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[发明专利]用于减少的制造环境占用空间的竖直多批次磁性退火系统-CN201880037487.7有效
发明人：伊恩·科尔根;伊万·多姆沙;乔治·艾尔斯;齐藤诚;诺埃尔·奥肖内西;石井彻;大卫·赫尔利 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-05-04 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：描述了关于使用竖直多批次直立磁性退火系统来处理微电子工件的退火系统和相关方法的实施方式，该磁性退火系统允许多个退火系统的并排配置以满足减小的占用空间要求。
用于减少制造环境占用空间竖直批次磁性退火系统

[发明专利]水平式衬底舟皿-CN201980017669.2在审
发明人：伊万·多姆绍;伊恩·科尔根;斋藤诚;山崎满;乔治·艾尔斯 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-03-07 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：提供了一种水平式衬底承载装置，例如用于在水平式热处理期间保持半导体衬底的承载装置。水平式衬底承载装置具有不对称放置的支承导轨。水平式衬底承载装置的一侧没有上导轨，而水平式衬底承载装置的另一侧具有在相对高位置处放置的上导轨，例如处于60°或更大的角位置，更优选地处于70°或更大的角位置，并且最优选地处于90°的角位置。没有上导轨的一侧可以用于水平式衬底承载装置的机械手装载。在优选实施方式中，设置了仅三个导轨：两个下导轨以及在一侧的一个上导轨。这三个导轨的使用和放置可以将衬底保持在精确均匀的位置，使衬底移动最小化，并且使颗粒生成最小化，与此同时还使得能够轻松进行机械手接近。
水平衬底舟皿