测在快速热处理(RTP)工具中的灯泡故障的设备和方法。本发明提供灯泡故障检测系统，该灯泡故障检测系统可容纳DC和/或AC电压。系统沿着电路路径采样电压信号，该电路路径由至少两个串联连接的灯泡形成；基于采样的电压信号来计算横跨于至少两个串联连接的灯泡中的第一灯泡的电压降；和基于横跨于第一灯泡的电压降与施加至电路路径的总电压之间的关系来确定灯泡故障是否已发生。
灯泡故障检测器

[发明专利]高效率高准确度加热器驱动器-CN201180009496.3有效
发明人： 亚历山大·戈尔丁;欧勒格·V·塞雷布里安诺夫 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2011-02-18 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本发明揭示了一种快速热处理腔室，所述快速热处理腔室具有灯具驱动电路，灯具驱动电路包含两个晶体管和两个二极管。快速热处理腔室包含多个卤素灯具、灯具驱动器、测量晶片温度的温度传感器以及连接至温度传感器和灯具驱动器的温度控制器，温度控制器提供控制信号给灯具驱动器，控制信号为晶片温度与期望温度的函数。灯具驱动器包含由控制信号控制的两个晶体管，使得供应给多个卤素灯具的功率的功率因数(power factor)在0.9到1之间的范围。
高效率准确度加热器驱动器

[发明专利]灯故障检测器-CN200810000075.4有效
发明人：欧勒格·V·塞雷布里安诺夫;亚历山大·戈尔丁;约瑟夫·迈克尔·拉尼什 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2008-01-04 - 公布日： 2008-07-09 - 主分类号： H05B37/03 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于为快速热处理系统中使用的灯组检测灯故障的装置和方法。该灯故障检测系统使能识别多个灯中的失效灯，并还提供故障类型的识别。该装置对经过每个灯测得的电压降值应用灯故障检测方法来确定灯是否处于故障状态。在一个实施方式中，场可编程门阵列用于对灯电压值应用故障检测方法。
故障检测器

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