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[发明专利]MEMS产品中钛金属连接层刻蚀去胶工艺-CN202311064172.0在审
发明人：朱景春;李海涛;王玮;高玉波;周思豪;陈国雪;姚祥 -专利权人：安徽光智科技有限公司
申请日： 2023-08-22 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：一种MEMS产品中钛金属连接层刻蚀去胶工艺包括步骤：步骤一，提供待刻蚀的复合膜层，复合膜层包括从硅衬底、氮化硅膜层、钛薄膜以及铝膜层；步骤二，图形化设置光刻胶铝膜层上，以使光刻胶覆盖部分的顶层的铝膜层且使光刻胶露出与光刻胶覆盖部分的顶层的铝膜层相邻两侧的部分的顶层的铝膜层；步骤三，将复合膜层置于湿法刻蚀的第一腔室中，在第一腔室中从露出的顶层的铝膜层的部位刻蚀；步骤四，采用湿法去胶；步骤五，将步骤四完成的复合膜层图形化设置光刻胶，形成沟槽；步骤六，将步骤五完成的复合膜层置于第二腔室中，沿着沟槽进行钛薄膜刻蚀；步骤七，光刻胶去除设备中去胶；步骤八，在钛薄膜以及铝膜层上长膜形成氮化硅覆盖层。
mems 产品金属连接刻蚀工艺

[发明专利]一种大规模生产氧化钒薄膜的方法-CN202310161077.6在审
发明人：李兆营;陈国雪;梁靖 -专利权人：安徽光智科技有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供一种大规模生产氧化钒薄膜的方法，包括：S1、提供钒靶材，先以氩气作为溅射气体，对所述钒靶材进行第一磁控溅射；然后以氩气为溅射气体，以氧气为反应气体，对所述钒靶材进行第二磁控溅射；S2、提供衬底，继续以钒靶材为靶材，以氩气为溅射气体，以氧气为反应气体，向衬底进行磁控溅射，连续制备一片以上所需厚度的氧化钒薄膜，将制备的氧化钒薄膜移出；S3、重复进行步骤S1和S2。该生产方法可操作性强，生产的氧化钒薄膜表面颗粒物少、质量高、良率高、大规模生产过程中不同氧化钒薄膜的电阻差异小，因而产品性能稳定性好，且可以降低气嘴和屏蔽件的维护频率，能够节省维护成本。
一种大规模生产氧化薄膜方法

[发明专利]一种铝盘芯片治具-CN202211259421.7在审
发明人： 陈国雪;李兆营;姚浩强;李海涛;梁靖 -专利权人：安徽光智科技有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供了一种铝盘芯片治具，包括多个放置芯片的槽位，且每个芯片槽位对称设置有取片口，方便用镊子夹取芯片。本发明提供的芯片治具且可根据承载芯片的厚度而在铝盘上开出较深的槽位，方便承载芯片，且传输过程中芯片不易发生掉落、移位等。另外，本发明中使用铝制作的芯片治具，经过承载芯片到工艺腔内完成牺牲层释放工艺后，铝盘治具仍然不变形、能够维持良好的形貌特征，可以多次使用。最重要的是，铝盘治具在承载芯片到工艺腔内完成牺牲层释放的工艺后，牺牲层释放干净无残留，具有优异的工艺性能。
一种芯片

[发明专利]一种沉积设备及薄膜电阻均匀性调试方法-CN202210957510.2在审
发明人：李兆营;陈国雪;梁靖;李海涛 -专利权人：安徽光智科技有限公司
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本发明属于气相沉积技术领域，公开了一种沉积设备，包括真空腔室、溅射电源、磁场装置、靶材和基座，磁场装置设置在真空腔室顶部，靶材设置在磁场装置底部，基座设置在真空腔室的底部，靶材和基座相对设置、并与溅射电源分别连接；靶材与基座之间的真空腔室内设置气管支撑杆和固定设置在气管支撑杆上的多个气管，气管的出气口正对基座，气管的进气口与气源连通，每根气管上均设置气体流量控制器。本发明沉积设备不需要开腔即可调整薄膜的电阻均匀性，避免了因为开腔造成的时间浪费和烧靶造成的靶材浪费。使用本发明沉积方法制备氧化钒薄膜，其电阻均匀性可实时调控，降低了生产过程中的工艺维护成本，提高了产品的良率。
一种沉积设备薄膜电阻均匀调试方法

[实用新型]循环式静电除尘黑板-CN202121275809.7有效
发明人：李志渊;常吉祥;赵峰;刘磊磊;刘念爽;郭林峰;陆波;陈国雪;毛兵祥 -专利权人：兰州理工大学
申请日： 2021-06-08 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： B43L21/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种循环式静电除尘黑板，包括外壳、支架、第一滚筒、第二滚筒、第一电机及柔性环形结构的黑板主体，所述支架设置于外壳内部，且所述外壳对应支架开设有展示窗，所述第一滚筒和第二滚筒分别设置于支架两侧，所述第一滚筒与第一电机固定连接，所述黑板主体两端分别套设于第一滚筒和第二滚筒表面，所述黑板主体对应展示窗设置，所述黑板主体一侧设有毛刷组件，所述毛刷组件用于擦拭黑板主体表面的粉笔迹，所述毛刷组件远离黑板主体一侧设有静电吸附装置。本实用新型提供了一种循环式静电除尘黑板，能够对黑板进行自动擦拭，不需要人们进行手动擦拭，减少对人们身体健康的危害，并且也更便于人们进行使用黑板。
循环静电除尘黑板