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[发明专利]一种用于清理热场石墨件的激光设备及其使用方法-CN202310943813.3有效
发明人：米家东;侯全庆;毕喜行;马腾飞;汪奇 -专利权人： 高景太阳能股份有限公司;四川高景太阳能科技有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及单晶硅加工技术领域，具体涉及一种用于清理热场石墨件的激光设备及其使用方法，本设备采用移动平台便于工作人员将整个设备进行转移搬运；摆臂的设计，便于工作人员对于不同热场石墨件的位置进行相应调整，提高了使用的便利性。利用旋转架带动激光装置围绕热场石墨件转动，配合激光装置射出的激光的进行清理，清理过程高效。激光装置与热场石墨件之间采用无接触式的清理方式，可以避免清理过程对热场石墨件的损坏。设计升降装置来调节激光装置的高度，这样可以适应不同高度的热场石墨件的表面清理；而利用旋转机构来调节激光装置的空间摆角，便于清理热场石墨件的顶部、底部、侧面缝隙中的杂质，提高清理的效率和保证清理质量。
一种用于清理石墨激光设备及其使用方法

[实用新型]一种降低炉外加料功耗的装置-CN202320911652.5有效
发明人：马腾飞;付丽影;汪奇 -专利权人：青海高景太阳能科技有限公司;高景太阳能股份有限公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C30B15/02 文献下载
摘要：本实用新型提出一种降低炉外加料功耗的装置，包括保温盒和炉外加料筒，保温盒呈空心设置，且保温盒内填充有保温软毡，炉外加料筒内设有储料腔，且炉外加料筒的上端安装有盖板，储料腔内设有拨料组件，且储料腔的外侧设有电热板，储料腔的下端设有下料口，下料口的下方设有输料腔，炉外加料筒上安装有连接管道，连接管道的内腔与输料腔连通，且连接管道的一端安装有延伸筒，延伸筒上设有落料口，输料腔内安装有输料绞龙，且输料绞龙通过第一电机驱动，本实用新型通过设置的保温盒、电热板的配合，能在炉外进行加料时，起到保温的效果，从而实现降低单晶炉功耗，提升熔料效率的作用，解决现有技术中加料功耗高、熔料效率低的问题。
一种降低外加功耗装置

[实用新型]一种提效降本的硅料破碎台-CN202321245961.X有效
发明人：李双喜;刘学金;乔乐;汪奇 -专利权人：青海高景太阳能科技有限公司;高景太阳能股份有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B25H1/00 文献下载
摘要：一种提效降本的硅料破碎台，包括底部支架及壳体，两者之间设置有壳体支撑板，底部支架包括支撑腿和固定腿，每相邻的2根支撑腿之间设置1根固定腿；壳体包括前、后、左、右以及顶部的PP板，前挡和后档PP板上对称设置有侧装料口，侧装料口上设置上下滑动的侧门；右挡PP板上设置有观察口，观察口上设置上下滑动的观察门；左挡PP板上设置有出料口，出料口上设置左右滑动的出料门，出料门的下侧设置集料口，集料口下侧设置出料圆筒；壳体支撑板上设置有孔径一致的筛网，筛网的孔径为8mm；筛网的下端还设置有碎料漏口；本实用新型能够在破碎时减少碎料外溅和对硅料进行筛选，实现快速装料。
一种提效降破碎

[发明专利]AGV全自动单晶炉炉筒内壁清理装置及清理方法-CN202310720717.2在审
发明人：冶占海;余亮亮;马腾飞;汪奇 -专利权人：青海高景太阳能科技有限公司;高景太阳能股份有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： F27D25/00 文献下载
摘要：本发明公开了AGV全自动单晶炉炉筒内壁清理装置及清理方法，其中清理装置包括AGV小车、多级电动推杆和清理组件，所述清理组件包括支撑架、伸缩件和清理片，所述伸缩件的一端与支撑架连接，所述伸缩件的另一端与所述清理片连接，所述多级电动推杆的一端与所述AGV小车垂直连接，所述多级电动推杆的另一端与所述清理组件连接。所述清理方法是基于AGV全自动单晶炉炉筒内壁清理装置的步骤。本发明有效提升单晶炉炉筒内壁清理效率及清理质量。
agv 全自动单晶炉炉筒内壁清理装置方法

[实用新型]一种籽晶清洗花篮-CN202320911638.5有效
发明人：马明娟;乔乐;卢辉;汪奇;马腾飞 -专利权人：青海高景太阳能科技有限公司;高景太阳能股份有限公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本实用新型提出一种籽晶清洗花篮，包括下花篮，下花篮的上方设有上花篮，下花篮上方的中间位置设有连接柱，连接柱上安装有两组呈对称设置的连接耳，且连接耳与下花篮连接，下花篮上设有第一通孔，且第一通孔均匀设有多组，连接柱下方的两侧均设有第一限位板，且每侧第一限位板均设有三组，第一限位板与下花篮内的底部连接，第一限位板远离连接柱的一侧设有第二限位板，且第二限位板与下花篮连接，第二限位板上设有第一凹槽，且第一凹槽均匀设有多组，第一限位板上设有第二凹槽，本实用新型通过设置的第一限位板、第二限位板、第一凹槽以及第二凹槽的配合，将籽晶需进行单独隔离进行清洗，从而在清洗的过程中，不会出现籽晶碰撞的情况。
一种籽晶清洗花篮

[实用新型]一种厚片清洗辅助设备-CN202320904575.0有效
发明人：罗英英;马腾飞;汪奇 -专利权人：青海高景太阳能科技有限公司;高景太阳能股份有限公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提出一种厚片清洗辅助设备，包括圆盘，圆盘上方的中间位置安装有连接杆，且连接杆呈空心设置，圆盘的上方设有下限位盘，下限位盘的上方设有上限位盘，且上限位盘与下限位盘上均设有插入口，插入口均匀设有多组，上限位盘和下限位盘的中间位置均设有开孔，连接杆上套设有连接筒，且连接筒与连接杆固定连接，连接筒的两端分别位于上限位盘与下限位盘的开孔内，并与上限位盘与下限位盘固定连接，本实用新型通过设置的圆盘、下限位盘、上限位盘以及插入口的配合，方便厚片单独插入其中，从而使得多个厚片之间存在一定的间距，避免在清洗时出现叠片的情况，同时本装置整体采用圆形的设计，方便搅拌，继而提升对厚片清洗的效果。
一种厚片清洗辅助设备

[发明专利]一种缩短大尺寸热场单晶炉停炉冷却时间的装置-CN202310470957.1在审
发明人：李磊;晟伦;汪奇;高彬彬 -专利权人：青海高景太阳能科技有限公司;高景太阳能股份有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本发明提供一种缩短大尺寸热场单晶炉停炉冷却时间的装置，其设置于热场中，包括：散热管道、上保温筒及水冷屏，所述散热管道与热场外的散热装置相连通，所述水冷屏设有第一连接装置，所述上保温筒设有第二连接装置，所述第一连接装置和所述第二连接装置匹配设置，使得所述水冷屏可带动所述上保温筒向上移出所述热场。本发明中在主炉筒内安装散热管道，实现快速散热，成本低，易于实现，效果好；水冷屏可提升，停炉后提升水冷屏，将热场顶部导流筒与热场分离使热场快速散失；通过炉体改造，利用现有设备，不需要增加设备，节省成本。
一种缩短尺寸热场单晶炉停炉冷却时间装置

[发明专利]一种单晶炉及一种单晶-CN202210215062.9有效
发明人：徐志群;汪奇;孙彬;张振忠 -专利权人： 高景太阳能股份有限公司
申请日： 2022-03-03 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本申请公开一种单晶炉及一种单晶，涉及半导体技术领域，能够提高单晶生产的整棒率。具体方案包括：该单晶炉包括炉体和炉盖，炉体中设有：坩埚；保温筒，保温筒包括上保温筒，上保温筒位于坩埚的顶部，坩埚与保温筒连通；环状保温台，环状保温台设置于保温筒的顶端；隔离筒，隔离筒设置于环状保温台远离坩埚的平面上，且隔离筒的顶端与炉盖之间存在预设间隙。
一种单晶炉

[发明专利]一种高效节能热场保温筒及单晶炉设备-CN202310574122.0在审
发明人：赵国伟;刘悦;马腾飞;汪奇 -专利权人：青海高景太阳能科技有限公司;高景太阳能股份有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本申请涉及热场保温筒技术领域，公开了一种高效节能热场保温筒及单晶炉设备。上述保温筒包括：筒体，所述筒体为环形结构，所述筒体内侧设置有向筒体外侧延伸的校正块；固毡组件，所述固毡组件设置在筒体外壁，与筒体表面贴合。本发明专利解决了现有技术使用软毡包裹保温筒，腐蚀老化进而失效更换，影响了热场的功率稳定性，增加了人工频繁的进行热场校准，耗时耗力。热场底部空间较大，保温性能差，热量流失严重，导致热场整体功率升高的问题。本发明固毡组件的三层保温结构，通过将软毡替换为固毡，使用寿命长，不用频繁更换底部热场保证了热场的稳定性，降低导热效率，保证内部的热场稳定，增加筒体与设备之间运行时的稳定性。
一种高效节能保温单晶炉设备

[实用新型]一种单晶炉用承重装置-CN202320471845.3有效
发明人：马腾飞;汪奇;罗燕军 -专利权人：青海高景太阳能科技有限公司;高景太阳能股份有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉用承重装置，包括重锤本体，所述重锤本体为不锈钢材质；所述重锤本体的上端设有重锤钼底座，所述重锤本体的外表面包裹有一钨层；所述重锤底部为钢丝绳连接部，所述钢丝绳连接部的底部纵向孔内设有钢丝绳，所述重锤底部的表面设有夹头护套，包裹设有钢丝绳连接部的区域。本实用新型的重锤装置解决了重锤表面的氧化问题、稳定性和耐高温性能，以及提高拉晶的效果。
一种单晶炉用承重装置

[发明专利]一种拉制大尺寸单晶硅棒的方法-CN202310261535.3在审
发明人：马建强;徐志群;高彬彬;汪奇;马腾飞 -专利权人：青海高景太阳能科技有限公司;高景太阳能股份有限公司
申请日： 2023-03-16 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种拉制大尺寸单晶硅棒的方法，包括以下步骤：根据生产环境和所需拉制的晶棒尺寸设定起始参数，起始参数包括埚转、晶转、氩气流量、炉压和拉速；随着晶棒生长长度逐渐增加，逐步提高埚转和拉速，逐步降低晶转，维持氩气流量和炉压不变；晶棒生长长度继续增加至第一长度，达到第一长度时硅熔料内的镓浓度增高、晶棒尾部电阻率衰减加快，此时随着晶棒继续生长逐步降低埚转、拉速、氩气流量和炉压，逐步提高晶转；晶棒生长至第二长度时开始收尾，达到第二长度时，硅熔料的余量小于初始的一半。通过以上方法生长的掺镓晶棒尾部电阻率更均匀，单位生长长度更长，同时节约原材料消耗量。
一种拉制尺寸单晶硅方法

[发明专利]一种预防晶棒掉落装置-CN202211734336.1在审
发明人：徐志群;张银;王迎春;马俭;杨华伟 -专利权人：四川高景太阳能科技有限公司;高景太阳能股份有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种预防晶棒掉落装置，包括晶棒长度检测单元、副室桶以及晶棒位置检测单元；所述晶棒长度检测单元包括晶棒生长提升伺服电机，所述晶棒生长提升伺服电机通过光电旋转增量式编码器反馈晶棒信号给控制器，用于判断晶棒长度；所述控制器包括抱钳逻辑程序，所述抱钳逻辑程序用于计算晶棒长度值，以及接收晶棒掉落信号；所述控制器还与抱钳连接；所述副室桶内设有设置在副室桶侧壁的两条滑轨以及设置在滑轨上的抱钳，所述抱钳内嵌有红外对射传感器；所述晶棒位置检测单元包括晶棒生长提升称重传感器，用于判断晶棒是否掉落。本发明有效地降低了晶棒掉落至坩埚内的风险，提高生产效率。
一种预防掉落装置

[发明专利]一种用于防止硅片排片时撞片的吹片装置及其硅片排片机-CN202210297698.2有效
发明人：孙彬;徐志群;付明全;金同;马伟萍 -专利权人： 高景太阳能股份有限公司;广东金湾高景太阳能科技有限公司
申请日： 2022-03-24 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开的一种用于防止硅片排片时撞片的吹片装置及其硅片排片机，包括对水槽中清洗处理后的硅片依次连续水平传送至硅片插片花篮处的输送线；花篮处的输送线上硅片下侧设置有多个对硅片外缘及中心分别吹气、用于吹除硅片吸附的清洗水及气动吹浮承托硅片防止外缘弯曲的气嘴；所有气嘴通过管路与设置的气源泵连通，管路上还设置有对对应气嘴的喷气压力进行调节的气压调节阀；通过气嘴有效的吹除硅片下表面吸附的清洗水，缓解硅片在花篮中的弯曲度，以及气动吹浮的承托硅片外缘四角防止外缘弯曲，防止硅片四角翘曲和便于有序排片。
一种用于防止硅片片时装置及其排片机

[发明专利]一种硅片烘干处理方法及系统-CN202210688603.X有效
发明人：周禹;薄千顷;郭翔;付明全;马伟萍 -专利权人： 高景太阳能股份有限公司;广东金湾高景太阳能科技有限公司
申请日： 2022-06-17 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： F26B21/08 文献下载
摘要：本申请公开了一种硅片烘干处理方法及系统，所述方法包括：步骤1：对硅片周围的空气进行加热处理；步骤2：在加热后的空气中导入臭氧气体，以通过臭氧气体和加热后的空气对硅片表面进行除湿处理；步骤3：对除湿处理后的空气进行除水干燥处理，得到低湿度的空气，并低湿度的控制导入硅片周围，循环执行步骤1‑3直至满足预设的第一烘干条件；通过上述的方法，在对硅片表面进行干燥处理的过程中，还将同时通入臭氧气体来对硅片表面的污染物进行化学反应处理，并且通过化学反应释放的热量对硅片表面的水分进行再次烘干，这样不仅提升了硅片的烘干效果以及干燥速度，还可以避免烘干过程中在硅片表面形成水痕，提高硅片的成品合格率。
一种硅片烘干处理方法系统

[发明专利]一种预防晶棒晃动的装置-CN202211734922.6在审
发明人：马俭;杨华伟;王迎春;徐志群;张银 -专利权人：四川高景太阳能科技有限公司;高景太阳能股份有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种预防晶棒晃动的装置，包括三根横杆，所述横杆两侧设有螺栓孔，相邻两个横杆之间通过拉伸弹簧穿过螺栓孔连接，所述横杆的两端通过位置调节装置平均分布定位在水冷热屏内壁上，所述横杆上设有条形开孔，所述条形开孔内设有滑动轮组；利用横杆、拉伸弹簧与滑动轮组相互配合，在不影响晶棒生产环节的旋转、升降的同时，辅助支撑晶棒，让晶棒在整个生产环节不晃动(划弧)，有效解决了晶棒生产过程中，因环境存在震源、单晶炉台水泥基座沉降、单晶炉内气流漩涡等因素导致晶棒晃动而无法正常生产的技术问题，提高了晶棒的生产效率以及生产质量。
一种预防晃动装置

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