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[发明专利]一种基于氧化镓偏振选择特性的带通日盲紫外探测器及其制备方法-CN201810399948.7有效
发明人：叶建东;陈选虎;徐阳;马同川;张彦芳;任芳芳;朱顺明;顾书林;张荣;郑有炓 -专利权人：南京大学
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：基于氧化镓偏振选择特性的带通日盲紫外探测器，包括β相的氧化镓衬底、金属(Au)叉指状电极、绝缘介质钝化层和另一同晶体取向的β相氧化镓单晶滤光片，在(100)、(001)或(010)β相的单晶衬底上沉积金属得到叉指状电极阵列，然后覆盖绝缘介质钝化层，所述绝缘介质钝化层漏出金属(Au)叉指状电极；氧化镓单晶滤光片是位于Au叉指状电极器件的上方2‑5mm处放置，氧化镓单晶滤光片的晶体取向与衬底相同，面积稍大于衬底，氧化镓单晶滤光片面内晶体取向垂直于氧化镓衬底。上述器件具有封装结构，可以实现阵列化信号输出。本探测器能实现有效的滤除杂波，增强对短波的抑制作用，实现窄带的日盲紫外探测器；探测器结构简单，成本较低，抑制较高，有利于推广使用。
氧化镓衬底单晶叉指状电极紫外探测器晶体取向绝缘介质钝化层滤光片日盲偏振选择带通金属探测器结构沉积金属封装结构信号输出阵列化探测器短波漏出滤除滤光杂波窄带制备垂直覆盖

[发明专利]一种超声辅助雾相输运化学气相沉积生长氧化镓的系统-CN201811030854.9在审
发明人：叶建东;马同川;陈选虎;徐阳;任芳芳;朱顺明;顾书林 -专利权人：南京大学
申请日： 2018-09-05 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： C30B29/16 文献下载
摘要：一种超声辅助雾相输运化学气相沉积生长氧化镓的系统。一种超声辅助雾相输运化学气相沉积方法，采用水溶性的镓盐超声雾化源作为原料，在反应腔室中进行；利用反应腔室内有气流的收束装置部位作为生长区，反应腔室整体为卧式结构；镓源的水溶液由超声雾化器雾化之后由隋性气体(氮气)作为载气输运，与稀释气体混合后进入反应腔室，反应腔室内部具有气流收束结构，反应腔室后端输出位置时用水吸收反应产物和未反应的原料，输出位置并设有防倒吸结构；反应后的尾气由尾气处理装置处理。
反应腔室输运化学气相沉积超声辅助输出位置反应腔氧化镓氮气尾气处理装置吸收反应产物超声雾化器超声雾化收束结构收束装置隋性气体卧式结构稀释气体生长防倒吸生长区室内部雾化载气镓盐镓源尾气室内统一

[实用新型]模拟厚度扫描仪探头部位的工装-CN201220723172.8有效
发明人： 马同川;张博 -专利权人：天津力神电池股份有限公司
申请日： 2012-12-25 - 公布日： 2013-07-31 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种模拟厚度扫描仪探头部位的工装。本实用新型所述工装由主架、上夹具、下夹具、挡板和固定块组成，所述主架为U型框架，U型框架的U型内侧面设置凹槽，U型框架顶部两端设置挡板固定孔，U型框架底部两侧设置固定块的固定孔，下夹具插入U型框架的凹槽中，下夹具设置极片安装孔，上夹具为环形，上夹具固定于极片安装孔上方，上夹具的环形孔与下夹具的极片安装孔大小相同，挡板通过挡板固定孔与主架固定，固定块通过固定块的固定孔与主架固定。将合格的极片放在本实用新型上，用于对厚度扫描仪设备进行调试和检测，便于调试者使用，减少浪费。
模拟厚度扫描仪探头部位工装