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[发明专利]光学通信环境模拟测试系统-CN202311118475.6在审
发明人：庞俊奇;谭秋林;董和磊;李谦;马宏帅;刘瑞康;张磊;熊继军 -专利权人：中北大学
申请日： 2023-09-01 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H04B10/073 文献下载
摘要：本发明属于光通信技术领域，公开了一种光学通信环境模拟测试系统，包括：石英管、真空计、温控仪，石英管两端均设置有限位法兰，侧面设置有真空抽气阀门和真空注液/气阀门；石英管两端套设有连接法兰，限位法兰用于对连接法兰限位；限位法兰外侧设置有级联法兰，级联法兰一端与连接法兰螺纹连接，另一端设置有第一凸台和第二凸台，第一凸台用于设置光学镜片，第二凸台用于设置密封法兰，密封法兰设置在光学镜片外侧且与级联法兰另一端固定连接，用于密封石英管的两端；真空抽气阀门通过抽气管道与真空泵连接，真空注液/气阀门用于注入测试介质，真空计用于测量石英管内压强，温控仪用于控制石英管的温度。本发明提高了系统的测试能力。
光学通信环境模拟测试系统

[实用新型]夹持装置及晶圆传输设备-CN202320628975.3有效
发明人：王延广;王昭;马宏帅;赵宏宇;张虎威 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆传输设备技术领域，具体而言，涉及一种夹持装置及晶圆传输设备。夹持装置用于夹持晶圆，夹持装置包括传动机构、夹持手指和驱动机构；驱动机构与传动机构连接，用于驱动传动机构运转，传动机构和/或驱动机构具有自锁功能；传动机构与夹持手指连接，用于驱动夹持手指转动，以使夹持手指在夹紧状态与释放状态之间切换；夹持手指在夹紧状态下能够夹紧晶圆，在释放状态下能够释放晶圆。晶圆传输设备包括夹持装置。本实用新型提供的夹持装置及晶圆传输设备，夹持手指能够保持对晶圆的有效夹紧力，不易出现松动，从而，在晶圆被夹持时不易掉落，安全性较高。
夹持装置传输设备

[发明专利]一种显示面板和显示装置-CN202310798478.2在审
发明人： 马宏帅 -专利权人：厦门天马显示科技有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G09G3/20 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种显示面板和显示装置，显示面板包括显示区和围绕显示区的非显示区，显示区与非显示区相邻的区域包括无效显示区，无效显示区包括多个虚设子像素。显示面板还包括至少一条信号总线，沿垂直于显示面板所在平面的方向，至少一条信号总线与无效显示区至少部分交叠。上述技术方案，通过将至少一条信号总线设置在无效显示区，以使至少一条信号总线与无效显示区至少部分交叠，减小了信号总线对非显示区的占用空间，有利于实现窄边框。
一种显示面板显示装置

[发明专利]转接装置及半导体工艺设备-CN202310214428.5在审
发明人：刘东旭;马宏帅;南建辉;赵宏宇 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： F16L29/00 文献下载
摘要：本发明公开一种转接装置，所公开的转接装置用于将水阻计转接至工艺槽，转接装置包括壳部和封堵部，壳部设有进水孔、出水孔和第一内腔，第一内腔分别与进水孔和出水孔连通；进水孔用于与工艺槽连通；出水孔用于与水阻计连通；封堵部活动地设于第一内腔内，以在第一位置与第二位置之间切换；在封堵部处在第一位置时，封堵部封堵进水孔和出水孔中的至少一者；在封堵部处在第二位置时，进水孔通过第一内腔与出水孔连通。本发明公开的转接装置能够避免对水阻计的损坏，无需操作人员拆装水阻计，进而能够缓解操作繁琐以及设备产能较低的问题。本发明还公开一种半导体工艺设备，所公开的半导体工艺设备包括本发明公开的转接装置。
转接装置半导体工艺设备

[发明专利]一种晶圆升降装置及清洗设备-CN202310101720.6在审
发明人：高少飞;马宏帅;赵宏宇;王锐廷;张金斌;南建辉 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆升降装置及清洗设备，晶圆升降装置包括：第一支撑组件用于对晶圆的端面进行至少两点支撑，以使晶圆侧立；第二支撑组件用于在上升后支撑晶圆，并且第二支撑组件在上升至对晶圆进行支撑时避让第一支撑组件；升降机构，分别与第一支撑组件和第二支撑组件连接，用于驱动第一支撑组件带动晶圆由第一预设位置上升至第二预设位置；以及，用于当晶圆上升至第二预设位置后，驱动第二支撑组件带动晶圆由第二预设位置上升至第三预设位置，以使晶圆脱离第一支撑组件。本申请的支撑装置可以对晶圆进行完全干燥，并且晶圆与本支撑装置的接触点数量的多少对晶圆是否干燥完全无任何影响。
一种升降装置清洗设备

[发明专利]一种阵列基板及显示装置-CN202310082840.6在审
发明人： 马宏帅 -专利权人：厦门天马显示科技有限公司
申请日： 2023-01-30 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L27/12 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种阵列基板及显示装置，该阵列基板包括显示区和非显示区，该显示区包括第一显示区和第二显示区，其中，与第二显示区的目标信号线电连接的扇出线包括了布局在显示区中沿第一方向延伸的目标连接引线，非显示区的目标连接线通过该目标连接引线与目标信号线电连接，如此，通过将部分的与目标信号线电连接的扇出线设计在显示区的方式，利用显示区中采用沿第一方向延伸的目标连接引线，延长与第二显示区的目标信号线电连接的扇出线的长度，从而减小与第二显示区的信号线电连接的扇出线和现有的与第一显示区的信号线电连接的扇出线之间的电阻差异，改善显示分屏的问题。
一种阵列显示装置

[发明专利]一种阵列基板及显示装置-CN202310026146.2在审
发明人： 马宏帅 -专利权人：厦门天马显示科技有限公司
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： H01L27/12 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种阵列基板及显示装置。其中，该阵列基板包括：显示区、非显示区、衬底、信号线、第一连接线、第二连接线、第三连接线和焊盘。非显示区包括第一非显示区；信号线位于衬底的一侧且位于显示区，信号线包括第一信号线和第二信号线；第一连接线位于衬底的一侧且位于显示区；第二连接线、第三连接线和焊盘位于衬底的一侧且位于第一非显示区；第一信号线通过第一连接线和第三连接线与焊盘电连接；第二信号线通过第二连接线与焊盘电连接；第二连接线包括第一子连接线，第一子连接线的延伸方向与衬底所在平面相交。可见，本申请实施例通过设置延伸方向与衬底相交的第一子连接线，增加了第二连接线的长度，避免了显示不均的问题。
一种阵列显示装置

[发明专利]一种触控显示面板及触控显示装置-CN202211287735.8在审
发明人： 马宏帅;李家欣 -专利权人：厦门天马显示科技有限公司
申请日： 2022-10-20 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种触控显示面板及触控显示装置，触控显示面板包括设置于非显示区的多条数据信号传输走线和多条触控信号传输走线，数据信号传输走线与触控信号传输走线异层设置，且沿触控显示面板的厚度方向，数据信号传输走线与触控信号传输走线存在交叠区域，触控显示面板还包括设置于非显示区的固定电位结构，沿触控显示面板的厚度方向，固定电位结构设置于数据信号传输走线所在膜层与触控信号传输走线所在膜层之间，且固定电位结构与交叠区域至少部分交叠。通过在数据信号传输走线与触控信号传输走线之间的交叠区域设置固定电位结构，进而防止数据信号传输走线与触控信号传输走线在交叠区域互相干扰，提升显示效果以及触控识别灵敏度。
一种显示面板显示装置

[发明专利]一种支撑装置、干燥装置及清洗机-CN202211171175.X在审
发明人：王昭;赵宏宇;王广永;马宏帅 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请公开了一种支撑装置、干燥装置及清洗机，支撑装置用于支撑晶圆，包括至少两个相对设置的支撑组件，支撑组件包括位于顶部的多个限位齿，限位齿沿支撑组件的长度方向排列，相邻两个限位齿之间形成齿槽；支撑组件中的至少一个还包括设置于齿槽旁侧并采用吸水材料制作的支撑部；支撑部的顶面高于齿槽的底面，并且低于限位齿的顶部，用于当晶圆被插入齿槽中时对晶圆的端面进行支撑。本申请的支撑装置，晶圆两个侧面通过两侧的限位齿进行限位，晶圆的端面支撑在支撑部上，由于支撑部采用吸水材料制作，晶圆上残留的水可以被吸水材料吸走。该支撑装置的支撑部对应的接触点不需要压力泵进行辅助干燥，结构简单，成本低。
一种支撑装置干燥清洗

[发明专利]漏液检测装置及半导体清洗设备-CN202210903220.X在审
发明人：邓曾红;马宏帅 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G01M3/04 文献下载
摘要：本发明提供一种漏液检测装置及半导体清洗设备；其中，漏液检测装置设置在半导体清洗设备的外槽和内槽之间，其包括：液位传感器、外壳和供气组件；其中，液位传感器设置于外壳的内腔中；外壳上开设有分别与内腔和外槽连通的气液通道；气液通道用于在外槽内部液面达到预设阈值高度时，供外槽内部液体流入内腔中；供气组件与内腔连通，用于向内腔中输送阻隔气体，以使内腔内部气压达到预设阻隔压力；其中，预设阻隔压力大于外部环境气压，且小于外槽内的液面所述预设阈值高度时对内腔的压力，从而在实现对液位传感器的有效密封的同时，保证及时对液面进行监测，减少漏液传感器被误触发问题的发生。
检测装置半导体清洗设备

[发明专利]显示面板和显示装置-CN201911202280.3有效
发明人： 马宏帅;孙光远;马志丽;张九占;韩珍珍 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G06V40/13 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种显示面板和显示装置。显示面板包括：阵列基板以及位于阵列基板上的发光单元；指纹识别单元，指纹识别单元位于阵列基板远离发光单元的一侧；第一透镜组，第一透镜组包括沿垂直于显示面板的方向层叠设置的多个第一透镜，第一透镜组对应相邻的发光单元之间的区域设置，第一透镜组用于汇聚经由触摸主体反射的光线至对应的指纹识别单元上。本发明实施例通过增设第一透镜组，在实现增强指纹识别的灵敏度的基础上，减小了对原有阵列基板的布线改动，从而简化了阵列基板的布线设计。
显示面板显示装置

[发明专利]显示面板及显示装置-CN202210772839.1在审
发明人： 马宏帅 -专利权人：厦门天马显示科技有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： H01L27/32 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种显示面板及显示装置。该显示面板包括第一显示区和第二显示区，第二显示区复用为光感元件设置区，第二显示区包括多个非透光区和透光区，还包括：触控功能层，触控功能层包括多个触控电极；在第二显示区内，触控电极与非透光区至少部分交叠，触控电极与透光区至少部分无交叠。本发明实施例解决了现有显示面板的透光区域光线透过率不足的问题，提升显示面板性能。
显示面板显示装置

[发明专利]半导体清洗设备及其清洗方法-CN202210711700.6在审
发明人： 马宏帅;赵宏宇;王锐廷 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本申请公开一种半导体清洗设备及其清洗方法，所述半导体清洗设备包括清洗槽、配液管路和第一混液装置，其中：所述清洗槽包括清洗空间，所述配液管路的第一端与所述清洗槽连接，并用于向所述清洗空间内输送清洗液；所述配液管路的第二端连接纯水供给源；所述第一混液装置包括混液腔体和多条进液支管，所述混液腔体具有混液内腔以及与所述混液内腔连通的进液口和出液口，所述混液腔体通过所述进液口和所述出液口连接在所述配液管路中，所述多条进液支管均与所述混液内腔连通，且分别用于向所述混液内腔输送不同类型的药液。上述方案能够减少晶圆的传片次数和暴露时长。
半导体清洗设备及其方法

[发明专利]清洗干燥装置-CN202011568238.6有效
发明人：王昭;马宏帅 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： F26B21/14 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种清洗干燥装置，涉及半导体生产中清洗、干燥的技术领域。一种清洗干燥装置，包括：干燥槽、清洗槽和密封组件，干燥槽和清洗槽相连通并围成工作腔；干燥槽内通入干燥气体，清洗槽内通入清洗液体；清洗干燥装置还包括升降组件，升降组件包括升降臂和支撑件，支撑件位于工作腔内；升降臂包括位于工作腔外的驱动端和位于工作腔内的连接端，连接端与支撑件连接，驱动端用于连接动力源，以驱动支撑件在干燥槽和清洗槽之间移动；密封组件包括密封座和密封件，密封座连接于干燥槽，升降臂可移动地穿设于密封座，密封件设置于升降臂与密封座之间。本申请实施例公开的一种清洗干燥装置有效缓解了IPA蒸汽外泄的技术问题。
清洗干燥装置

[发明专利]显示面板、显示面板制备方法及显示装置-CN202011529539.8有效
发明人： 马宏帅;何国冰;张成成;马志丽;朱正勇 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： G09F9/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种显示面板、显示面板制备方法及显示装置，显示面板具有显示区、芯片绑定区和弯折区，包括：基底；多条走线，各条走线设于基底一侧，各条走线沿第二方向间隔设置且沿第一方向延伸，第一方向和第二方向相交，各条走线包括主体部和位于主体部两端的延伸部，主体部位于弯折区；第一有机膜层，至少部分设于基底和走线之间，第一有机膜层包括位于弯折区的第一部分、位于显示区和芯片绑定区的第二部分，在第二部分开设有多个开口部，各开口部在基底上的正投影覆盖各条走线的延伸部在基底上的正投影，以使和开口部相对的延伸部落于开口部内。避免金属残留连接相邻的两条走线而造成短路等问题，提高了显示面板的可靠性及生产良率。
显示面板制备方法显示装置

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