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[发明专利]一种高效率低污染等离子体源-CN202111489702.7有效
发明人：聂军伟;陈庆川;杨发展;黄琪;金凡亚;但敏 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明属于等离子体源技术领域，具体涉及一种高效率低污染等离子体源，包括同轴放置的阴极、水冷阳极和磁轭底座，以及设于磁轭底座中心处的内磁钢、套装在内磁钢外的内屏蔽、磁轭底座的外沿上方固定安装的外磁钢和外屏蔽；所述的磁轭底座位于阴极内；所述的水冷阳极与阴极绝缘连接；所述的内磁钢和外磁钢磁力方向相反；所述的阴极、水冷阳极之间连接放电电源A。等离子体源的内、外磁极处于悬浮电位或相对于工件或真空室地分别施加不同偏压的方式，通过设计放电通道，使其电势分布，因此可以降低和控制放电等离子体对壁自溅射，从而达到提高放电电流利用率和引出离子能量目的。
一种高效率污染等离子体

[发明专利]一种脉冲调制射频气体离子源-CN202211673998.2在审
发明人：聂军伟;陈庆川;黄琪;杨发展;金凡亚;但敏;陈伦江 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及低温等离子体技术和薄膜材料制备技术领域，具体涉及一种脉冲调制射频气体离子源，包括：安装法兰、引出电极、栅极绝缘环、等离子体放电腔、放电腔管、底端法兰、下端密封橡胶圈、底部端盖、气路、支撑杆、支撑杆绝缘套和引出电源；本发明提出了一种适用于离子束刻蚀和离子束镀膜的宽工作气压范围的射频离子源，通过利用脉冲调节射频感应放电和单栅极引出产生低能离子束，具有结构简单、拆装方便、易维护等特点。
一种脉冲调制射频气体离子源

[发明专利]一种网孔式多栅离子束引出装置-CN202211673943.1在审
发明人：聂军伟;陈庆川;黄琪;金凡亚;但敏;陈伦江 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H05H1/02 文献下载
摘要：本发明属于低温等离子体薄膜材料制备技术领域，具体涉及一种网孔式多栅离子束引出装置，包括：网格栅、屏栅、加速栅、地栅、绝缘子A、绝缘子B、加速栅电源和屏栅电源；所述网格栅固定于屏栅的一侧面，加速栅通过绝缘子A固定于屏栅的另一侧面；所述加速栅未设置绝缘子A的端面上设置有绝缘子B，所述绝缘子B上安装有地栅；加速栅电源的正极接地，加速栅电源的负极与加速栅连接；屏栅电源的正极接地，屏栅电源的负极与屏栅连接。本发明通过控制与等离子体接触的网栅结构，控制离子束发射面，实现高导流率、低发散角的低能离子束产生。
一种网孔式多栅离子束引出装置

[发明专利]一种高效率低损伤缺陷表面离子束抛光设备和抛光方法-CN202111496449.8有效
发明人：聂军伟;陈庆川;杨发展;郑才国;刘克威 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明属于离子束加工技术领域，具体涉及一种高效率低损伤缺陷表面的离子束抛光设备和方法。设备包括离子束抛光设备腔室、离子源系统，工件安装在离子束抛光设备腔室；离子源系统与射频电源、偏压电源和引出电源连接；方法选用熔石英作为工件固定后，工件被加工面法向与离子束入射方向平行，封闭设备腔室并抽真空，通入工作气体，并将其激发电离，产生高密度等离子体，同时启动偏压电源和引出电压，利用交替引出的正、负离子构成的多组分离子束轰击工件表面。利用线性射频离子源，通过多维运动工件架使工件相对于离子源做扫描运动，实现大尺寸元件均匀一致抛光，提高离子束抛光控制精度，提升加工速率。
一种高效率损伤缺陷表面离子束抛光设备方法

[发明专利]一种金属纳米团簇离子源-CN202211667246.5在审
发明人：聂军伟;陈庆川;黄琪;金凡亚;但敏;陈伦江 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明涉及低温等离子体技术和薄膜材料制备技术领域，具体涉及一种金属纳米团簇离子源，包括：金属靶、靶座陶瓷腔壁、磁钢、气路、阳极、地栅、金属靶脉冲电源和阳极电源；所述陶瓷腔壁为U型结构，陶瓷腔壁的开口端上固定有阳极，陶瓷腔壁的闭口端上设置有靶座，所述靶座上设置有金属靶和磁钢；所述陶瓷腔壁的壁面上开设有气路；阳极上连接有金属靶脉冲电源的正极和阳极电源的正极；地栅连接阳极电源的负极；金属靶脉冲电源的负极与金属靶连接。本发明通过控制双极性脉冲电源频率、占空比和偏压控制纳米团簇粒子尺寸和束流强度，提升了纳米团簇产生控制精度，适合产生任何金属材料，尤其是难熔金属和耐高温材料团簇粒子。
一种金属纳米离子源

[发明专利]一种等离子体集成处理医疗废物的装置及其方法-CN202211594482.9在审
发明人：唐德礼;袁青青;程昌明;陈庆川;孙振华;张帆;兰伟;张正浩 -专利权人：中核同创（成都）科技有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： F23G5/033 文献下载
摘要：本发明涉及等离子体危废处理技术领域，公开了一种等离子体集成处理医疗废物的装置及其方法，处理装置包括：废物预处理装置，设置为接收医疗废物，并对所述医疗废物进行剪切处理；等离子体聚能装置，与所述废物预处理装置相连，设置为对剪切处理后的医疗废物进行热解处理或热解及燃烧处理，并对热解混合气进行除尘处理；尾气处理装置，与所述等离子体聚能装置相连，设置为对热解除尘后的尾气进行碱洗喷淋和过滤吸附，并安全排放尾气。该装置能够避免二噁英前驱物粘附在飞灰上在尾气处理过程中再次生成的二噁英，进而简化尾气处理工艺流程，能够在不降低装置处理量的同时，大幅度减小整装设备体积，降低设备投资和运行费用。
一种等离子体集成处理医疗废物装置及其方法

[发明专利]一种多栅极射频感应耦合离子源-CN202111442845.2在审
发明人： 陈庆川;黄琪;聂军伟;赵哲;石连天;孙振华;王丁 -专利权人：核工业西南物理研究院;中核同创（成都）科技有限公司
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明属于离子束控制技术领域，具体涉及一种多栅极射频感应耦合离子源。本发明中，等离子体放电室位于射频耦合天线下面，为由电介质耦合窗、放电室侧壁和矩形栅极引出系统的引出栅构成的立方形腔体，等离子体放电室的外部设有离子源屏蔽水冷外壳和安装背板，等离子体放电室的上部和安装背板之间安装有对称放置的天线卡座，两个天线卡座之间设有电介质耦合窗；射频耦合天线安装在天线卡座上，等离子体放电室侧壁与离子源屏蔽水冷外壳之间设有弹性引线系统，等离子体放电室的底部设有矩形栅极引出系统，安装背板的上部安装有引线卡环。本发明能在较大尺寸范围内产生高均匀性准直离子束流，相比二栅和三栅结构，均匀性有极显著的提高。
一种栅极射频感应耦合离子源

[发明专利]一种磁约束射频感应耦合等离子体源-CN202111210118.3在审
发明人：聂军伟;陈庆川;黄琪;郑才国 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都理工大学工程技术学院
申请日： 2021-10-18 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明属于等离子体技术，具体涉及一种磁约束射频感应耦合等离子体源，包括射频放电腔、射频天线、高压绝缘气路，以及与射频天线连接的磁场电源和射频电源；射频天线的射频馈入端与射频电源连接，同时与磁场电源的一个输出端口连接；射频天线的接地端接地，同时与磁场电源的另一个输出端口连接；射频放电腔的下端开口，上端封闭。本装置产生射频感应耦合等离子体放电的电磁场，并且约束等离子体的静磁场，简化传统磁约束射频感应耦合等离子体源的分立式射频天线和磁场线圈结构，缩小了等离子体源的射频天线、磁场线圈与放电腔之间的距离，从而增强了射频天线产生的电磁场和约束静磁场对放电等离子体的作用效果。
一种约束射频感应耦合等离子体

[实用新型]一种便于拆装的石英玻璃离子束抛光旋转夹具-CN202121165105.4有效
发明人：郑才国;陈庆川;聂军伟;李民久 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都理工大学工程技术学院
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种便于拆装的石英玻璃离子束抛光旋转夹具，包括夹具固定槽、支撑板、固定壳、夹持结构、支撑结构和移动结构，所述夹具固定槽的内部开设有滑槽，所述夹具固定槽的滑槽处安装设置有夹持结构，所述夹具固定槽的侧边处安装设置有支撑结构，所述固定壳的上表面处转动连接有支撑板。本申请通过夹持结构可以在一定的范围内对不同大小的石英玻璃块进行夹持固定，使用灵活，同时即可对矩形石英玻璃进行夹持也可以对圆形石英玻璃进行夹持，使用效果更好，便于对石英玻璃进行固定拆装，本申请具有支撑结构，通过支撑结构可以较为灵活的调整夹持的石英玻璃的高度，通过支撑结构的调整可以对石英玻璃的固定角度进行调整。
一种便于拆装石英玻璃离子束抛光旋转夹具

[发明专利]一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器-CN201911236265.0在审
发明人：李民久;陈庆川;蒲世豪;贺岩斌;姜亚南;熊涛;黄雨;邵斌 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司
申请日： 2019-12-05 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明属于自动控制技术和电力电子技术领域，具体涉及一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器。当电源输出高频脉冲时，该电弧检测器通过不断采样电源输出脉冲占空比内的电感电流值，并计算出电感电流变化斜率，这样在电弧产生的初期，电弧电流开始爬升，该控制器就已侦测到电弧，然后迅速的关断电源的输出能量，减小电弧能量。由于该电弧检测器采用直接采样电感电流并快速计算电流变化率的方法，能在电弧电流爬升的初期检测到电弧的发生，能更快的关断电源输出，从而能更有效的抑制住电弧能量并灭掉电弧，提高了镀膜质量、产品成品率和生产效率。
一种真空镀膜脉冲偏压电源电弧检测器

[发明专利]一种Ti合金工件防咬死的方法-CN201611145210.5有效
发明人：沈丽如;陈美艳;金凡亚;陈庆川;许泽金;但敏;祝土富;杨发展;尹星;赵云华 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都同创材料表面新技术工程中心
申请日： 2016-12-13 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明属于低温等离子体材料表面处理技术领域，具体涉及一种Ti合金工件防咬死的方法。本方法包括九个步骤，本方法实现Ti合金工件烘烤除气、离子束溅射清洗和原位离子束辅助磁控溅射沉积Ti‑TiN周期复合涂层的制备工艺，以得到均匀致密、结合性能良好的Ti‑TiN周期复合涂层。提高工件耐磨、抗疲劳和微动磨损等性能，达到防咬死和耐磨的要求。在Ti合金紧固件内螺纹表面制备的Ti‑TiN周期复合涂层，纯度高、膜基结合性能好、膜层均匀致密、界面处无孔隙，处理后的Ti合金紧固件达到耐磨、防咬死、抗微动磨损等要求，防咬死性能较未处理工件至少提高了2倍，满足某型号装备使用要求，大大降低了成本，提高了装备的整体使用稳定性和使用寿命。
一种 ti 合金工件防咬死方法

[实用新型]一种梳式烟叶夹操作台-CN202020332422.X有效
发明人： 陈庆川 -专利权人：云南智耕农业科技有限公司
申请日： 2020-03-17 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： A24B1/06 文献下载
摘要：本实用新型属于烟叶加工技术领域，尤其为一种梳式烟叶夹操作台，包括桌面、固定块、滑槽、卡槽、烟夹以及梳式插杆，还包括支撑机构、下压机构；所述固定块共两块，两块所述固定块分别安装在桌面顶部的两侧，所述滑槽开设在固定块靠近桌面中轴线的一侧，所述卡槽开设在桌面的顶部并与滑槽连通，所述烟夹共两块，且两块所述烟夹呈反方向插接在滑槽的内侧。本实用新型，通过设置挡板，从而使烟叶的梗可顶住挡板，从而使烟叶可整齐的排放，配合滑槽和卡槽的设置，进而将烟叶放置到底部的烟夹上，配合下压机构上的下压杆来对位于顶部的烟夹进行下压，从而使位于烟夹上的梳式插杆来对烟叶的梗进行夹持，进而使此装置可方便的对烟叶进行编烟。
一种烟叶操作台

[实用新型]一种带转向的防滑轮-CN202020330982.1有效
发明人： 陈庆川 -专利权人：云南智耕农业科技有限公司
申请日： 2020-03-17 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： A01G13/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及防滑轮技术领域，公开了一种带转向的防滑轮，包括六方套管，还包括止转分离六方管，六方套管通过内表面与圆形螺杆的外表面固定连接，六方套管的一端与弹簧的右侧固定连接，弹簧的左侧与止转分离六方管的右侧固定连接，止转分离六方管的内表面与第一止转六方管的外表面贴合，第一止转六方管的内表面与圆形螺杆的外表面固定连接。本实用新型通过弹簧将止转分离六方管向轮毂的方向推动，使止转分离六方管的内表面与第二止转六方管的外表面贴合并将其锁死，第二止转六方管被锁死使与其连接的轮毂无法旋转，锁死一个轮毂，另一个轮毂运作时，以被锁死的轮毂为圆心使机器发生转向，起到了解决现有防滑轮难以转向的问题。
一种转向滑轮

[实用新型]一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器-CN201922162633.3有效
发明人：李民久;陈庆川;蒲世豪;贺岩斌;姜亚南;熊涛;黄雨;邵斌 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司
申请日： 2019-12-05 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本实用新型属于自动控制技术和电力电子技术领域，具体涉及一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器。当电源输出高频脉冲时，该电弧检测器通过不断采样电源输出脉冲占空比内的电感电流值，并计算出电感电流变化斜率，这样在电弧产生的初期，电弧电流开始爬升，该控制器就已侦测到电弧，然后迅速的关断电源的输出能量，减小电弧能量。由于该电弧检测器采用直接采样电感电流并快速计算电流变化率的方法，能在电弧电流爬升的初期检测到电弧的发生，能更快的关断电源输出，从而能更有效的抑制住电弧能量并灭掉电弧，提高了镀膜质量、产品成品率和生产效率。
一种真空镀膜脉冲偏压电源电弧检测器

[发明专利]一种射频感应耦合线性离子源-CN201811616746.X在审
发明人： 陈庆川;聂军伟;黄琪;石连天 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： H05H1/03 文献下载
摘要：本发明属于离子束控制技术领域，具体涉及一种射频感应耦合线性离子源，包括离子源屏蔽外壳、射频耦合天线、用于传输射频功率并隔离放电室和天线室的电介质耦合窗、用于容纳放电等离子体的等离子体放电室侧壁、用于从等离子体放电室中抽取离子束的多栅极离子束引出系统、向放电室内提供初始电子和向离子束及基材中提供中和电子的射频中和器；它能在较大尺寸范围内产生高均匀性大面积窄长线状离子束流，适用于大面积基材的离子束清洗、刻蚀、薄膜沉积等工艺。
一种射频感应耦合线性离子源

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