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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]加工装置和振动检测方法-CN202210877936.7在审
发明人：吉田博斗;北原信康;高乘佑 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供加工装置和振动检测方法，能够对作为加工对象的被加工物的高度方向上的装置的振动进行检测。加工装置中，振动检测单元包含：光源；干涉单元，其将来自光源的光照射至被测量部件，生成被测量部件的包含干涉图案的干涉图案图像；以及拍摄单元，其拍摄通过干涉单元而生成的被测量部件的干涉图案图像。控制单元具有：存储部，其将通过拍摄单元在规定的时机拍摄的第一干涉图案图像以及在与第一干涉图案图像不同的时机拍摄的第二干涉图案图像进行存储；比较部，其对存储于存储部的第一干涉图案图像与第二干涉图案图像进行比较；以及振动检测部，其根据通过比较部进行了比较的第一干涉图案图像与第二干涉图案图像而检测振动。
加工装置振动检测方法

[发明专利]加工装置和加工装置的控制方法-CN201910461142.0有效
发明人： 高乘佑 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2019-05-30 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：提供加工装置和加工装置的控制方法。加工装置具有触摸面板式的显示单元，当用手指触摸显示单元并使手指沿X轴方向移动时，使X轴移动机构动作而根据手指的移动量使卡盘工作台或加工单元沿X轴方向移动，并使拍摄单元所拍摄的区域在显示单元上沿X轴方向移动，当用手指触摸显示单元并使手指沿Y轴方向移动时，使Y轴移动机构动作而根据手指的移动量使卡盘工作台或加工单元沿Y轴方向移动，并使拍摄单元所拍摄的区域在显示单元上沿Y轴方向移动，当用手指触摸显示单元并沿与X轴、Y轴方向倾斜的方向移动时，使X轴、Y轴移动机构进行动作而根据手指的移动量使卡盘工作台或加工单元沿斜向移动，并使拍摄单元所拍摄的区域在显示单元上沿斜向移动。
加工装置控制方法

[发明专利]切割装置的判定方法和切割装置-CN202111319873.5在审
发明人： 高乘佑 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：切割装置的判定方法和切割装置。该判定方法利用切割装置判定切割开始是否适当，切割装置具有：保持工作台，其将晶片保持为旋转自如；拍摄单元，其对晶片进行拍摄；切割单元，其对晶片进行切割；移动机构，其使切割单元和保持工作台在加工进给方向和分度进给方向上相对移动；控制器，其控制拍摄单元、切割单元、移动机构，判定方法具有如下步骤：对准步骤，根据拍摄图像设定与加工进给方向平行的切割预定线，对切割单元和切割预定线进行对位；判定步骤，在实施对准步骤之后，一边使保持着晶片的保持工作台相对于拍摄单元在加工进给方向上移动，一边利用拍摄单元对晶片的正面进行拍摄而形成判定用的拍摄图像，根据拍摄图像来判定切割开始是否适当。
切割装置判定方法

[发明专利]加工装置-CN202110289063.3在审
发明人：大高小由纪;高乘佑 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2021-03-18 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： G05B19/409 文献下载
摘要：本发明提供加工装置，能够抑制操作人员的作业遗漏和作业顺序的错误。加工装置具有：触摸面板，其受理操作人员的操作；以及控制单元，由操作人员选择触摸面板所显示的操作按钮，从而该控制单元使各机构驱动。触摸面板构成为能够显示排列有多个操作按钮的进展确认画面，该触目面板按照能够识别的方式显示由操作人员选择并完成了作业的操作按钮和操作人员未完成作业的操作按钮。
加工装置

[发明专利]脉冲激光光线的光斑形状检测方法-CN201710880932.3有效
发明人： 高乘佑;重松孝一;张渊扬 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：提供脉冲激光光线的光斑形状检测方法，能够容易地对激光光斑形状进行判定。照射对于检查用晶片(TS)具有吸收性的波长的脉冲激光光线。通过该照射，形成多个激光光斑(LS)并使相邻的激光光斑之间隔着间隙(S)。然后，利用拍摄单元(50)对激光光斑进行拍摄，利用控制单元(60)从拍摄而得的激光光斑图像中提取激光光斑的轮廓，计算与预先存储于存储单元(61)的理想的激光光斑形状的轮廓的相似度。并且，在相似度低于阈值的情况下，判定为激光光斑形状不适当，并通知该意思。
脉冲激光光线光斑形状检测方法

[发明专利]关键图案的检测方法和装置-CN202010045596.2在审
发明人： 高乘佑 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2020-01-16 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：提供关键图案的检测方法和装置，在短时间内检测关键图案的位置。该方法对被检测物所具有的关键图案的位置进行检测，具有如下步骤：关键图案粗检测步骤，一边使保持着被检测物的保持单元和拍摄单元相对地移动一边利用拍摄单元对被检测物进行拍摄而形成多个拍摄粗图像，对形成的各个拍摄粗图像和映现出关键图案的参照用图像进行图案匹配而检测映现出关键图案的拍摄粗图像；关键图案精密检测步骤，按照形成所检测的拍摄粗图像时的拍摄单元和保持单元的相对位置对被检测物进行拍摄而形成精密拍摄图像，对精密拍摄图像和参照用图像进行图案匹配而检测精密拍摄图像所包含的关键图案；和关键图案位置检测步骤，检测所检测的关键图案的位置。
关键图案检测方法装置

[发明专利]加工装置-CN201810717324.5在审
发明人：远藤智章;高乘佑 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2018-07-02 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供加工装置，能够可靠地防止操作者的错误的输入操作。该加工装置具有：操作面板，其显示输入晶片的加工条件的输入画面(66a)；以及控制单元，其对各构成要素进行控制，控制单元具有：输入画面登记部，其登记有输入画面(66a)；以及蒙版登记部，其按照每个输入画面(66a)登记蒙版(67a)，该蒙版(67a)将输入画面(66a)的规定的区域覆盖而使操作者的输入无法进行，当对蒙版登记部登记该蒙版(67a)时，对输入画面(66a)的要用蒙版覆盖的区域(85)和要去除蒙版的区域(86)进行指定并进行登记。
蒙版输入画面加工装置操作面板构成要素加工条件区域覆盖输入操作晶片去除覆盖

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