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[发明专利]一种基于多线切割的双晶棒摆动机构-CN202211294875.8在审
发明人：闫芸;陶利权;汤明;靳永吉 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及多线切割技术领域，具体而言，涉及一种基于多线切割的双晶棒摆动机构，包括两个相互平行设置于水平面的转轴，两个转轴的轴线方向均为前后方向，侧视基准面与水平面相垂直，还包括带动两个转轴相向转动的摆杆单元，摆杆单元包括三级连杆单元和驱动电机，驱动电机与三级连杆单元连接，三级连杆单元与两个转轴连接，两个转轴上均用于安装晶棒单元；通过一个驱动电机进行连续旋转，再通过三级连杆单元传递动力，带动2根转轴相向往复于限定角度内摆动，进而使固定于2根转轴上的2套晶棒单元随摆，实现了一种供料系统中双晶棒的摆料方式，通过一个驱动电机实现双晶棒同时切割，从而能够提高切割效率。
一种基于切割双晶摆动机构

[发明专利]一种辅助上料机构-CN202210417229.X在审
发明人：周建军;杨晓静;靳永吉;毛善高 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： B66F7/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种辅助上料机构，包括底座、升降架、升降T型丝杠、升降滑座、平移T型丝杠、平移滑座和叉座；升降架竖立在底座上，升降T型丝杠设置在升降架上，升降滑座与升降T型丝杠螺接；转动升降T型丝杠，升降滑座能够沿升降架上下移动；平移T型丝杠沿水平方向设置在升降滑座上，平移滑座与平移T型丝杠螺接；转动平移T型丝杠，平移滑座能够相对于升降滑座沿水平方向移动；叉座设置在平移滑座上。本发明的辅助上料机构，利用T型丝杠的位移微调作用和自锁功能，不仅提高了上料的精准对位，且提高了上料的工作效率和安全可靠性。
一种辅助机构

[发明专利]线网摆动切割方法及线网摆动切割装置-CN202210428367.8在审
发明人：董同社;靳永吉;毛善高 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及材料切割装置技术领域，尤其是涉及一种线网摆动切割方法及线网摆动切割装置。所述线网摆动切割方法，包括：控制待切割件相对切割线网进给；控制切割线网摆动以对所述待切割件进行切割；其中，使切割线网的摆动中心与切割线网的中心重合设置。当待切割件中心位于摆动中心的上方时，切割线网在摆动过程中形成的连续轨迹为一圆弧形，切割线网与待切割件的接触平滑，从而能够提高切割质量；当待切割件的中心与摆动中心重合时，待切割件的切割面分成了左右两部分进行切割，从而降低了切割难度，大大提高了切割效率；当待切割件的中心位于摆动中心的下方时，切割线网与待切割件的接触平滑，从而提高切割质量。
摆动切割方法装置

[发明专利]具有气流体密封结构的摆动机构及多线切割机-CN202210433878.9在审
发明人：王天聪;毛善高;杨鹏举;靳永吉 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明涉及密封防护技术领域，尤其是涉及一种具有气流体密封结构的摆动机构及多线切割机。所述具有气流体密封结构的摆动机构包括：摆动件，形成有用于撑托所述摆动平台的摆动部，所述摆动部能够以其所在平面的任一中线为轴心形成摆转倾角，以使所述摆动件带动所述摆动平台倾斜；支撑座，与所述摆动件连接，所述轴承设置在所述支撑座与所述摆动件之间；所述支撑座形成有贯穿至所述摆动件的气流通道，所述气流通道吹出的气流形成于所述摆动平台与所述轴承之间，以使所述轴承被气流隔绝。本发明能够有效地避免因密封性能差导致水汽和粉屑等杂质将轴承腐蚀或破坏的情况出现，从而延长了轴承的使用寿命，提高了设备的摆动精度与晶片的切割质量。
具有流体密封结构摆动机构切割机

[发明专利]一种多线切割机线轮-CN202210327353.7在审
发明人： 靳永吉;吕磊 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-03-30 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： B28D7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种多线切割机线轮，包括线轮轴、线轮、定位压盖、紧定螺钉、压紧弹簧和弹簧压座；线轮轴的近端用于连接驱动主轴，线轮轴的远端设置定位压盖；弹簧压座设置在线轮轴中，并能够沿线轮轴的轴线方向移动；压紧弹簧的近端和远端分别抵接弹簧压座和线轮轴；紧定螺钉穿过定位压盖、线轮轴然后与弹簧压座螺接；线轮轴的近端设置有锥形凸台，定位压盖呈锥台状；线轮同轴地套设在线轮轴的外侧，且线轮的两端分别与锥形凸台的锥面、定位压盖的锥面贴合连接。本发明的多线切割机线轮，通过紧定螺钉、压紧弹簧和弹簧压座将定位压盖弹性压紧固定在线轮轴上，并利用两个锥面结构实现线轮的锁紧和防锁死功能，利于线轮的高速正反向收、放线。
一种切割机

[发明专利]一种晶体切割设备用的调晶装置及晶体切割设备-CN202210454029.1在审
发明人：董同社;靳永吉;毛善高 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种晶体切割设备用的调晶装置及晶体切割设备，晶体切割设备用的调晶装置的结构包括周向调节部，所述周向调节部能够进行周向转动；俯仰调节部；与所述周向调节部相连接，与所述周向调节部同步周向转动，所述俯仰调节部能够进行摆动；以及载料部；与所述俯仰调节部相连接，且与所述俯仰调节部同步运动，用于装载待切料。该晶体切割设备用的调晶装置及晶体切割设备能够解决现有的晶体切割设备调晶时效率低误差大的问题。
一种晶体切割备用装置设备

[实用新型]一种城市轨道交通建设用架线车-CN202121922898.X有效
发明人：梁琪志;靳永吉;田小川;沈新民;曹雪刚 -专利权人：梁琪志;靳永吉;田小川;沈新民;曹雪刚
申请日： 2021-08-17 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： H02G1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种城市轨道交通建设用架线车，包括车体，所述车体的前端开设有两组卡槽，所述卡槽的后端对应转动安装有转盘，所述转盘上固定安装有导向机构，所述导向机构的前方转动安装有伸缩杆；在车辆底部设置轨道轮，可在轨道上行进，在车辆上设置有线仓，将线缆收卷至线仓中，线缆的一端从开口处拉出，穿过导向机构，再插入限位环中，然后插入导向管中，然后对线缆的一端进行安装，安装完毕之后，调整伸缩杆的位置，将导向管贴近既定轨道上，车辆继续前进，线缆通过限位环和导向管的限定，可沿着既定轨道进行铺设，在进行空中作业时，伸缩杆可顶起伸缩，导向管与伸缩杆共同对线缆进行支撑，方便线缆的安装。
一种城市轨道交通建设架线

[实用新型]一种城市轨道交通施工地面线路保护装置-CN202121920986.6有效
发明人：沈新民;曹雪刚;梁琪志;靳永吉;田小川 -专利权人：沈新民;曹雪刚;梁琪志;靳永吉;田小川
申请日： 2021-08-17 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H02G3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种城市轨道交通施工地面线路保护装置，包括放置盒，所述放置盒的下端固定连接有安装板，所述放置盒上设有放置机构，所述放置盒上设有止水机构，所述放置盒上连接有支撑机构，所述放置盒的上方设有与之活动连接的封盖，所述封盖上连接有与放置机构相匹配的警示机构。本实用新型中吸湿盒内部的生石灰颗粒能够吸收空气中的水分，从而避免降低放置盒中的水分，并且按压柱和限位板能够对导线的连接位置进行限位，同时电极片和警示灯的辅助，能够提醒工作人员导线是否漏电，从而方便了工作人员对导线的连接处进行保护，进一步的保护了导线，从而避免了导线短路漏电的情况发生。
一种城市轨道交通施工地面线路保护装置

[实用新型]一种施工机械平台结构-CN202121773754.2有效
发明人：田小川;沈新民;梁琪志;靳永吉;曹雪刚 -专利权人：田小川;沈新民;梁琪志;靳永吉;曹雪刚
申请日： 2021-08-02 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： E04G1/15 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种施工机械平台结构，包括机械平台，所述机械平台上连接有驱动机构，所述驱动机构包括固定连接于机械平台上的伺服电机，所述机械平台上固定连接有支撑板，所述支撑板上固定连接有两块相对称的竖板，所述驱动机构上连接有穿过驱动机构的悬吊机构，所述机械平台上设有滑动机构，所述机械平台上连接有承载机构，所述承载机构上设有防滑机构，所述机械平台上设有与防滑机构相匹配的限位机构。本实用新型可以使处于下方的物料从地面上移动到机械平台上，从而就可以方便工作人员使用物料，不需要工作人员不断的上升和下降，从而减少了工作人员的工作，间接的提高了工作人员的工作效率。
一种施工机械平台结构

[发明专利]一种晶圆清洗设备-CN201610287816.6有效
发明人：尹影;胡兴臣;佀海燕;靳永吉 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2016-05-04 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆清洗设备，包括清洗单元、刷洗单元、甩干单元及机械手，该设备包括至少一个清洗单元、至少两个刷洗单元及至少一个甩干单元，清洗单元、刷洗单元、甩干单元依次排列，各单元之间的距离与机械手的行程配合设置；清洗单元上设置有清洗旋转轮，该清洗旋转轮使晶圆竖向设置；刷洗单元上设置有刷洗旋转轮，该刷洗旋转轮使晶圆竖向设置；甩干单元上设置有固定块，固定块和固定爪安装在升降台上，固定块和固定爪抓紧晶圆，该固定块使晶圆水平设置。本发明提供的晶圆清洗设备，清洗单元、刷洗单元采用竖直方向作业，甩干单元采用水平方向作业，有效改善晶圆清洗效果，同时解决了水印残留的问题，提高了晶圆清洗设备的总体效果。
一种清洗设备

[发明专利]一种自动曝光设备及其曝光方法-CN201810409751.7在审
发明人：党景涛;靳永吉;李霖;周庆奎;宫晨;孙明睿;芦刚 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2018-05-02 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种自动曝光设备，包括：工控机和分别与所述工控机连接的两个对准设备、曝光系统和物料系统；两个所述对准设备共用一套曝光系统和物料系统；所述物料系统包括：上料库和下料库；所述工控机，用于向自身连接的各个器件下发控制指令；两个所述对准设备，用于根据所述控制指令从所述上料库中获取原料基片，并对所述原料基片进行对准处理；以及，依次将曝光处理后的原料基片输送到所述下料库中；所述曝光系统，用于根据所述控制指令依次对两个所述对准设备对准处理后的原料基片进行曝光处理。采用两个对称的对准设备，能够使曝光系统不间断的依次对两个对准设备中的原料基片进行曝光处理，提高了光源的使用效率及设备的曝光效。
对准设备曝光系统曝光处理物料系统工控机自动曝光设备控制指令上料下料对准基片输送使用效率下发控制自身连接曝光光源对称指令

[发明专利]具有压力调节机构的砂浆供给装置-CN201010251675.5有效
发明人：种宝春;靳永吉;张为强 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2010-08-12 - 公布日： 2011-01-05 - 主分类号： B28D7/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体晶体加工过程中，采用多线锯切割机由晶棒或晶锭加工成晶片过程中，将砂浆从储存罐提升经管路喷淋到切割钢线上的装置技术领域。包括电机、泵，其主要特征在于其泵体的出口通过连管和浆罐联通，浆罐上设有浆出口，浆罐上具有机械式压力自动调节结构。其泵体具有内腔为圆柱形的泵桶，内腔为圆柱形的泵桶中设有具有螺旋槽绞龙式结构的转轮。用该装置可以将多线切割机切割使用的砂浆供送时可达到大大提高送浆的连续性、降低波动性，提高压力的一致性，有利于提高成品率和效率；本发明特别适用于半导体行业的多线切割机中对砂浆的提升。也可应用于其他的需要将高粘度、高密度的流体提升的行业中。
具有压力调节机构砂浆供给装置

[发明专利]断线检测系统-CN201010197149.5有效
发明人： 靳永吉;田惠兰 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2010-06-11 - 公布日： 2010-10-13 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及一种断线检测系统，特别是应用在半导体专用设备制造行业的多线切割机设备中的断线检测系统，本发明包括设置在旋转轴上的电刷、与电刷固定连接的压簧、与电刷套装连接的电刷架垂直于电刷架中心轴的与电刷架套装连接的支撑轴、插接在支撑轴一端的固定板、和固定板固定连接的固定轴，电刷架和支撑轴之间设置有绝缘套和绝缘圈，电刷和被检测的钢线、旋转轴构成闭环回路；本发明能够准确检测钢线断线给出的信号，从而避免断线引起主辊损坏和切出大量不合格硅片。
断线检测系统

[实用新型]搅拌机构-CN200920104556.X无效
发明人：赵雷;靳永吉 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2009-09-18 - 公布日： 2010-07-14 - 主分类号： B01F7/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种搅拌机构，它包括搅拌轴和叶片，搅拌轴下端与一空心球冠形封头的中心部位固定，且空心球冠形封头的球面朝下，叶片由齿形叶片和筋板形叶片两种叶片构成，其中，两片以上的齿形叶片沿空心球冠形封头的圆周均布，两片以上的筋板形叶片呈辐射状均布在空心球冠形封头的上表面上，用它来带动液体作运行，并搅拌固体物料，使固体物料颗粒均匀分散于液体中，而且使混合物的固体物料颗粒常时间处于悬浮状态，本搅拌机构结构简单、易于制做、搅拌效率高、工作可靠，能有效消除打旋现象，并能满足加工不同规格的晶片。
搅拌机构

[发明专利]多线切割机主轴-CN200910175225.X无效
发明人： 靳永吉;种宝春 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2009-11-26 - 公布日： 2010-05-05 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种多线切割机主轴，它包括主传动轴组件、中间轴辊、副传动轴组件和连接螺钉，其中，主传动轴组件中的主传动轴、中间轴辊和副传动轴组件中的副传动轴三者间依次两两锥面配合对接，连接螺钉的螺杆从右至左依次纵穿副传动轴和中间轴辊的中心孔并与主传动轴螺纹连接固定，且主传动轴与中间轴辊间及副传动轴与中间轴辊间均设有供传递扭矩的销轴，主传动轴组件和副传动轴组件中均设有结构相同的气封结构和结构相同的冷却水循环结构，本发明所提供的多线切割机主轴结构紧凑、功能强大。
切割机主轴

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