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[发明专利]光刻胶剥离液及其制备方法和光刻胶的剥离方法-CN202310920753.3在审
发明人：张伟明;李玉兴;聂航;章学春;沈楠 -专利权人： 上海盛剑微电子有限公司
申请日： 2023-07-25 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明涉及光刻胶的去除技术领域，具体而言，涉及光刻胶剥离液及其制备方法和光刻胶的剥离方法，光刻胶剥离液包括醇醚类物质40.00％‑90.00％、非极性物质5.00％‑20.00％、烷醇胺类物质0.50％‑10.00％、金属保护剂0.01％‑2.00％、余量为水。光刻胶的剥离方法包括用上述光刻胶剥离液在预设温度下，剥离基材上的光刻胶。本发明的光刻胶剥离液能够有效地将环状变性物从基板上去除，改善因光刻胶残留导致膜层与膜层之间的衔接，即改善因光刻胶的残留对半导体器件的特性造成不良影响；而且，本发明配套光刻胶剥离液的方法也能够确保环状变性物被可靠地去除。
光刻剥离及其制备方法

[实用新型]一种湿法制程装置及产线模拟系统-CN202320458201.0有效
发明人：张伟明;沈楠;聂航;章学春;李玉兴 -专利权人： 上海盛剑微电子有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型的实施例提供了一种湿法制程装置及产线模拟系统，涉及湿法制程领域。该湿法制程装置包括壳体、输送件、第一喷出件和第二喷出件；其中，输送件、第一喷出件以及第二喷出件设置于壳体，第一喷出件和第二喷出件分别设置于输送件的两侧，第一喷出件用于喷出湿电子化学品，第二喷出件用于喷出清洁介质。输送件用于输送供给产品，壳体则用于起到遮挡保护的作用，第一喷出件通过喷出湿电子化学品对各个工艺进行模拟，第二喷出件用于在工艺切换过程中喷出清洁介质，减少前工艺的湿电子化学品残留，避免不同的湿电子化学品相接触影响产品质量，进而确保整体产品的合格率。该产线模拟系统包括湿法制程装置，具备湿法制程装置的全部功能。
一种湿法装置模拟系统

[发明专利]掩膜版设计方法及掩膜版-CN202310753931.8在审
发明人：张伟明;沈楠;聂航;章学春;李玉兴 -专利权人： 上海盛剑微电子有限公司
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G03F1/70 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜版设计方法及掩膜版，涉及掩膜版设计技术领域。方法包括：S1：获取掩膜版上设计的图形；S2：判断掩膜版上图形的各个区域的图形密度相对于所有区域中图形密度的最大值的差值是否在预设范围内；预设范围为0～30％；若判定各个区域的图形密度的差值在预设范围内，则无须调整掩膜版上设计的图形；若判定各个区域的图形密度的差值不在预设范围内，则执行S3：在掩膜版的图形中，确定低密度图形区域；S4：在低密度图形区域填充图案，提高掩膜版上图形的均匀性。该方法在根源上解决了因图形密度不同而导致的基板图形均匀性差的问题，提升了产品生产过程中的工艺稳定性，既可以提升产品良率。
掩膜版设计方法

[发明专利]一种光致抗蚀剂剥离液及其制备方法与应用-CN202310390143.7在审
发明人：张伟明;李玉兴;聂航;章学春;沈楠 -专利权人： 上海盛剑微电子有限公司
申请日： 2023-04-12 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种光致抗蚀剂剥离液及其制备方法与应用，属于光致抗蚀剂清洗技术领域。按质量份数计，光致抗蚀剂剥离液包括40.00份‑70.00份的醇醚类溶剂、25.00份‑55.00份的酰胺类溶剂、1.00份‑20.00份的烷醇胺类、0.10份‑2.00份的pH调节剂以及0.01份‑2.00份的金属保护剂。该光致抗蚀剂剥离液为水系不含环境危害型的有机溶剂的剥离液，其能有效抑制Al金属层腐蚀，并且，通过使用pH调节剂，避免了玻璃基板金属配线的腐蚀问题，同时组分中不含表面活性剂，解决了剥离液使用过程中泡沫大的问题。该光致抗蚀剂剥离液的制备方法简单，直接将各成分按配比混合即可。
一种光致抗蚀剂剥离及其制备方法应用

[发明专利]一种蚀刻液及其制备方法与应用-CN202310395606.9在审
发明人：张伟明;聂航;章学春;沈楠;李玉兴 -专利权人： 上海盛剑微电子有限公司
申请日： 2023-04-12 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： C23F1/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种蚀刻液及其制备方法与应用，属于蚀刻剂技术领域。按质量百分数计，该蚀刻液包括2.00‑15.00wt％的过氧酸、2.00‑15.00wt％的有机酸A及2.00‑25.00wt％的有机酸B，余量为水；有机酸A包括甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、辛酸、己二酸、乙二酸、丙二酸及苯甲酸中的至少一种；有机酸B包括甲基磺酸、苹果酸、柠檬酸、马来酸及酒石酸中的至少一种。通过以上述蚀刻液对银与ITO膜构成的多层膜的银进行刻蚀，不仅避免了使用磷酸所导致的对基板中钛铝钛层有一定的损伤且不利于环保的问题，而且可有效去除ITO/Ag/ITO结构，形成优异的轮廓，没有银与ITO残渣，也无Ag的再吸附现象发生。
一种蚀刻及其制备方法应用

[实用新型]一种混配设备-CN202223313690.5有效
发明人：张伟明;郑自豪 -专利权人： 上海盛剑微电子有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： B01F35/82 文献下载
摘要：本实用新型的实施例提供了一种混配设备，涉及化学品混配技术领域。该混配设备包括混配储罐、至少两个计量罐及至少两个原料桶，每个计量罐和混配储罐均连通，每个原料桶和每个计量罐连通，其中，每个原料桶装可以装有不同的化学品，并将不同化学品分别输送到不同的计量罐中，由于计量罐能够预先精准收集混配需要的化学品量，进而可以精确控制加入到混配储罐的化学品量。
一种设备

[实用新型]一种化学品供液装置-CN202223337268.3有效
发明人：张伟明;方智翔 -专利权人： 上海盛剑微电子有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H05K5/02 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供的一种化学品供液装置，涉及化学品输送技术领域。化学品供液装置包括支架及流路组件。支架包括四个支撑腿、侧台以及底台，四个支撑腿与底台连接，侧台与底台远离支撑腿的一侧连接，支撑腿、侧台及底台形成的支架大致呈“太师椅”状，具有较强的稳定性，因此，安装在支架上的流路组件具有较强的稳定性，因此在外部液体输入流路组件的进液入口时液体对支架的冲击波不容易引起支架的抖动，保证整个装置处于稳定状态，进而避免引起仪器仪表受到影响，进而避免出现读数误差。
一种化学品装置

[发明专利]一种蚀刻剂、其制备方法及应用-CN202310084556.2在审
发明人：张伟明;聂航;章学春;沈楠;李玉兴 -专利权人： 上海盛剑微电子有限公司
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： C23F1/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种蚀刻剂、其制备方法及应用，涉及蚀刻用组合物技术领域。蚀刻剂中含有过氧化氢、氟化物、蚀刻抑制剂、螯合剂、蚀刻稳定剂和角度改善剂，通过组成和配比的优化，能够同时蚀刻铜和钼铌金属层，简化蚀刻步骤，提高生产效率；该蚀刻剂随着金属铜离子的增加，也能够保证锥角的稳定性。
一种蚀刻制备方法应用

[外观设计]化学品充装机-CN202230767343.6有效
发明人：张伟明;张桂华 -专利权人： 上海盛剑微电子有限公司
申请日： 2022-11-17 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： 15-10 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：化学品充装机。2.本外观设计产品的用途：用于充装化学品。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
化学品装机

[实用新型]一种储罐安装装置-CN202223281009.3有效
发明人：张伟明;普建成 -专利权人： 上海盛剑微电子有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B65D90/12 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种储罐安装装置，设计大型装置安装运输技术领域。储罐安装装置包括安装座及支撑件。安装座用于固定储罐，支撑件与安装座连接且与安装座共同限定出供货叉插入的连接空间。在需要将储罐搬运时，可以先将储罐固定安装在安装座上，进而再通过带货叉的搬运装置实现对储罐进行运输。能够通过本实施例提供的储罐安装装置降低搬运储罐的难度。
一种安装装置

[实用新型]一种智能防护服-CN202223165165.3有效
发明人：张伟明;鲍坤 -专利权人： 上海盛剑微电子有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： A62B17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种智能防护服，涉及化工防护服技术领域。该智能防护服包括防护头盔、防护鞋、防护手套及连体衣裤，防护头盔设置有气体传感器及扬声器，气体传感器用于检测空气中的目标气体信息，防护鞋设置有液体传感器及报警灯，液体传感器用于检测地面的目标液体信息，扬声器与报警灯分别用于在目标气体信息表征目标气体泄漏时或目标液体信息表征目标液体泄漏时发出声音报警与灯光报警。本实用新型提供的智能防护服能够及时检测并提醒操作人员物料泄漏，提升安全性。
一种智能防护服

[实用新型]一种存放玻璃的机架-CN202223251552.9有效
发明人：张伟明;季增伟 -专利权人： 上海盛剑微电子有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： B65D6/08 文献下载
摘要：本实用新型的实施例提供了一种存放玻璃的机架，涉及机架技术领域。该存放玻璃的机架包括底座以及支架，支架设置于底座上，支架上设置有至少两个用于支撑玻璃的放置杆，至少一个放置杆沿竖向可移动地设置于支架上，其能够提升机架的适配度，以减少机架所占面积。
一种存放玻璃机架

[实用新型]吸液耙及废液处理系统-CN202223110156.4有效
发明人：张伟明;鲍坤 -专利权人： 上海盛剑微电子有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： A47L11/30 文献下载
摘要：本实用新型的实施例提供了一种吸液耙及废液处理系统，涉及液体处理领域。该吸液耙包括盖挡件、传导件以及至少两个侧挡件；其中，至少两个侧挡件可拆卸连接于盖挡件，以使侧挡件和盖挡件围合形成集液腔，传导件设置有传导腔，传导腔用于外接负压发生器，并且传导腔与集液腔连通。侧挡件和盖挡件围合形成集液腔，传导腔外接负压发生器对集液腔和地面之间的溶液进行抽吸，相对于人工拖干能够降低劳动强度；并通过侧挡件和盖挡件的可拆卸连接保证整体结构的灵活性，避免长期使用后发生变形而影响抽吸效果；即便出现不可恢复的变形也能通过分体式结构降低维护成本。
吸液耙废液处理系统

[外观设计]化学品输送柜-CN202230740021.2有效
发明人：张伟明;徐聪 -专利权人： 上海盛剑微电子有限公司
申请日： 2022-11-07 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： 06-04 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：化学品输送柜。2.本外观设计产品的用途：用于高纯化学品输送的专业设备。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
化学品输送

[实用新型]一种储液装置-CN202223105222.9有效
发明人：张伟明;段斌 -专利权人： 上海盛剑微电子有限公司
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： B65D90/10 文献下载
摘要：本实用新型的目的在于提供一种储液装置，涉及储存设备技术领域。开闭组件包括连杆以及挡板。连杆可转动地设置于罐体，且连杆的一端设置于腔体内，另一端设置于罐体外，挡板与连杆位于腔体内的一端连接，挡板用于关闭或导通出液口。通过在连杆的带动下使挡板有效地打开或关闭出液口，从而方便对阀门或罐体进行维修或检修作业；因此，本实用新型结构简单，成本低廉，显著提高了储液装置的安全性以及可靠性。
一种装置

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