专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]碳化硅复合晶圆及其制造方法-CN202110617448.8在审
  • 曾彦凯;江柏萱 - 鸿创应用科技有限公司
  • 2021-05-27 - 2022-11-29 - H01L21/02
  • 本发明为一种碳化硅复合晶圆及其制造方法,适用于半导体制程程序、电子产品及半导体设备所需。该碳化硅复合晶圆包含一碳化硅材料及一晶圆基底,该晶圆基底的上表面结合于该碳化硅材料的下表面,其中,该碳化硅材料的下表面及该晶圆基底的上表面两者或任一经表面改质,使该碳化硅材料与该晶圆基底直接紧密接合。本发明的功效在于该复合晶圆不同材料间接合处的接合能力强,后续加工处理较容易,材料间彼此紧密结合的状态下能缩短制程并且提高良率,产业利用性高。
  • 碳化硅复合及其制造方法

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